ビームシェイパ

009
光学製品ガイド No.
シングルモードレーザ用
For Single-mode Laser
ビームシェイパ
Beam Shaper 第2版
H1.indd 1
15.6.16 9:21:50 AM
非球面ビームシェイパ
① 単一素子
Aspheric Beam Shaper
Single Element
非球面ビームシェイパ
像面
Aspheric Beam Shaper
均一ビーム ø0.1mm
Image Surface
断面プロファイル
Uniform Beam
Cross-sectional Profile
波長:1064nm
Wavelength
ø4.0mm
平行シングル
モードビーム
ワーキング
ディスタンス
Working Distance
Collimated Singlemode Beam
150mm
波長
型 番
Wavelength
(nm)
Cat. No.
AH Z1-4-4WD150
AH Z1-8-8WD150
AH Z1-12-12WD150
AH Z1-4-0.8WD127
AH Z1-8-0.4WD127
AH Z1-12-0.2WD127
AH H1-2-2WD150
AH H1-4-4WD150
AH H1-4-0.1WD150
AH H2-2-2WD150
AH H2-4-4WD150
AH H2-4-0.05WD150
AH H3-2-2WD150
AH H3-4-4WD150
AH H3-4-0.03WD150
入射ビーム径 フラットトップサイズ ワーキングディスタンス
Incident Beam Diameter
寸法(mm)
Dimensions
(1/e2 ømm)
(mm)
Working Distance
(mm)
øD
T
4
8
12
4
8
12
2
4
4
2
4
4
2
4
4
4
8
12
0.8
0.4
0.2
2
4
0.1
2
4
0.05
2
4
0.03
150
150
150
127
127
127
150
150
150
150
150
150
150
150
150
25.4
25.4
38.1
25.4
25.4
38.1
30.0
30.0
30.0
30.0
30.0
30.0
30.0
30.0
30.0
3.0
3.0
5.0
3.0
3.0
5.0
5.0
5.0
5.0
5.0
5.0
5.0
5.0
5.0
5.0
1064
532
355
② 2枚組
(位相整合付)Set of Two Lenses (with Phase Compensation)
応用例 Application Example
均一コリメートビーム ø2.0mm
2枚組
Set of Two Lenses
Aspheric Beam Shaper
0
(mm)
Flattop Size
10600
非球面ビームシェイパ
-0.05
Uniform Collimated Beam
・非球面形状で中央部のビームを
拡げ、周辺部のビームを集める
ことで、フラットトップビームを
形成。
・単一素子にて、フラットトップビーム
を形成。フラットトップ径は、素子
にて一意的に決定。
・ By expanding the beam of the central
portion on the aspheric shaped lens and
converging the beams of the peripheral
portion, a flattop beam is formed.
・ A flattop beam is formed with a single
element. The flattop diameter is uniquely
determined by the element.
⇒ 結像系 Imaging
1/5結像系
1/5 Imaging
位相整合レンズ
像面
Phase Compensation Lens
0.05
Image Surface
均一ビーム
ø0.4mm
Uniform Beam
断面プロファイル
Cross-sectional Profile
波長:532nm
Wavelength
ø2.0mm
平行シングル
モードビーム
レンズ間距離
Lens Spacing
Collimated Singlemode Beam
150mm
マスク
-0.2
Mask
結像レンズ
0
(mm)
0.2
Imaging Lens
・非球面ビームシェイパにて形成
したフラットトップビームを位相
波長 入射ビーム径 出射ビームサイズ レンズ間距離
Wavelength Incident Beam Diameter
Output Beam Size
Lens Spacing
整合レンズでコリメートし、マス
シェイパ 位相整合
Shaper
Phase Compensation
(nm) (1/e2 ømm)
(mm)
(mm)
ク結像系と組み合わせることで、
(øD×T) (øD×T)
均一強度の優れた急峻性を実現。
4
4
150
25.4 × 3.0 25.4 × 3.0 ・鏡筒付オプション有。
8
8
150
25.4 × 3.0 25.4 × 3.0 ・ The flattop beam formed with the aspheric
10600
beam shaper is collimated by using a
12
12
150
25.4 × 3.0 25.4 × 3.0
phase compensation lens, which, in
combination with a mask Imaging, provides
2
2
150
30.0 × 5.0 30.0 × 5.0
excellent steepness with uniform intensity.
1064
4
4
150
30.0 × 5.0 30.0 × 5.0 ・ An option with a lens-barrel is available.
