長焦点深度DOEビームシェイパ

011
光学製品ガイド No.
シングルモードレーザー用集光機能分離型
For Single-mode Laser / Non-Focus
長焦点深度DOEビームシェイパ
Long Focal Depth DOE Beam Shaper [Diffractive Optical Element]
長焦点深度
DOE ビームシェイパ
集光レンズ
Long Focal Depth
DOE Beam Shaper
像面
Focusing Lens
シングルモードビーム
Image Surface
フラットトップビーム
Single-mode Beam
Flattop Beam
円形均一強度分布
正方形均一強度分布
Circle
デフォーカス特性 Defocus characteristics
集光レンズと組み合わせて、焦点位置でのビームの
ピーク強度を低減し、長焦点深度を実現
長焦点深度DOEビームシェイパ
強度
Intensity
組み合わせる集光レンズの焦点距離を変えることで、
サイズが変化
円形と正方形の 2 タイプを用意。テーパを抑えた
微細な切断・穴あけや正方形ビームを利用した高効率
パターニング加工を実現
(a.u.)
1
Long Focal Depth DOE Beam Shaper
ø20µm≒回折限界*
(532nm, f=200mm)
Diffraction Limit
0
* 回折限界:ø27µm(1/e2)
ø40µm
The combination with a focusing lens reduces the peak
intensity of the beam at the focal position, which achieves
the long focal depth.
Diffraction Limit
デフォーカス量 ( レンズ側がマイナス ) Defocus margin (a change of work distance)
∆Z= -600
Flattop beam size can be changed linearly with the focal
length of the focusing lens.
-450
-300
-150
0
Intensity
《比較参考》非球面ビームシェイパ
強度
We offer two types: circular and square. Micro-cutting and
micro-drilling with suppressed taper and effective
patterning using a square beam is achieved.
Square
(a.u.)
1
(Reference for Comparison) Aspheric Beam Shaper
ø44µm
0
ø65µm
+150
+300
+450
+600 (μm)
(532nm, f=200mm)
■組み合わせ例 Application Example 波長
Wave Length 532nm
FL200集光レンズ FL200 Foucsing Lens
長焦点深度
DOE ビームシェイパ
均一ビーム 0.04mm角
Uniform Beam: 0.04mm Square
Long Focal Depth DOE Beam Shaper
集光レンズ
Focusing Lens
波長：532nm
断面プロファイル
Cross-sectional Profile
像面
Image Surface
(FL200mm）
Wavelength
0.04mm
ø5.0mm
平行シングル
モードビーム
Collimated Singlemode Beam
型番 DHLQ2-5-S40
Cat. No.
■標準品ラインアップ Lineup
波長
型番
寸法(mm)
入射ビーム径フラットトップ形状（代表例）回折効率
Typical Flattop Shape
Diffraction Efficiency
(1/e 2 ømm)
(μm)※
Dimensions
Wavelength Incident Beam Diameter
Cat. No
(nm)
DHL Z1-8-290
DHL Z1-7.2-S310
DHL Q1-4.7-80
DHL Q1-5-S80
DHL Q2-4.7-40
DHL Q2-5-S40
DHL Q3-4.7-27
DHL Q3-5-S27
DHL Q4-4.7-20
DHL Q4-5-S20
DHL Q4-3-S34
ø290
310 × 310
ø80
80 × 80
ø40
40 × 40
ø27
27 × 27
ø20
20 × 20
34 × 34
8.0
7.2
4.7
5.0
4.7
5.0
4.7
5.0
4.7
5.0
3.0
10600
1064
532
355
266
約 95%
約 90%
約 95%
約 90%
約 95%
約 90%
約 95%
約 90%
約 95%
約 90%
約 90%
øD
25.4
25.4
25.0
25.0
25.0
25.0
25.0
25.0
25.0
25.0
25.0
T
5.08
5.08
5.00
5.00
5.00
5.00
5.00
5.00
5.00
5.00
5.00
※波長 10600nm は FL127、それ以外の波長は FL200 集光レンズ使用時
※The wavelength of 10,600nm is the value with FL 127 focusing lens; the other wavelengths are values with the FL 200 focusing lens
DHL Q2 - 5 - S40
型番例
波長、入射ビーム径、
フラットトップ形状をご指定ください。
Product No.
Specify wavelength, incident beam diameter and flattop shape.
Wavelength
■入射ビーム径変化の影響 The influence of the incident beam diameter change
焦点強度分布 Focal Point-Intensity Distribution
1.2
基準
1.0
+10%
0.8
-10%
0.6
(a.u.) 0.4
Flattop Shape
(S:Square 40×40mm)
The influence of the incident beam decenter
焦点強度分布 Focal Point-Intensity Distribution
0.0mm
0.5mm
0.8
1.0mm
0.6
0.2
-40
-20
0
X (μm)
● 火中に廃棄しないこと。Do
20
40
60
0.0
-60
532nm, f =200mm, 円形 Circle
not dispose by incineration.
●レンズは酸やアルカリとは区別して保管してください。Please
警告
フラットトップ形状
(a.u.) 0.4
0.2
0.0
-60
Incident Beam Diameter
1.0
Standard
強度
強度
Intensity
■入射光軸ズレの影響
Intensity
1.2
入射ビーム径
波長
Z1 : 10600nm (5mm)
Q1: 1064nm
Q2: 532nm
Q3: 355nm
Q4: 266nm
-40
● 酸、
アルカリに浸さないこと。Do
-20
0
X (μm)
20
40
60
not dip in acid or alkali.
store away from acid and alkali.
● 廃棄の際は、
都道府県指定の産業廃棄物処理業者に処理を委託してください。Disposal
should be in compliance with all applicable laws and regulations.
この印刷物は再生紙を使用しています。
（2015.9）
Ⅰ NT

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