１０月２９日（木）ＰＭＦ会場３階第７～９講義室ＤＬＣコーティング技術フォーラム司会ＤＬＣコーティング技術フォ－ラム　（13:00～16:50） 13:00～13:05 ■ 開会挨拶神奈川県産業技術センター 13:05～14:00 ■ フィルタードアーク蒸着で作る高品質DLC膜豊橋技術科学大学加納眞滝川　浩史 DLC膜の中でも最も硬質な水素フリー・テトラヘドラルアモルファスカーボン（ta-C）を，極めて高い面平坦性を持って形成する手法であるフィルタードアーク蒸着法と膜質制御，そしてその高品質ta-C膜の応用例を紹介する。 14:00～14:50 ■ 大気圧プラズマ法による炭素系およびシリカ系薄膜の開発慶應義塾大学鈴木　哲也大気圧プラズマ法は真空を用いずに高速成膜・大面積化が低コストで可能であり、国内外で研究・開発が進められている。本発表では大気圧プラズマ法による炭素系およびシリカ系薄膜の現状を紹介する。 14:50～15:20 休憩 15:20～15:40 ■ DLCコーティングエンジン部品適用の歴史と進展機械・材料技術部加納　眞ここ数年で自動車エンジン部品を主とした摺動部へのDLCコーティングの適用が世界的に急拡大している。その目的は、徹底的な摩擦低減によるガソリンエンジンの燃費改善にある。DLCコーティングの歴史、最近の適用例および産技センターで開発した技術を主に今後の進展を概説する。 15:40～16:00 ■ DLC膜の密着性評価手法について機械・材料技術部堀内　崇弘 DLC膜は硬く、摩擦が低いなどの優れた特性を有するが密着性に課題がある。そこで本発表では、DLC膜の密着性評価について、現在どのような手法が用いられているか紹介する。 16:00～16:20 ■ 大気圧プラズマ技術を用いた薄膜作製機械・材料技術部渡邊　敏行大気圧プラズマCVD法は大面積基材に薄膜を形成する技術のひとつである。当センターの大気圧プラズマCVD装置と周辺技術および企業支援の取り組みを紹介する。 16:20～16:40 ■ DLCの摩擦特性に及ぼす摩擦前洗浄溶剤の影響機械・材料技術部吉田　健太郎摩擦前洗浄溶剤は潤滑下DLC膜の摩擦特性に大きな影響を及ぼす。オレイン酸で摩擦した後のDLC膜について、表面の化学結合状態を分析した結果、低摩擦を示した膜の表面には含酸素結合が多く認められた。 16:40～16:50 □ 全体質疑討議名刺交換