2
2
150
30.0 × 5.0 30.0 × 5.0
532
4
4
150
30.0 × 5.0 30.0 × 5.0
2
2
150
30.0 × 5.0 30.0 × 5.0
355
4
4
150
30.0 × 5.0 30.0 × 5.0
寸法(mm)Dimensions
型 番
Cat. No.
AHC Z1-4-4LS150
AHC Z1-8-8LS150
AHC Z1-12-12LS150
AHC H1-2-2LS150
AHC H1-4-4LS150
AHC H2-2-2LS150
AHC H2-4-4LS150
AHC H3-2-2LS150
AHC H3-4-4LS150
非球面ビームシェイパタイプ(単一素子、2枚組、集光機能分離)、波長、
入射ビーム径、フラットトップサイズ(出射ビームサイズ)、ワーキング
ディスタンス(WD)/レンズ間距離(LS)をご指定ください。
Specify the aspheric beam shaper type (Single Element, set of two lenses, Non-Focus Unit), wavelength,
incident beam diameter, Flattop Size(Output Beam Size), and working distance (WD)/Lens Spacing(LS).
型番例
Product No.
AH H1 - 4 - 0.1 WD150
入射ビーム径 フラットトップサイズ
AH :単一素子
波長
AHC:2枚組
Z1:10600nm (4mm)
H1:1064nm
H2:532nm
H3:355nm
H4:266nm
Single Element
Set of Two Lenses
AHU:集光機能分離
Non-Focus Unit
Wavelength
Incident Beam Diameter(出射ビームサイズ)
Flattop Size
(Output Beam Size)
(0.1mm)
WD:ワーキングディスタンス
Working distance
LS :レンズ間距離
Lens Spacing
(150mm)
※記載の仕様以外にも各種取り扱っておりますので、具体的にご相談ください。
* We offer a wide selection of products with specifications other than those listed here. Contact us with the specific details of the products you need.
2
002-003.indd 2
15/06/16 9:16
非球面ビームシェイパ
③ 集光機能分離タイプ
Non-Focus Unit Type
Aspheric Beam Shaper
組合せ例 Combination Example
非球面
ビームシェイパユニット
Aspheric Beam Shaper Unit
集光レンズ
像面
Image Surface
Focusing Lens
⇒ FL100 集光レンズ FL100 Focusing Lens
均一ビーム ø0.05mm
Uniform Beam
断面プロファイル
Cross-sectional Profile
(FL100mm)
波長:532nm
Wavelength
ø4.0mm
平行シングル
モードビーム
-0.025
Collimated Singlemode Beam
波長
型 番
Wavelength
(nm)
Cat. No.
AHU Z1-4-04
AHU Z1-8-08
AHU Z1-12-02
AHU H1-2-01
AHU H2-4-005
AHU H3-4-003
入射ビーム径
Incident Beam Diameter
(1/e2 ømm)
4
8
12
2
4
4
10600
1064
532
355
0 0.025
(mm)
フラットトップサイズ(代表例) 寸法(mm)Dimensions ・集光レンズと組み合わせて、集
Typical Flattop Size
光レンズの焦点位置でフラット
※
øD
T
(mm)
トップビームを形成。
0.4
50.0
20.0
・集光レンズの焦点距離により、
フラットトップのサイズを変更
0.8
50.0
20.0
可能。
0.2
50.0
20.0
0.1
0.05
0.03
50.0
50.0
50.0
20.0
20.0
20.0
・Flattop beam size can be changed linearly
with the focal length of the focusing lens.
・Changing the focal length of the focusing
lens changes the flattop diameter.
※ FL100mm 集光レンズ使用時
* When an FL 100mm focusing lens is used
非球面ビームシェイパタイプ(単一素子、2枚組、集光機能分離)、波長、
入射ビーム径、フラットトップサイズ(出射ビームサイズ)、ワーキング
ディスタンス(WD)/レンズ間距離(LS)をご指定ください。
Specify the aspheric beam shaper type (Single Element, set of two lenses, Non-Focus Unit), wavelength,
incident beam diameter, Flattop Size(Output Beam Size), and working distance (WD)/Lens Spacing(LS).
型番例
Product No.
AH H1 - 4 - 0.1 WD150
入射ビーム径 フラットトップサイズ
AH :単一素子
波長
AHC:2枚組
Z1:10600nm (4mm)
H1:1064nm
H2:532nm
H3:355nm
H4:266nm
Single Element
Set of Two Lenses
AHU:集光機能分離
Non-Focus Unit
Wavelength
Incident Beam Diameter(出射ビームサイズ)
Flattop Size
(Output Beam Size)
非球面ビームシェイパ原理図
(0.1mm)
WD:ワーキングディスタンス
Working distance
LS :レンズ間距離
Lens Spacing
(150mm)
※記載の仕様以外にも各種取り扱っておりますので、具体的にご相談ください。
* We offer a wide selection of products with specifications other than those listed here. Contact us with the specific details of the products you need.
