マックス電子材料（株）特殊シロキサンポリマー材料製品の種類と特長  無機骨格シロキサンレジン(Maxsil S, Vシリーズ) • 主骨格にSi-O-Si構造を持つ無機ポリマー • 耐熱性・透明性・絶縁性に優れる • 有機側鎖によって硬度を調整可能：ハードコートからフレキシブルまで • 各種フィラーとのコンポジット材料のベースとして好適  有機―無機ハイブリッドシロキサン材料(Maxsil シリーズ) • 官能基で修飾したSi-O-Si無機ポリマーと有機モノマーとの有機／無機ハイブリッド材料 • 無機骨格による優れた耐熱性、耐候性、耐薬品性を保持 • 官能基の機能によって、光硬化性、感光性などの特性を付与  屈折率調整用コーティング剤(MaxARシリーズ) • 反射防止や導光性機能を与える各種金属酸化物前駆体溶液 • 屈折率範囲：1.32∼2.00 で多層コート可能マックス電子材料（株） MaxsilTM 製品一覧表 Maxsil 成分系感光性 10 SiO2 無機ポリマー V1 メチルビニル系無機ポリマー S22 フェニルビニル系無機ポリマー S40 メチル系無機ポリマー 130L フェニルメチル系無機ポリマーとアクリルとのハイブリッド 600T フェニル系無機ポリマーとアクリルとのハイブリッドなしなしなしあり(ネガ型）あり(ネガ型) なし適用膜厚 ~150 nm ~900 nm ~10 μm ~1 μm ~3 μm 20 μm 硬化温度 100℃以上 150℃以上 180℃以上 230℃以上 120℃以上 200℃以上耐熱温度 900℃ 370℃ 500℃ 450℃ 300℃ 250℃ 溶液性状 1-10% IPA またはPGMEA溶液 5-20% IPA またはPGMEA溶液 20% IPA または PGMEA溶液 1-30% PGMEA 溶液光透過率 > 98% > 95% > 98% > 98% > 98% 未測定屈折率 1.45 1.41 1.52 1.4 1.48-1.50 1.53 鉛筆硬度 7-9H 9H 3∼4H 6H 4H 2H 絶縁強度 1 MV/cm 未満 5 MV/cm 4.6 MV/cm 1-2 MV/cm 1-2 MV/cm 未測定 4.5 (1 MHz) 5.4 (1 MHz) 2.92 (1 MHz) 未測定未測定未測定誘電率 10-25% PGMEA溶液 ~50% PGMEA 溶液特長高硬度低屈折率高硬度高誘電率耐熱・厚膜対応高絶縁性耐熱性平坦性感光性透明性超厚膜柔軟性用途ハードコート反射防止膜ハードコート絶縁誘電体膜絶縁膜保護膜平坦化膜絶縁膜透明永久レジスト電子回路形成用アンダーコート