009 光学製品ガイド No. シングルモードレーザ用 For Single-mode Laser ビームシェイパ Beam Shaper 第2版 H1.indd 1 15.6.16 9:21:50 AM 非球面ビームシェイパ ① 単一素子 Aspheric Beam Shaper Single Element 非球面ビームシェイパ 像面 Aspheric Beam Shaper 均一ビーム ø0.1mm Image Surface 断面プロファイル Uniform Beam Cross-sectional Profile 波長:1064nm Wavelength ø4.0mm 平行シングル モードビーム ワーキング ディスタンス Working Distance Collimated Singlemode Beam 150mm 波長 型 番 Wavelength (nm) Cat. No. AH Z1-4-4WD150 AH Z1-8-8WD150 AH Z1-12-12WD150 AH Z1-4-0.8WD127 AH Z1-8-0.4WD127 AH Z1-12-0.2WD127 AH H1-2-2WD150 AH H1-4-4WD150 AH H1-4-0.1WD150 AH H2-2-2WD150 AH H2-4-4WD150 AH H2-4-0.05WD150 AH H3-2-2WD150 AH H3-4-4WD150 AH H3-4-0.03WD150 入射ビーム径 フラットトップサイズ ワーキングディスタンス Incident Beam Diameter 寸法(mm) Dimensions (1/e2 ømm) (mm) Working Distance (mm) øD T 4 8 12 4 8 12 2 4 4 2 4 4 2 4 4 4 8 12 0.8 0.4 0.2 2 4 0.1 2 4 0.05 2 4 0.03 150 150 150 127 127 127 150 150 150 150 150 150 150 150 150 25.4 25.4 38.1 25.4 25.4 38.1 30.0 30.0 30.0 30.0 30.0 30.0 30.0 30.0 30.0 3.0 3.0 5.0 3.0 3.0 5.0 5.0 5.0 5.0 5.0 5.0 5.0 5.0 5.0 5.0 1064 532 355 ② 2枚組 (位相整合付)Set of Two Lenses (with Phase Compensation) 応用例 Application Example 均一コリメートビーム ø2.0mm 2枚組 Set of Two Lenses Aspheric Beam Shaper 0 (mm) Flattop Size 10600 非球面ビームシェイパ -0.05 Uniform Collimated Beam ・非球面形状で中央部のビームを 拡げ、周辺部のビームを集める ことで、フラットトップビームを 形成。 ・単一素子にて、フラットトップビーム を形成。フラットトップ径は、素子 にて一意的に決定。 ・ By expanding the beam of the central portion on the aspheric shaped lens and converging the beams of the peripheral portion, a flattop beam is formed. ・ A flattop beam is formed with a single element. The flattop diameter is uniquely determined by the element. ⇒ 結像系 Imaging 1/5結像系 1/5 Imaging 位相整合レンズ 像面 Phase Compensation Lens 0.05 Image Surface 均一ビーム ø0.4mm Uniform Beam 断面プロファイル Cross-sectional Profile 波長:532nm Wavelength ø2.0mm 平行シングル モードビーム レンズ間距離 Lens Spacing Collimated Singlemode Beam 150mm マスク -0.2 Mask 結像レンズ 0 (mm) 0.2 Imaging Lens ・非球面ビームシェイパにて形成 したフラットトップビームを位相 波長 入射ビーム径 出射ビームサイズ レンズ間距離 Wavelength Incident Beam Diameter Output Beam Size Lens Spacing 整合レンズでコリメートし、マス シェイパ 位相整合 Shaper Phase Compensation (nm) (1/e2 ømm) (mm) (mm) ク結像系と組み合わせることで、 (øD×T) (øD×T) 均一強度の優れた急峻性を実現。 4 4 150 25.4 × 3.0 25.4 × 3.0 ・鏡筒付オプション有。 8 8 150 25.4 × 3.0 25.4 × 3.0 ・ The flattop beam formed with the aspheric 10600 beam shaper is collimated by using a 12 12 150 25.4 × 3.0 25.4 × 3.0 phase compensation lens, which, in combination with a mask Imaging, provides 2 2 150 30.0 × 5.0 30.0 × 5.0 excellent steepness with uniform intensity. 1064 4 4 150 30.0 × 5.0 30.0 × 5.0 ・ An option with a lens-barrel is available. 