Principle of Geometrical Intensity Mapping with Aspheric Beam Shaper
非球面ビームシェイパ
Aspheric Beam Shaper
周辺ビーム収束
Outer Beam Portion Converges
中央ビーム拡大
シングルモードビーム
Central Beam Portion Diverges
Single Mode Beam
フラットトップビーム
Flattop Beam
3
002-003.indd 3
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DOEビームシェイパ
④ 単一素子
DOE Beam Shaper
Single Element
矩形ビーム
DOE ビームシェイパ
Rectangular Beam
像面
DOE Beam Shaper
Image Surface
断面プロファイル
均一矩形ビーム 1.0mm×0.5mm
Uniform Rectangular Beam
Cross-sectional Profile
波長:532nm
Wavelength
X
ø2.0mm
平行シングル
モードビーム
Collimated Singlemode Beam
ラインビーム
DOE ビームシェイパ
Line Beam
像面
DOE Beam Shaper
-0.5 0 +0.5
X-axis (mm)
Y
70mm
均一ラインビーム
Image Surface
断面プロファイル
Uniform Line Beam
Cross-sectional Profile
4.0mm×0.1mm
波長:532nm
-0.25 0 +0.25
Y-axis (mm)
Wavelength
ø3.0mm
平行シングル
モードビーム
-2
Collimated Singlemode Beam
0
(mm)
100mm
波長
型 番
Wavelength
入射ビーム径 フラットトップ形状 ワーキングディスタンス
Incident Beam Diameter
(nm) (1/e ømm)
Cat. No.
2
DH Z1-15-25X03WD250
DH Z1-6.25-10X02WD85
DH Q1-5-4X0027WD100
DH Q2-2-1X05WD70
DH Q2-2.5-S004WD54
DH Q2-2-01X0015WD43
DH Q2-2-1.28X002WD54
DH Q3-10-01X001WD210
DH Q3-3-S02WD130
DH Q4-5-S025WD220
10600
1064
532
355
266
15
6.25
5
2
2.5
2
2
10
3
5
寸法(mm)
Dimensions
Flattop Shape
Working Distance
(mm)
25 × 0.3
10 × 0.2
4 × 0.027
1 × 0.5
0.04 × 0.04
0.1 × 0.015
1.28 × 0.02
0.1 × 0.01
0.2 × 0.2
0.25 × 0.25
øD
T
250
85
100
70
54
43
54
210
130
220
50.0
50.0
50.0
50.0
50.0
50.0
50.0
50.0
50.0
50.0
5.0
5.0
5.0
5.0
5.0
5.0
5.0
5.0
5.0
5.0
(mm)
2
・単一素子にて、矩形やライン形
状のフラットトップビームを形成。
フラットトップ形状は、素子にて
一意的に決定。
・A flattop beam with a rectangle or line
shape is formed with a single element.
The flattop shape is determined uniquely by
the element.
DOEビームシェイパタイプ
(単一素子、
集光機能分離、
長焦点深度)
、
波長、入射ビーム径、フラットトップ形状、ワーキングディスタンス
(WD)をご指定ください。
Specify the DOE beam shaper type (Single Element, Non-Focus Unit, long focal depth),
wavelength, incident beam diameter, Flattop Shape, and working distance (WD).
型番例
Product No.
DH Q2 - 5 - 1X 05 WD70
DH :単一素子
波長
DHU:集光機能分離
Z1:10600nm (5mm)
Q1:1064nm
Q2:532nm
Q3:355nm
Q4:266nm
Single Element
Non-Focus Unit
DHL:長焦点深度
Long focal Depth
Wavelength
入射ビーム径
Incident Beam Diameter
フラットトップ形状
Flattop Shapr
(1 × 0.5mm)
WD
(70mm)
※記載の仕様以外にも各種取り扱っておりますので、具体的にご相談ください。
* We offer a wide selection of products with specifications other than those listed here. Contact us with the specific details of the products you need.
4
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DOEビームシェイパ
⑤ 集光機能分離タイプ
DOE Beam Shaper
組合せ例 Combination Example
Non-Focus Unit Type
⇒ FL100集光レンズ FL100 Focusing Lens
DOE
ビームシェイパユニット
DOE Beam Shaper Unit
均一ビーム
0.154mm 角
像面
集光レンズ
断面プロファイル
Uniform Beam: 0.154mm Square
Cross-sectional Profile
Image Surface
Focusing Lens
(FL100mm)
波長:355nm
Wavelength
ø3.0mm
平行シングル
モードビーム
-0.077 0 0.077
(mm)
Collimated Singlemode Beam
波長
型 番
入射ビーム径
Wavelength
Incident Beam Diameter
(nm)
Cat. No.
