特性表
アルミナ
ジルコニア
窒化珪素①
窒化珪素②
炭化珪素①
炭化珪素②
炭化珪素③
(SiC)
アモルファス
カーボン
3.9
6
3.2
3.2
3.15
3.15
3.05
1.51
440
980
880
1000
450
490
380
150
370
210
290
295
420
430
350
32
3～4
9
6
7.3
3.5
3.5
2.0
-
7.7
10.7
3.3
3.2
4.4
4.1
3.1
3.0
33
3
23
52
170
160
151
6
200～250
350
700
1000
350
400
-
-
(Al2O3)
比重
（g /cm 3）
曲げ強度
(Mpa)
ヤング率
(Gpa)
破壊靱性
(MPa√m)
熱膨張係数
(×10-6/K)
熱伝導率
(W/mK)
耐熱衝撃性
(℃)
(ZrO2)
(Si3N4)
(Si3N4)
(SiC)
(SiC)
※上記表にない物性値はお問合せ下さい
※上記の材料物性値は代表値です。これらの値は、材料や工程の改善や変更によって変更されることがあります
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