受信アンテナ④ 受信アンテナ①④固定ジグ 受信アンテナ① 静電気放電発生箇所検出方法及び検出装置 （特許第4931252号） １ｍ 制御用ＰＣ ＋計測器 受信アンテナ② 受信アンテナ③ ３ｍ ３ｍもしくは６ｍ ３ｍもしくは６ｍ 位置合わせ用ジグ 疑似放電源 ３ｍ い ち お し 概 要 本発明は，様々な実環境に，短時間で精度 良く，静電気放電検知装置を設置し，放電 を検知したら，その発生源を効率的に特定 する技術です。電子関連業界をはじめ，放 電現象が問題となる幅広い分野で活用でき ます。 静電気，放電，特定， 検知，検出，双曲線法 キ ー ワ ー ド 本発明は，電子関連の製造現場などで深刻化している，静電気放電トラブルに対応 するため，複数の受信アンテナを製造現場に精度良く設置し，放電を検出したら， 双曲線法を用いて放電源の三次元座標を瞬時に算出し，放電源の位置を精度良く特 定することができます。アンテナの設置と放電源の特定の際，レーザー距離計を用 いる事で，条件の異なる様々な環境でも，精度良く，効率的に作業できることを特 徴としています。 【技術分野】 本発明は，静電気放電の発生を検知し，発生座標を算出し，発生位置を特定する方法や装置に 関するものです。 【課題】 従来の放電検知機では，放電発生を知らせるＬＥＤ表示やブザー音を頼りに，試行錯誤しなが ら発生源を探し出していましたが，検出範囲が狭く，レスポンスも遅い等の問題がありました。 このため，広い領域を一度に監視することは非常に困難でした。 【解決手段】 本発明に基づく装置は，計測器（デジタルオシロスコープ），制御用PC，４本の受信アンテ ナ，アンテナ固定治具等で構成されています。監視領域の近くに，受信アンテナ①を設置する 場所を決め，レーザー距離計を用いた位置合わせ治具を用いて，残り３本のアンテナをＸ軸， Ｙ軸，Ｚ軸上の任意の距離に設置します。静電気放電が発生したら，静電気放電に伴う電磁波 が各アンテナに到達した時間差とアンテナ間の距離情報をもとに，双曲線法を用いて放電源の 三次元座標を瞬時に算出します。算出された座標（放電源）の位置を特定する際は，受信アン テナ①をレーザー距離計の位置合わせ治具に交換し，算出された放電源までの角度情報や距離 情報をもとに，レーザー光を放電源へ向けて照射し，反射板までの距離を確認することで，放 電源の位置を短時間で高精度に特定することができます。 可視レーザー距離計 可視レーザー測位計 (方位，仰角調整機能あり） 反射板 6.0m 照射角度 調整治具 三脚 Y Z 上端:+90度 測定基準点 (回転軸の中心) 仰角 X 受信アンテナの設置 放電源 下端:-33度 方位角：360度 三脚 可視レーザー距離計 (照射角度調整治具) レーザー光 測定 基準点 反射板 Y Z 可視レーザー距離計を用いた位置合わせ治具 （照射角度調整治具） 鹿児島県工業技術センター X 放電源の特定 5 担当者：生産技術部 尾前 宏
© Copyright 2024 ExpyDoc
