CD application data 新しい CD 分析情報 260-CD-0026 Date 2015/09/17 水銀輝線スペクトルを用いた[波長正確さ]、[波長繰り返し精度]の検証はじめに高精度な CD スペクトル測定には円二色性分散計の[波長正確さ]と[波長繰り返し精度]が重要となります。J-1000 シリーズ円二色性分散計は高い[波長正確さ]と[波長繰り返し精度] を誇り、高精度な CD スペクトル測定を実現します。ここでは J-1000 シリーズ円二色性分散計の装置バリデーション用に内蔵している水銀光源を用いて測定した 253.652nm の輝線スペクトルと、これを用いて[波長正確さ]および[波長繰り返し精度]を検証した結果を紹介します。＜Keywords＞波長正確さ, 波長繰り返し精度, 水銀光源＜測定条件＞ J-1500 円二色性分散計の[管理ツール]から水銀光源を点灯し、[スペクトル測定]プログラムを起動して 253.652nm の水銀輝線スペクトルを 5 回測定しました。測光モード: 測定波長範囲: レスポンス: HT 電圧: データ取込間隔: 走査速度: DC 250-260 nm 0.125 秒 Manual (300 V) 0.025 nm 10 nm/min ＜測定結果＞ 253.652nm の水銀輝線スペクトルを 5 回繰り返し測定した結果を以下の Fig.1 と Table1 に示します。5 本の輝線スペクトルは極めてよく一致しており、高い[波長正確さ]と[波長繰り返し精度]を確認できました。 0.8 0.75 0.6 0.74 0.4 DC [V] DC [V] 0.72 0.2 0 -0.1 250 252 254 256 Wavelength [nm] 258 260 0.7 253.5 253.6 253.7 Wavelength [nm] 253.8 Fig. 1 水銀輝線スペクトル (右：拡大図) Table1. 波長繰り返し精度繰り返しピーク波長 1 253.650 nm 2 253.650 nm 3 253.650 nm 4 253.650 nm 5 253.650 nm 本社・工場 192-8537 東京都八王子市石川町 2967-5 TEL 042(646)4111 代表 FAX 042(646)4120 東京 03(3294)0341／北海道 011(741)5285／北日本 022(748)1040／西東京 042(646)7001／筑波 029(857)5721／神奈川 045(989)1711／名古屋 052(452)2671／大阪 06(6312)9173／広島 082(238)4011／九州 092(588)1931