多層 プリント基板によるMMIC ベ ガ テクノロ ジ ー 株 式 会 社 1 'WG(Post wa‖ Wave Cuide) マイクロ波周波数帯以 にのl_送 路としての代表例に 導波管 (Wave cuidc)が ある。これは繊前からのレーダ 研究の 環として 高電力のマイタロ破をllt給 できる● 送筵としては最適であった.し かし、 金属で製造された導 波書は■く 大きいために小型化は不tr能 であった。近 年ではプラスチッタで製辻し、 内部のま面に金属壁をコーティ ングしたものがあるが、 軽量 化 ら仲びたパターンは に ドに誘電体を決み、 その外側 に14 体が広がっているので Sl´ (St■ p L ne)を 形成する "i澪になる。ANTと SL間 にあるパ ターンはMatching こと 鋼板を18μ から35μ へ Vく することにより十分を圧着力を る 件てヤヽ ① バッケージ内部のAir4間 は夫振 器として勁 iす る場 Stubと してANTと SLの 合があるので、 頭過市域から共振周 波数を避ける “ ことが 必要となる。小 型化を■要 祝するために 共攘 周波数を 整 命を取 っている。SLを 通った後に L都 が A[空 間となりMSが 形藤 れる。 高職に移動させるのが 最llと 言えるので、 P板 内のAir空 間│ま 出来るだけ悔 を狭 くして本構を少なくした。また、 鋼 製のカバーのAr空 間もマッチングが取れるように立ち H 力 置を4■ の位置に合わせ 幅と高さを衝ました. SLと MS]│・ lの 段 差補 )パ ターンはsLと MSL 正σ 間 の 不連続 性 を補 にす "位 側にPost Wan(GND)が 企計8個 ある力 これら OSL“ るもので SLと MSL山 の 整令を取っている。 はPWGと Airバ ッケージのイ 上切りとして動作 している。し かしlAj側 の4個 については■切りだけではなく、 SLと の距 '、 口‐ 21 SL部 とMViCは WB 'WCに よ0′ ,ケ ージ●遺(趣 式● その理 由は導 波 督 にはカット オフ周 波 数があり 伝 送す る 周波数によりその日経が決 定 される。以下にその寸法を決定 する算出式を国‐ 11導 置ヽ の 昴 11 ■凛●●カットオフ潤漱豫 また、 PWCと MMIcパ ッケーン間にある、 合,「 8価 のス ルーホールは遁邊帯域と 幸合に効果があり、 通りをflr 置関係により広帯域の整合を取 ること力i● lrと なった。 22は Simula● 。n結 果 で 国‐ あリ ー2011'Rcturn LOss,″ 城 は、 その比番電半によ噂 波書のカットオフ周波数は ドが ることになる.力 ′トオフ周波数を人気の時のように戻すに は率波管 円口部 の長 千 ■法 Wを 短 くすることにな/..し は 18GHzを 超 えて いる ,ま た 、 周波 数に無 関係 となっているが 、 ― 苺波 管 の 絆 入授 失と伝送 モード が極■に変化しない範 闘であれば 、を小さくした方が内部誘電体によ る伝撤 損 失を少なくすることが “ ==二 =■ =■= されているPICと MSLと の 変換特性 は .l 現在 =案 波数帯城が狭 く、 変換 損失も大きいためにアイデアとして よく,絆 山曖として持 oさ れているが、 実際 の使 lr"は 口 22 PWOバ ッタージの Sバ ラメータ ヒ電界分お "摯 けtが 現 れている。このことは一例としてMMICパ ッケー ジ内部のヽ L部 をLPFに 置き換えると 低損 失の広ヤ技 BPF(Band Pas、 Fnter)ヵ {形 成できることになる。その 場 今はbias,Ortは 不要なので、気に特性 の改善が 見込 める。バイアス1帖 のオートを大きくしているのはパイパス コンデンサの賀割を兼ねた効来があり、 今までは単板 コン デンサを導電性接着剤 (ア ミコン)又 は●理にて間着して いた力(PWCを 3層 にすることで、 bias portと CNDP3の 誘電体 〈 レみ()3mm程 度 )で バ イパスコンアンすが形成 される.20C.Hz‖ 以 Lで はパィパ ス効 果はさらに大きくな 能である. 広仕域化の検討でます着日したのは PWC Aヽ l SI を示す。 OPWG内 PWGを 通 り、基板 jlの ANT部 で受●される。ANT部 か PWC Package2個 を陳間 部のANrに ついてはRcturn l.ossを 考慮し てPWGの Ⅲ面とANTの 距麟を最適な位置とした. OANTと Sし についてはその間にtaperを 付けてミスマッ チングの低減を行った。 OSLと MSLの 幅の違 いはtaperに より不■競 面の政青 を41っ た。 : 近が改 善するヽ 性能の変イ ヒは 発生するが 籠 々のパッケージで Return Lossと 周 波載 帯域 が 1分 取れていれば、 接 続 による 国 3 劣イ ヒは少ないこと力う かる.ま た 岩拙:廃 え;繁 :零 性 特性結 果から60Gllz以 卜に1" は 固無し)と e,,ぉ 城力t広 くなる可能性も+分 に考えられる。 5.礎 棄 の モ ジュー ル 機 緞 方 法 と ,WGパ ッケ ー ジによる盤 機方 法 の比 較 41に 示すように、 従来のマイクロ波以 卜の部15は 国‐ 金属ケースにKコ ネタタまたはVコ ネクタを取りつけ 各々 を ・lllコ ネクタ及び ・ l軸 ケープル または ・ l軸 コネクタ(P/P) で接続するものであった。