高純度多結晶シリコン - 睦コーポレーション

高純度多結晶シリコン
(平面板・半球レンズ・平凸レンズ)
■ 特徴
1.高純度(99.999999999%)のため、波長9μmの酸素の混入が原因の吸収がありません。
2.単結晶シリコンに比べて安価です。
3.材料として、直径 100mm、長さ 300mmのバルク材を使用するため、任意の形状への加工
が可能です。
100
90
pSi-window 1mmt
(試料外径:25mmφ、厚さ:2mm)
透過率の試料間測定例
遠赤外域の多結晶シリコンの試料の違いによる測定例
80
透過率 (%)
70
60
50
40
30
試料1
試料2
試料3
試料4
試料5
FTIR
による測定
FTIRによる測定
表面精密光学研磨
表面S研磨
AR コートなし
20
ARコートなし
10
0
20
30
40
50
60
70
80
90
100
波長 (μm)
※弊社が提供する高純度多結晶 Si には、複屈折があるかも知れません。
今のところ、1×10-3 ぐらいの複屈折がある(箇所がある)ことは確認しています[1,2]。
[1] 2010 年秋季 第 71 回応用物理学会学術講演会
4.5 テラヘルツ全般・非線形光学 15P-F-10
半田卓也、菜嶋茂喜、細田誠 テラヘルツ波用フレネルロムプリズムの製作と評価
[2] 第 20 回(平成 22 年度)日本赤外線学会研究会発表会 ポスターセッション 2010-IR-38
半田卓也、菜嶋茂喜、細田誠 テラヘルツ帯円偏光変換光学素子の作成と評価
※本仕様は改善のため予告無く変更することがあります。
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