技術資料：CD-SEM 測定へのチャージの影響
半導体デバイスの微細化が進むにつれ、測長走査型電子顕微鏡(CD-SEM)の精度と安定性
はますます重要になっています。CD-SEM 画質の自動監視のための KLA-Tencor 8XXX
CD-SEM Pattern Quality Confirmation (PQC)についての論文と、CD-SEM 計測における
以下の具体的なケースについて検討した論文へのリンクを設けました。後者は、イメージ像の
向きを基準にしたスキャン方向が見掛け上のビーム幅(ABW)に及ぼす影響、コンタクト撮像
時の倍率の影響、レジストトレンチ内の残留物の影響について説明します。
→ CD-SEM の自動画質監視およびマッチング技術
→ SEM 撮像および帯電の 3 次元シミュレーション
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『民事訴訟法判例百選〔第 版 』訂正情報 5 〕

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