2 2 150 30.0 × 5.0 30.0 × 5.0 532 4 4 150 30.0 × 5.0 30.0 × 5.0 2 2 150 30.0 × 5.0 30.0 × 5.0 355 4 4 150 30.0 × 5.0 30.0 × 5.0 寸法(mm)Dimensions 型 番 Cat. No. AHC Z1-4-4LS150 AHC Z1-8-8LS150 AHC Z1-12-12LS150 AHC H1-2-2LS150 AHC H1-4-4LS150 AHC H2-2-2LS150 AHC H2-4-4LS150 AHC H3-2-2LS150 AHC H3-4-4LS150 非球面ビームシェイパタイプ(単一素子、2枚組、集光機能分離)、波長、 入射ビーム径、フラットトップサイズ(出射ビームサイズ)、ワーキング ディスタンス(WD)/レンズ間距離(LS)をご指定ください。 Specify the aspheric beam shaper type (Single Element, set of two lenses, Non-Focus Unit), wavelength, incident beam diameter, Flattop Size(Output Beam Size), and working distance (WD)/Lens Spacing(LS). 型番例 Product No. AH H1 - 4 - 0.1 WD150 入射ビーム径 フラットトップサイズ AH :単一素子 波長 AHC:2枚組 Z1:10600nm (4mm) H1:1064nm H2:532nm H3:355nm H4:266nm Single Element Set of Two Lenses AHU:集光機能分離 Non-Focus Unit Wavelength Incident Beam Diameter(出射ビームサイズ) Flattop Size (Output Beam Size) (0.1mm) WD:ワーキングディスタンス Working distance LS :レンズ間距離 Lens Spacing (150mm) ※記載の仕様以外にも各種取り扱っておりますので、具体的にご相談ください。 * We offer a wide selection of products with specifications other than those listed here. Contact us with the specific details of the products you need. 2 002-003.indd 2 15/06/16 9:16 非球面ビームシェイパ ③ 集光機能分離タイプ Non-Focus Unit Type Aspheric Beam Shaper 組合せ例 Combination Example 非球面 ビームシェイパユニット Aspheric Beam Shaper Unit 集光レンズ 像面 Image Surface Focusing Lens ⇒ FL100 集光レンズ FL100 Focusing Lens 均一ビーム ø0.05mm Uniform Beam 断面プロファイル Cross-sectional Profile (FL100mm) 波長:532nm Wavelength ø4.0mm 平行シングル モードビーム -0.025 Collimated Singlemode Beam 波長 型 番 Wavelength (nm) Cat. No. AHU Z1-4-04 AHU Z1-8-08 AHU Z1-12-02 AHU H1-2-01 AHU H2-4-005 AHU H3-4-003 入射ビーム径 Incident Beam Diameter (1/e2 ømm) 4 8 12 2 4 4 10600 1064 532 355 0 0.025 (mm) フラットトップサイズ(代表例) 寸法(mm)Dimensions ・集光レンズと組み合わせて、集 Typical Flattop Size 光レンズの焦点位置でフラット ※ øD T (mm) トップビームを形成。 0.4 50.0 20.0 ・集光レンズの焦点距離により、 フラットトップのサイズを変更 0.8 50.0 20.0 可能。 0.2 50.0 20.0 0.1 0.05 0.03 50.0 50.0 50.0 20.0 20.0 20.0 ・Flattop beam size can be changed linearly with the focal length of the focusing lens. ・Changing the focal length of the focusing lens changes the flattop diameter. ※ FL100mm 集光レンズ使用時 * When an FL 100mm focusing lens is used 非球面ビームシェイパタイプ(単一素子、2枚組、集光機能分離)、波長、 入射ビーム径、フラットトップサイズ(出射ビームサイズ)、ワーキング ディスタンス(WD)/レンズ間距離(LS)をご指定ください。 Specify the aspheric beam shaper type (Single Element, set of two lenses, Non-Focus Unit), wavelength, incident beam diameter, Flattop Size(Output Beam Size), and working distance (WD)/Lens Spacing(LS). 