DOEホモジナイザ DOEホモジナイザ

高集光＆長焦点深度
Long depth of focus ＆ High collecting performance
DOEホモジナイザ
DOE Homogenizer
2 組み合わせる集光レンズの焦点距離によって、
1 組み合わせる集光レンズのスポット位置で、
回折限界に近いサイズの均一強度分布に集光可能
焦点 ( 均一強度分布 ) サイズの調整可能
At the spot position of focusing optics to put together, this DOE Homogenizer
can make uniform Intensity distribution of the size that is near to the diffraction limited.
DOE
By the focal length of focusing optics to put together, we can adjust
the size of the focus (=uniform intensity distribution).
集光レンズ
(Diffractive Optical Element)
(Focusing Optics)
焦点距離 (f )
Focal Length
DOE ホモジナイザを
組み合わせた場合
集光レンズだけの場合
Only Focusing Optics
Output Beam
(Gaussian Beam)
φ4.7mm
■ 強度分布比較例
Output Beam
(Flat Top)
φ27μm
532nm
532nm, f =200mm
φ40μm
3 デフォーカス時の強度分布の変化が小さい
Comparison example
DOEホモジナイザ
ホモジナイザ
DOE Homogenizer (Long depth of focus & High collecting performance)
By defocusing,there is a few change of the uniform intensity distribution.
φ20μm≒回折限界 (※1)
Diffraction Limit
532nm, f =200mm,φ4.7mm入射 Incident Beam
Changes Small
強度
(a.u.)
0
φ40μm
(※1)
デフォーカス量 ( レンズ側がマイナス ) Defocus margin (a change of work distance)
Z= -400
-300
-200
-100
0
100
非球面ホモジナイザ
200
回折限界φ27μm(1/e2)
Diffraction Limit
532nm,f =200mm,φ10mm入射
Incident Beam
変化量大
Aspheric Homogenizer
400 (μm)
300
強度
Intensity
1
φ44μm> 回折限界 (※2)
Diffraction Limit
(a.u.)
0
φ65μm
(※2)
回折限界φ14μm(1/e2)
Diffraction Limit
Changes Large
Intensity
1
変化量小
高集光＆長焦点深度
焦点強度分布
( 均一強度 )
(a.u.)
Intensity
Intensity
(a.u.)
焦点強度分布
(ガウスビーム)
Intensity
Incident Beam
(Gaussian Beam)
強度
強度
強度
(a.u.)
入射ビーム強度分布
(ガウスビーム)
With DOE Homogenizer
■入射ビーム径変化の影響 The influence of the incident beam diameter change
焦点強度分布 Focal Point-Intensity Distribution
基準
1.0
0.8
The influence of the incident beam decenter
焦点強度分布 Focal Point-Intensity Distribution
0.0mm
1.0
Standard
+10%
-10%
0.6
(a.u.) 0.4
強度
強度
Intensity
1.2
Intensity
1.2
■入射光軸ズレの影響
0.5mm
0.8
1.0mm
0.6
(a.u.) 0.4
0.2
0.2
0.0
-60
-40
■強度分布実側例
-20
0
X (μm)
20
40
0.0
-60
60
-40
-20
532nm, f =200mm, 円形 Circle
円形均一強度分布
Incident Beam(Gaussian Beam)
40
60
正方形均一強度分布
Square
40μm
40μm
Circle
40μm
注意：ホモジナイザの強度分布は、使用するレーザのモード特性や
532nm, f =200mm
集光レンズの収差特性の影響を受けます。
* The uniform Intensity distribution of DOE Homogenizer is affected
by the mode characteristic of the laser to use and the aberration characteristic of the focusing optics.
■標準品ラインナップ Line Up
各種カスタマイズ対応いたしますので、別途お問い合わせください。
波長
製品サイズ
Wavelength
Product size
355nm
20
Measured Intensity Profiles
入射ビーム強度分布 (ガウスビーム)
266nm
0
X (μm)
I do the customized correspondence.
均一強度分布形状
スポットサイズ(1/e )
入射ビーム径 (1/e )
回折効率
Shape of the uniform intensity distribution
Spot Size
Incident Beam Diameter
Diffraction efficiency
φ20μｍ
φ4.7mm
約95％
20μｍ
φ5.0mm
約90％
約90％
φD : 直径
Diameter
T : 厚み
Thickness
40μm
2
(※)
2
円形
Circle
5mm
正方形
Square
34μｍ
φ3.0mm
φD : 25mm
T : 5mm
円形
Circle
φ27μｍ
φ4.7mm
約95％
正方形
Square
27μｍ
φ5.0mm
約90％
φ40μｍ
φ4.7mm
約95％
40μｍ
φ5.0mm
約90％
φ80μｍ
φ4.7mm
約95％
80μｍ
φ5.0mm
約90％
φ290μｍ
φ8.0mm
約95％
310μｍ
φ7.2mm
約90％
φD : 25mm
T :
532nm
φD : 25mm
T : 5mm
円形
Circle
正方形
Square
1064nm
φD : 25mm
T : 5mm
円形
Circle
正方形
Square
10.6μｍ
φD : 25.4mm
T : 5.08mm
円形
Circle
正方形
Square
(※) スポットサイズは焦点距離に比例します。
波長266nm,355nm,532nm,1064nm用は集光レンズの焦点距離( f )=200mm、波長10.6μm用は焦点距離( f )=127mmの場合の数値となります。
* Spot size is in proportion to focal length.
The focal length of focusing optics to put together is f=200mm for 266nm,355nm,532nm,1064nm and f=127mm for 10.6µm.
● 火中に廃棄しないこと。Do
not dispose by incineration.
● レンズは酸やアルカリとは区別して保管してください。 Please
警告
● 酸、アルカリに浸さないこと。Do
not dip in acid or alkali.
store away from acid and alkali.
● 廃棄の際は、都道府県指定の産業廃棄物処理業者に処理を委託してください。
（2011.4）Ⅰ NT
この印刷物は再生紙を使用しています。

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