DHU Z1-15-10X012
DHU Z1-6.25-11.8X024
DHU Q1-5-4X0027
DHU Q2-2-1.4X07
DHU Q2-2.5-S0074
DHU Q2-2-0233X0035
DHU Q2-2-2.37X0037
DHU Q3-10-0048X0005
DHU Q3-3-S0154
DHU Q4-5-S0114
(1/e2 ømm)
15
6.25
5
2
2.5
2
2
10
3
5
10600
1064
532
355
266
フラットトップ形状(代表例)寸法(mm)Dimensions ・集光レンズと組み合わせること
Typical Flattop Shape
で、集光レンズの焦点位置で矩
※
øD
T
(mm)
形やライン形状のフラットトップ
10 × 0.12
60.0
20.0
ビームを形成。集光レンズの焦
点距離を変えることで、形状の
11.8 × 0.24
60.0
20.0
比率を変化。
4 × 0.027
60.0
20.0
1.4 × 0.7
0.074 × 0.074
0.233 × 0.035
2.37 × 0.037
0.048 × 0.005
0.154 × 0.154
0.114 × 0.114
60.0
60.0
60.0
60.0
60.0
60.0
60.0
20.0
20.0
20.0
20.0
20.0
20.0
20.0
・ The combination with a focusing lens causes
a rectangle or line shaped flattop beam
to be formed at the focal position of the
focusing lens. Changing the focal length of
the focusing lens changes the ratio of the
shape.
※ FL100mm 集光レンズ使用時
* When an FL 100mm focusing lens is used
⑥ 長焦点深度
(集光機能分離)タイプ
Long Focal Depth(Non-Focus) Type
組合せ例 Combination Example
均一ビーム 0.04mm 角
長焦点深度
DOE ビームシェイパ
Uniform Beam: 0.04mm Square
Long Focal Depth DOE Beam Shaper
集光レンズ
Focusing Lens
波長:532nm
⇒ FL200集光レンズ FL200 Focusing Lens
断面プロファイル
Cross-sectional Profile
像面
Image Surface
(FL200mm)
Wavelength
0.04mm
ø5.0mm
平行シングル
モードビーム
Collimated Singlemode Beam
型 番
Cat. No.
DHL Z1-8-290
DHL Z1-7.2-S310
DHL Q1-4.7-80
DHL Q1-5-S80
DHL Q2-4.7-40
DHL Q2-5-S40
DHL Q3-4.7-27
DHL Q3-5-S27
DHL Q4-4.7-20
DHL Q4-5-S20
DHL Q4-3-S34
波長
Wavelength
(nm)
寸法(mm)
入射ビーム径 フラットトップ形状(代表例)
Incident Beam Diameter
Typical Flattop Shape
8
7.2
4.7
5
4.7
5
4.7
5
4.7
5
3
ø290
310 × 310
ø80
80 × 80
ø40
40 × 40
ø27
27 × 27
ø20
20 × 20
34 × 34
(1/e2 ømm)
10600
1064
532
355
266
※
(µm)
Dimensions
øD
T
25.4
25.4
25.0
25.0
25.0
25.0
25.0
25.0
25.0
25.0
25.0
5.08
5.08
5.00
5.00
5.00
5.00
5.00
5.00
5.00
5.00
5.00
・集 光レンズと組 み合わせること
で、焦点位置でのビームのピーク
強度を低減し、長焦点深度を実現。
・組み合わせる集光レンズの焦点距
離を変えることで、形状が変化。
・円形と正方形の 2 タイプを用意。
・The combination with a focusing lens reduces
the peak intensity of the beam at the focal
position, which achieves the long focal depth.
・Flattop beam size can be changed linearly
with the focal length of the focusing lens.
・We offer two types: circular and square.