型番例 Product No. AH H1 - 4 - 0.1 WD150 入射ビーム径 フラットトップサイズ AH :単一素子 波長 AHC:2枚組 Z1:10600nm (4mm) H1:1064nm H2:532nm H3:355nm H4:266nm Single Element Set of Two Lenses AHU:集光機能分離 Non-Focus Unit Wavelength Incident Beam Diameter(出射ビームサイズ) Flattop Size (Output Beam Size) 非球面ビームシェイパ原理図 (0.1mm) WD:ワーキングディスタンス Working distance LS :レンズ間距離 Lens Spacing (150mm) ※記載の仕様以外にも各種取り扱っておりますので、具体的にご相談ください。 * We offer a wide selection of products with specifications other than those listed here. Contact us with the specific details of the products you need. Principle of Geometrical Intensity Mapping with Aspheric Beam Shaper 非球面ビームシェイパ Aspheric Beam Shaper 周辺ビーム収束 Outer Beam Portion Converges 中央ビーム拡大 シングルモードビーム Central Beam Portion Diverges Single Mode Beam フラットトップビーム Flattop Beam 3 002-003.indd 3 15/06/16 9:16 DOEビームシェイパ ④ 単一素子 DOE Beam Shaper Single Element 矩形ビーム DOE ビームシェイパ Rectangular Beam 像面 DOE Beam Shaper Image Surface 断面プロファイル 均一矩形ビーム 1.0mm×0.5mm Uniform Rectangular Beam Cross-sectional Profile 波長:532nm Wavelength X ø2.0mm 平行シングル モードビーム Collimated Singlemode Beam ラインビーム DOE ビームシェイパ Line Beam 像面 DOE Beam Shaper -0.5 0 +0.5 X-axis (mm) Y 70mm 均一ラインビーム Image Surface 断面プロファイル Uniform Line Beam Cross-sectional Profile 4.0mm×0.1mm 波長:532nm -0.25 0 +0.25 Y-axis (mm) Wavelength ø3.0mm 平行シングル モードビーム -2 Collimated Singlemode Beam 0 (mm) 100mm 波長 型 番 Wavelength 入射ビーム径 フラットトップ形状 ワーキングディスタンス Incident Beam Diameter (nm) (1/e ømm) Cat. No. 2 DH Z1-15-25X03WD250 DH Z1-6.25-10X02WD85 DH Q1-5-4X0027WD100 DH Q2-2-1X05WD70 DH Q2-2.5-S004WD54 DH Q2-2-01X0015WD43 DH Q2-2-1.28X002WD54 DH Q3-10-01X001WD210 DH Q3-3-S02WD130 DH Q4-5-S025WD220 10600 1064 532 355 266 15 6.25 5 2 2.5 2 2 10 3 5 寸法(mm) Dimensions Flattop Shape Working Distance (mm) 25 × 0.3 10 × 0.2 4 × 0.027 1 × 0.5 0.04 × 0.04 0.1 × 0.015 1.28 × 0.02 0.1 × 0.01 0.2 × 0.2 0.25 × 0.25 øD T 250 85 100 70 54 43 54 210 130 220 50.0 50.0 50.0 50.0 50.0 50.0 50.0 50.0 50.0 50.0 5.0 5.0 5.0 5.0 5.0 5.0 5.0 5.0 5.0 5.0 (mm) 2 ・単一素子にて、矩形やライン形 状のフラットトップビームを形成。 フラットトップ形状は、素子にて 一意的に決定。 ・A flattop beam with a rectangle or line shape is formed with a single element. The flattop shape is determined uniquely by the element. DOEビームシェイパタイプ (単一素子、 集光機能分離、 長焦点深度) 、 波長、入射ビーム径、フラットトップ形状、ワーキングディスタンス (WD)をご指定ください。 Specify the DOE beam shaper type (Single Element, Non-Focus Unit, long focal depth), wavelength, incident beam diameter, Flattop Shape, and working distance (WD). 型番例 Product No. DH Q2 - 5 - 1X 05 WD70 DH :単一素子 波長 DHU:集光機能分離 Z1:10600nm (5mm) Q1:1064nm Q2:532nm Q3:355nm Q4:266nm Single Element Non-Focus Unit DHL:長焦点深度 Long focal Depth Wavelength 入射ビーム径 Incident Beam Diameter フラットトップ形状 Flattop Shapr (1 × 0.5mm) WD (70mm) ※記載の仕様以外にも各種取り扱っておりますので、具体的にご相談ください。 * We offer a wide selection of products with specifications other than those listed here. Contact us with the specific details of the products you need. 4 004-005.indd 4 15/06/16 9:17 DOEビームシェイパ ⑤ 集光機能分離タイプ DOE Beam Shaper 組合せ例 Combination Example Non-Focus Unit Type ⇒ FL100集光レンズ FL100 Focusing Lens DOE ビームシェイパユニット DOE Beam Shaper Unit 均一ビーム 0.154mm 角 像面 集光レンズ 断面プロファイル Uniform Beam: 0.154mm Square Cross-sectional Profile Image Surface Focusing Lens (FL100mm) 波長:355nm Wavelength ø3.0mm 平行シングル モードビーム -0.077 0 0.077 (mm) Collimated Singlemode Beam 波長 型 番 入射ビーム径 Wavelength Incident Beam Diameter (nm) Cat. No. DHU Z1-15-10X012 DHU Z1-6.25-11.8X024 DHU Q1-5-4X0027 DHU Q2-2-1.4X07 DHU Q2-2.5-S0074 DHU Q2-2-0233X0035 DHU Q2-2-2.37X0037 DHU Q3-10-0048X0005 DHU Q3-3-S0154 DHU Q4-5-S0114 (1/e2 ømm) 15 6.25 5 2 2.5 2 2 10 3 5 10600 1064 532 355 266 フラットトップ形状(代表例)寸法(mm)Dimensions ・集光レンズと組み合わせること Typical Flattop Shape で、集光レンズの焦点位置で矩 ※ øD T (mm) 形やライン形状のフラットトップ 10 × 0.12 60.0 20.0 ビームを形成。集光レンズの焦 点距離を変えることで、形状の 11.8 × 0.24 60.0 20.0 比率を変化。 4 × 0.027 60.0 20.0 1.4 × 0.7 0.074 × 0.074 0.233 × 0.035 2.37 × 0.037 0.048 × 0.005 0.154 × 0.154 0.114 × 0.114 60.0 60.0 60.0 60.0 60.0 60.0 60.0 20.0 20.0 20.0 20.0 20.0 20.0 20.0 ・ The combination with a focusing lens causes a rectangle or line shaped flattop beam to be formed at the focal position of the focusing lens. Changing the focal length of the focusing lens changes the ratio of the shape. ※ FL100mm 集光レンズ使用時 * When an FL 100mm focusing lens is used ⑥ 長焦点深度 (集光機能分離)タイプ Long Focal Depth(Non-Focus) Type 組合せ例 Combination Example 均一ビーム 0.04mm 角 長焦点深度 DOE ビームシェイパ Uniform Beam: 0.04mm Square Long Focal Depth DOE Beam Shaper 集光レンズ Focusing Lens 波長:532nm ⇒ FL200集光レンズ FL200 Focusing Lens 断面プロファイル Cross-sectional Profile 像面 Image Surface (FL200mm) Wavelength 0.04mm ø5.0mm 平行シングル モードビーム Collimated Singlemode Beam 型 番 Cat. No. DHL Z1-8-290 DHL Z1-7.2-S310 DHL Q1-4.7-80 DHL Q1-5-S80 DHL Q2-4.7-40 DHL Q2-5-S40 DHL Q3-4.7-27 DHL Q3-5-S27 DHL Q4-4.7-20 DHL Q4-5-S20 DHL Q4-3-S34 波長 Wavelength (nm) 寸法(mm) 入射ビーム径 フラットトップ形状(代表例) Incident Beam Diameter Typical Flattop Shape 8 7.2 4.7 5 4.7 5 4.7 5 4.7 5 3 ø290 310 × 310 ø80 80 × 80 ø40 40 × 40 ø27 27 × 27 ø20 20 × 20 34 × 34 (1/e2 ømm) 10600 1064 532 355 266 ※ (µm) Dimensions øD T 25.4 25.4 25.0 25.0 25.0 25.0 25.0 25.0 25.0 25.0 25.0 5.08 5.08 5.00 5.00 5.00 5.00 5.00 5.00 5.00 5.00 5.00 ・集 光レンズと組 み合わせること で、焦点位置でのビームのピーク 強度を低減し、長焦点深度を実現。 ・組み合わせる集光レンズの焦点距 離を変えることで、形状が変化。 ・円形と正方形の 2 タイプを用意。 ・The combination with a focusing lens reduces the peak intensity of the beam at the focal position, which achieves the long focal depth. ・Flattop beam size can be changed linearly with the focal length of the focusing lens. ・We offer two types: circular and square. ※波長 10600nm は FL127、それ以外の波長は FL200 集光レンズ使用時 円形強度分布 正方形強度分布 Intensity Distribution of the Circular Type Intensity Distribution of the Square Type * The wavelength of 10,600nm is the value with FL 127 focusing lens; the other wavelengths are values with the FL 200 focusing lens デフォーカス特性 Defocus Characteristics DOEビームシェイパタイプ (単一素子、 集光機能分離、 長焦点深度) 、 波長、入射ビーム径、フラットトップ形状、ワーキングディスタンス (WD)をご指定ください。 DH Q2 - 5 - 1X 05 WD70 波長 DHU:集光機能分離 Z1:10600nm (5mm) Q1:1064nm Q2:532nm Q3:355nm Q4:266nm Single Element Non-Focus Unit DHL:長焦点深度 Long Focal Depth Wavelength 入射ビーム径 Incident Beam Diameter フラットトップ形状 Flattop Shape (1 × 0.5mm) WD (70mm) ※記載の仕様以外にも各種取り扱っておりますので、具体的にご相談ください。 * We offer a wide selection of products with specifications other than those listed here. Contact us with the specific details of the products you need. (532nm, f=200mm) 20μm Intensity 0 JZ=−400 −300 −200 −100 40μm 0 +100 (比較参考) 非球面ビームシェイパ 1 強度 DH :単一素子 Long Focal Depth DOE Beam Shaper (a.u.) Intensity 型番例 Product No. 1 強度 Specify the DOE beam shaper type (Single Element, Non-Focus Unit, long focal depth), wavelength, incident beam diameter, Flattop Shape, and working distance (WD). 長焦点深度 DOE ビームシェイパ +200 +300 +400 (mm) (532nm, f=200mm) (Reference for Comparison) Aspheric Beam Shaper 44μm (a.u.) 0 65μm 5 004-005.indd 5 15/06/16 9:17 ビームシェイパ比較表 Beam Shaper Comparison Table 非球面ビームシェイパ DOEビームシェイパ Aspheric Beam Shaper DOE Beam Shaper ② 2枚組(位相整合) ③ 集光機能分離 〜 結像系 〜 ① 単一素子 Single Element Non-Focus Unit Set of Two Lenses (with Phase Compensation) - Imaging - 非球面 ビームシェイパ 非球面 ビームシェイパ Aspheric Beam Shaper Aspheric Beam Shaper 位相整合 レンズ 非球面 ビームシェイパユニット Phase Compensation Aspheric Beam Shaper Unit ⑥ 長焦点深度 ⑤ 集光機能分離 (集光機能分離) ④ 単一素子 Single Element Non-Focus Unit DOE ビームシェイパ Long Focal Depth (Non-Focus) DOE ビームシェイパユニット DOE Beam Shaper 長焦点深度 DOEビームシェイパ DOE Beam Shaper Unit Long Focal Depth DOE Beam Shaper 光学系 概要 Overview of Optical Systems 結像系 像面 マスク Mask 集光レンズ Imaging 像面 像面 Focusing Lens Image Surface Image Surface 集光レンズ Focusing Lens 像面 Image Surface 集光レンズ Focusing Lens 像面 Image Surface Image Surface 単一素子にて、フラッ トトップビームを形成。 フラットトップ 径 は、 素子にて一意的に決定。 特長 Features 均一強度 分布形状 Uniform Intensity Distribution Shape 均一強度分布 サイズ Uniform Intensity Distribution Size A flattop beam is formed with a single element. The flattop diameter is uniquely determined by the element. 形成したフラットトップ ビームを位相整合レン ズコリメート、マスク 結像系との組み合わせ で、均一強度の優れた 急峻性を実現。 