国‐ 41は モジュールの配には 自 4Tえ るが 同機コネクタと同鮨ケープルの 損失 "に くなり、 モジュール,日 のReturn Lossや "入 が大き 数をt つの 金属 41の ケース ●部に 国 ‐ 1卜 ILモ ンュール3個 分の "波 MMiC十 導 体 チ ップ を .「 〆 メ .́_ “ .“ 41 n● コネク,ユ び □ 同●ケープルI=よ るl■ 饉 MMIC PICバ ッケージ に搭載するので、● l議 コネ クタ及び1● 軸ケープルを4吏 用しなくてもヽい。 したかっ て 本 バッケージを収納 す ることにより 従来の高価な 口‐ 42 H:C'WGバ ッケー´tよ うll薔 金 型 による金 属 製 の モ (モ ジュール内部の菫大田 ) ンュールは必 要が無くなり、 モジュールの総数も減少する。また OWBは MSLと 半導体 MSし の最も外 鱒にBondingを 2 MMIC PwGバ ッケー ジ等の 交換も容易となり、 これらの 部● ●を,め た鑢 質長 と 製遭 コストは大 幅に減少する。将 来 ││に 1ま 術え 型 ",小ミリ 高周波部 品にも応用が ● r能 でぁリ マイクロ波すから 波薪以 Lで も使,1で きる本パッケージを撥厳したRFプ ロッ 本打ち、 不遮続面を経裁した。テフコン基板 へ のWBは テ フロン材が柔らかいために十分を圧 着力が弱 いが 屁延 タは高周波 伝送路を備えた高用波 モジェール部品として の新しい利用形態を提案するものである. OSiと MSLの 変換 は、sLSの L部 を切取ることにより MS∫ を形成し 切取る幅を調整することで■全をとった。 OMSLを パッケージ内 部に突 alさ せ 、パッヶ―ジ内 副 Ai絆 田との■今をとり ■つTBの lL置 を●I択 した. 口 求 No E0000 'の ¨ ヨ・ ︵日==H日闘ロロ︶‘5 2ζ・ う0い・ ●●ヨけ、 , 伝送路が累なり を夏界で発生する不連続部によるミスマッ チング(不 立 今 )が 大きな問題であった。以下に整金対策 バツケージ内部の信 サ経路を説明する。 に、 輩 ミリエ信 号 はPortlか ら人 力し プリント基板 による ■織線による特性の変化 が劣イ とする. 42は 国‐ 3.不 運 籠 口 の 補 正 に よ る 菫 含 方 法 MSL WB‐ +導 体MSLの 各部の信 号経路でそれぞれの MSl.部 を桜続する.MMICの 電漂はRrF,人 力に対 して直 rrに 2方 向から供給する.こ の班合は土VOcを 供給 するものとしてモデル化したものである。日‐ 21に 示すよう 4.MMiC PWG′ ヽッケージの 露 曇 圏 懲 実 用化するためには″理を広 くし、 挿 入‖矢をヽ減す ることが必 要になる。また、 他のfr送 路との変換 効率も ` 慮しなければならない。 片面にアルミニウム枚を貼り付けた0精 プリントル板によ るPWCの 中をくり貫き、 その中をバ ソケージとしてMMIC を収 納 する。M MIcは アミコンまたは0饉 にて出着し、 WB(Wirc BOnding)に てMMiCと パッケー ジ内部の .. 重 接 続 で は 35Gllz∼ 40CIIzイ 」 :騒 ほとんど,い と考えられる. 2.PWGに よるMMiC′ ヽッケージの構成 を想定している 単体 のReturn Lossよ 35GHz と4861lzイ 」近が少し劣イ とするが、 るので 従来の 性板 コンデンサは不アとなる。本 モデルで はbias portの 面 fAは 小さいが さらに大きくすることも,F れている。 ラインが bias pOrttと 2に 接続きれているが これは本パ ソ ケージ内にMMICを 搭 載した場 0に 使 ,"す る電線ボート Simulationに よるMMiC Il径 を小さくし、 11の 式 によつ導波■ のカットオフ 以上の対策の需果 として国 ・21の 様な構辻となり 特 22の 結果 となる。国 ‐ 21の +V biasと 一V bias 性 は国 ‐ 無く接続したIItの 特性 の変イ ヒを 国‐ 3に 示す. inserlon Lossも Simula10n絆 果 によると 2組 の 変換 を経 "l路 わず 出しているにもかかわらず 導波管 の 内部に誘電体を計め込むと実現 iI能 になるが、 か0 1dB程 度となっている. この 導波管の 製造邊 程は複雑になる.ISに 湾面部分 PWCを 経 山していることで ヽ `t ついてはMIけ が生して伝搬特性に彰語が 1る .ま た 導 25GH夕 のCu1 0fr周 波数以 卜は 波ヽ の 厚み 子法 tに ついては国 ‐ ,た 鷲 によるハ イパ スフィルタの “ ,́て ,尊 波常を小型にするために1ユ 離を迪工 に取ることにより、 広‖球性 を供ちなから整金を 取ること力` 出来るのである . 適になる。 11の 式から導波管の 内部が大気であれば ar■ 1 国‐ となるが 例えば導波督の Al部 に誘電体をjT入 した場合 たが ) で磁 続 される。幅 の広 い MSLの 口:燿 か ら幅 の よ ,' MMicの MsLの 両佃2本 のワイヤボンディングを行うこと によリ パッケーンのMSLと MMICの MSL間 の華金が 最 はできるめ`大 きさは同じである. カットオフ周波数に示す。 PWGパ ッケージの研究
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