Kompakter Brechungsindex- und Schichtdicken-Sensor Qualitätsbewertung und Prozesskontrolle sind wichtige Werkzeuge bei der Produktion qualitativ hochwertiger Erzeugnisse. So ist es in Beschichtungsprozessen erforderlich, wesentliche Eigenschaften der aufgebrachten Schichten zu bestimmen. Dies schließt die Schichtdicke und den Brechungsindex ein. Das CiS Forschungsinstitut stellt auf den Fachmessen electronica und COMPAMED den Status einer aktuellen Sensorentwicklung zur Bestimmung der Dicke und der Brechungsindizes dünnen Oberflächenschichten vor, wobei letzteres eng von der chemischen und/oder stöchiometrischen Zusammensetzung der verwendeten Beschichtungsmaterialen abhängt. Der kompakte Sensor misst die polarisationsabhängige Reflexion von zwei verschiedenen Lasern unter geneigten Einfallswinkeln. Der Sensor arbeitet ohne bewegliche Komponenten, zeichnet sich durch einen geringen Wartungsaufwand aus und ist für Anwendungen in rauen Umgebungen geeignet. Bis zu vier Probeneigenschaften (Schichtdicke, Brechungsindex) können durch die Anpassung der experimentellen Daten mit einem Transfer-Matrix-Modell mit Levenberg-Marquard-Routinen ermittelt werden. Zielanwendungen der Entwicklung sind die Überwachung/Steuerung von Dünnfilm-Beschichtungen oder von Wachstumsprozessen, z.B. bei der Glasveredelung oder in der Halbleiterverarbeitung. CiS Forschungsinstitut für CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik und Mikrosensorik und Photovoltaik GmbH Photovoltaik GmbH Konrad-Zuse-Straße 14 Konrad-Zuse-Straße 14 D-99099 Erfurt D-99099 Erfurt Tel.: +49 (0)361 66 31 410 Tel.: +49 (0)361 66 31 410 Fax: +49 (0)361 66 31 413 Fax: +49 (0)361 66 31 413 E-Mail: [email protected] E-Mail: [email protected] Internet: www.cismst.de Internet: www.cismst.de Kooperations- bzw Projektpartner: ggf.Logo Projekt: KomBreSSe Name Anschrift FKZ: MF130021 Telefon URL Gefördert durch: Projektpräsentation anlässlich: COMPAMED, 12.-14. November 2014, Düsseldorf, Halle 8a, Stand H23.1 electronica, 11.-14. November 2014, München, Halle B1 Stand 225 Projekt xyz FKZ: abc gefördert durch: Kontakt: Dr. Olaf Brodersen Tel. +49 (0) 361 663 1410 | E-Mail: [email protected] Info Info 11/2014 xx/2014