The formed flattop beam is collimated by using a phase compensation lens, which, in combination with a mask Imaging, provides excellent steepness with uniform intensity. 集光レンズと組み合わ せて、集光レンズの焦 点位置でフラットトッ プビームを形成。集光 レンズの焦点距離を 変えることで、 フラット トップ径を変化。 The combination with a focusing lens causes a flattop beam to be formed at the focal position of the focusing lens. Changing the focal length of the focusing lens changes the flattop diameter. 単一素子にて、矩形や ライン形状のフラット トップビームを形成。 フラットトップ形状は、 素子にて一意的に決定。 A flattop beam with a rectangle or line shape is formed with a single element. The flattop shape is determined uniquely by the element. 集光レンズと組み合わせ て、集光レンズの焦点位 置で矩形やライン形状の フラットトップビームを 形成。集光レンズの焦点 距離を変えることで、形 状の比率を変化。 The combination with a focusing lens causes a rectangle or line shaped flattop beam to be formed at the focal position of the focusing lens. Changing the focal length of the focusing lens change the ratio of the shape. 集光レンズと組み合わせ て、焦点位置でビーム のピーク強度を低減、 長焦点深度を実現。 The combination with a focusing lens reduces the peak intensity of the beam at the focal position, which achieves the long focal depth. 円形 円形 円形 円形/矩形/ライン 他 円形/矩形/ライン 他 円形/正方形 Circle Circle Circle Circle, Rectangle, Line, etc. Circle, Rectangle, Line, etc. Circle, Square 設計により任意 設計により任意 設計により任意 設計により任意 Any size depending on the design Any size depending on the design Any size depending on the design Any size depending on the design 集光レンズの スポット近似 設計により任意 Spot approximation of the focusing lens Any size depending on the design 均一強度の 急峻性 Steepness of the Uniform Intensity 焦点深度 Focal Depth 〜 〜 エネルギー 利用率 〜 〜 〜 〜 Energy Usage Rate :優 :良 :適 : Excellent, 入射ビーム径依存性 Incident Beam Diameter Dependency Example: Single Element Rectangular DOE Beam Shaper Wavelength 532nm 1mm × 0.5mm) Incident Beam Decenter Dependency 設計より小さい入射ビーム径(−10%) 設計より大きい入射ビーム径(+10%) Incident beam diameter smaller than the design (-10%) Incident beam diameter larger than the design (+10%) 凸状の分布 ● 火中に廃棄しないこと。Do not dispose by incineration. 警告 (波長 Wavelength 532nm 1mm × 0.5mm) Shift of the incident position in the longitudinal direction of the rectangle 傾斜状の分布 Concave Distribution ●レンズは酸やアルカリとは区別して保管してください。Please Example: Single Element Rectangular DOE Beam Shaper 矩形長軸方向へ入射位置ずれ 凹状の分布 Convex Distribution : Fair 入射光軸ズレ依存性 例:単一素子 矩形DOEビームシェイパ 例:単一素子 矩形DOEビームシェイパ (波長 : Good, Tilted Distribution ● 酸、 アルカリに浸さないこと。Do not dip in acid or alkali. store away from acid and alkali. ● 廃棄の際は、 都道府県指定の産業廃棄物処理業者に処理を委託してください。Disposal should be in compliance with all applicable laws and regulations. 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