SiC 結晶転位高感度可視化装置 XS-1 の発売について 有限会社ビジョンサイテックは、SiC 結晶転位高感度可視化装置「XS-1」を発売します。 XS-1 は SiC ウェーハ内部に存在する結晶転位や内部歪みを高感度かつリアルタイムに可視化する装置で す。ビジョンサイテック社独自の光学理論と位相差演算処理により 、わずかな位相差を捉えることで、様々な 結晶欠陥を可視化します。 これまで、可視光近辺の光学顕微鏡では不可能と言われていた各種転位の観察ですが、XS-1 は放射光 X 線トポグラフィーに匹敵する欠陥検出能力を誇ります。その高い検出力により、基底面転位ですら、その歪み 像を捉えています。 XS-1 の最大のメリットは非破壊かつリアルタイム性にあります。また、装置は非常にコンパクトで、X 線のよ うな各種届け出や作業主任者の選定も必要なく、実験室や製造ラインへ容易に設置可能です。これまでのよ うに、場所や時間の制約がなく、簡便に検証転位等の評価が可能となり、結晶成長技術の進展のみならず、 デバイス特性との相関取りにも役立ちます。 4H-SiC ウェーハの転位による光学的歪み像 ※掲載されている情報は、発表日現在の情報です。その後予告なしに変更されることがございますので、あらかじめ ご了承ください。 この件に関するお問い合わせ先 4H-SiC ウェーハの転位による光学的歪み像 ビジョンサイテック社製 XS-1 の特徴 光学顕微鏡の常識を覆す偏光顕微鏡 XS-1 XS-1 はパワーデバイス用半導体として注目されている SiC ウェーハなどの内部に存在する結晶由来の欠陥（マイクロ パイプ、貫通刃状転位、貫通螺旋転位、基底面転位、積層欠陥、インクルージョンなど）を高感度でリアルタイムに可視化 する装置です。ビジョンサイテック独自の光学理論と位相差演算処理（特許出願済）により、僅かなリタデーション変化や 格子歪の詳細なプロファイルを捉えることで、可視光領域を使用するレーザー検査装置あるいは偏光顕微鏡では捉える 事ができない様々な原子レベルの結晶欠陥を観察することが可能になりました。 結晶歪観察に使用される現行の偏光顕微鏡は物体の結晶構造に密接な関係がある偏光や複屈折特性を観察するた めの光学式顕微鏡であり、コノスコープ観察法やオルソスコープ観察法などが用いられています。しかし観察対象が微小 な歪場や転位サイズが原子レベルの格子欠陥である場合、偏光顕微鏡は感度や分解能など、光学原理上適していない と考えられており、また現実に観察は不可能でした。そのため原子変位レベルの歪や微小な転位欠陥の観察や評価・分 析を行うには、破壊検査として KOH 溶融塩エッチング法、非破壊検査ではフォトルミネッセンス(PL)イメージング測定法、 あるいはシンクロトロンによる放射光Ｘ線トポグラフなどの大型放射光施設による観察法しかありませんでした。 XS-1 は光学式としての偏光や複屈折特性を基本として、従来にない一軸性極性結晶体に特化した独自の光学系と位 相差演算を駆使した技術（特許出願済）でシンクロトロンによる放射光 X 線トポグラフなどの大型放射光施設の観察に匹 敵、あるいはそれ以上の情報を得ることに成功しました。それにより材料の評価が現場レベルで可能になり、またそれに 要するコストが大幅に軽減されます。 市販の工業用顕微鏡による透過簡易偏光像 XS-1 による透過偏光像 観察対象：350μm 厚 p 型 4H-SiC 基板 開発製造元 販売代理店 ＜製品のご用命は信頼と実績の下記正規代理店へお問い合せ下さい＞ 有限会社 田中機販 http://www.t-kihan.com 本 有限会社ビジョンサイテック 社 〒226-0018 横浜市緑区みなみ台 1-36-11 TEL 044-489-5522 FAX 044-489-5521 東京営業所 〒180-0003 武蔵野市吉祥寺南町 4－6－8－E TEL 0422-49-1862 FAX 0422-49-1869
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