1億枚/秒の超高速イメージセンサ

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総
合
科
学
技
術
研
究
機
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構
1億枚/秒の超高速イメージセンサ
● ● 先 端 計 測 機 器 を 革 新 ● ●
●立命館大学
総合科学技術研究機構
教授●
江藤
剛治
研究内容
1991年以来、23年間ビデオカメラの世界最高速記録を更新してきた。現在、30万画素で1670万枚/秒
を達成している。そして今、1億枚/秒(時間分解能10ナノ秒)のイメージセンサを開発中である。
シミュレーションでは100ピコ秒を達成できることがわかった。このとき、光は3cmしか進めない。
特殊な裏面照射構造により超高感度である。超高速で光子検出感度も目指す。
(a)H. Kleine, Univ. of New South Wales, 50万枚/秒で撮影
(c)特殊な裏面照射構造とポテンシャルシミュレーションの例
(b)T.Arai et al, NHK, 100万枚/秒で撮影
(d)新発明であるマルチ電荷収集ゲート構造
とXNOR回路付リングオシレータドライバを使う
応用例
このような超高速で超高感度のイメージセンサーができると、これを使って飛行時間型質量分析機、
蛍光寿命顕微鏡、PET等の先端科学計測機器を革新する。また、衝突、爆発、放電等の素過程の観察
ができる。これらの現象は瞬間的発熱を伴うため、超高速赤外線ビデオカメラも一緒に開発したい。
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