※波長 10600nm は FL127、それ以外の波長は FL200 集光レンズ使用時
円形強度分布
正方形強度分布
Intensity Distribution of the
Circular Type
Intensity Distribution of the
Square Type
* The wavelength of 10,600nm is the value with FL 127 focusing lens; the other wavelengths are values with the FL 200 focusing lens
デフォーカス特性 Defocus Characteristics
DOEビームシェイパタイプ
(単一素子、
集光機能分離、
長焦点深度)
、
波長、入射ビーム径、フラットトップ形状、ワーキングディスタンス
(WD)をご指定ください。
DH Q2 - 5 - 1X 05 WD70
波長
DHU:集光機能分離
Z1:10600nm (5mm)
Q1:1064nm
Q2:532nm
Q3:355nm
Q4:266nm
Single Element
Non-Focus Unit
DHL:長焦点深度
Long Focal Depth
Wavelength
入射ビーム径
Incident Beam Diameter
フラットトップ形状
Flattop Shape
(1 × 0.5mm)
WD
(70mm)
※記載の仕様以外にも各種取り扱っておりますので、具体的にご相談ください。
* We offer a wide selection of products with specifications other than those listed here. Contact us with the specific details of the products you need.
(532nm, f=200mm)
20μm
Intensity
0
JZ=−400
−300
−200
−100
40μm
0
+100
(比較参考) 非球面ビームシェイパ
1
強度
DH :単一素子
Long Focal Depth DOE Beam Shaper
(a.u.)
Intensity
型番例
Product No.
1
強度
Specify the DOE beam shaper type (Single Element, Non-Focus Unit, long focal depth),
wavelength, incident beam diameter, Flattop Shape, and working distance (WD).
長焦点深度 DOE ビームシェイパ
+200
+300
+400 (mm)
(532nm, f=200mm)
(Reference for Comparison) Aspheric Beam Shaper
44μm
(a.u.)
0
65μm
5
004-005.indd 5
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ビームシェイパ比較表
Beam Shaper Comparison Table
非球面ビームシェイパ
DOEビームシェイパ
Aspheric Beam Shaper
DOE Beam Shaper
② 2枚組(位相整合)
③ 集光機能分離
〜 結像系 〜
① 単一素子
Single Element
Non-Focus Unit
Set of Two Lenses (with Phase Compensation)
- Imaging -
非球面
ビームシェイパ
非球面
ビームシェイパ
Aspheric Beam Shaper
Aspheric Beam Shaper
位相整合
レンズ
非球面
ビームシェイパユニット
Phase Compensation
Aspheric Beam Shaper Unit
⑥ 長焦点深度
⑤ 集光機能分離 (集光機能分離)
④ 単一素子
Single Element
Non-Focus Unit
DOE
ビームシェイパ
Long Focal Depth
(Non-Focus)
DOE
ビームシェイパユニット
DOE Beam Shaper
長焦点深度
DOEビームシェイパ
DOE Beam Shaper Unit
Long Focal Depth DOE Beam Shaper
光学系
概要
Overview of
Optical Systems
結像系
像面
マスク
Mask
集光レンズ
Imaging
像面
像面
Focusing Lens
Image Surface
Image Surface
集光レンズ
Focusing Lens
像面
Image Surface
集光レンズ
Focusing Lens
像面
Image Surface
Image Surface
単一素子にて、フラッ
トトップビームを形成。
フラットトップ 径 は、
素子にて一意的に決定。
特長
Features
均一強度
分布形状
Uniform Intensity Distribution Shape
均一強度分布
サイズ
Uniform Intensity Distribution Size
A flattop beam is formed with
a single element. The flattop
diameter is uniquely determined
by the element.
形成したフラットトップ
ビームを位相整合レン
ズコリメート、マスク
結像系との組み合わせ
で、均一強度の優れた
急峻性を実現。
The formed flattop beam is
collimated by using a phase
compensation lens, which, in
combination with a mask Imaging,
provides excellent steepness
with uniform intensity.
集光レンズと組み合わ
せて、集光レンズの焦
点位置でフラットトッ
プビームを形成。集光
レンズの焦点距離を
変えることで、
フラット
トップ径を変化。
The combination with a focusing
lens causes a flattop beam to
be formed at the focal position of
the focusing lens. Changing the
focal length of the focusing lens
changes the flattop diameter.
単一素子にて、矩形や
ライン形状のフラット
トップビームを形成。
フラットトップ形状は、
素子にて一意的に決定。
A flattop beam with a rectangle
or line shape is formed with a
single element. The flattop shape
is determined uniquely by the
element.
集光レンズと組み合わせ
て、集光レンズの焦点位
置で矩形やライン形状の
フラットトップビームを
形成。集光レンズの焦点
距離を変えることで、形
状の比率を変化。
The combination with a focusing
lens causes a rectangle or line
shaped flattop beam to be formed
at the focal position of the focusing
lens. Changing the focal length
of the focusing lens change the
ratio of the shape.
集光レンズと組み合わせ
て、焦点位置でビーム
のピーク強度を低減、
長焦点深度を実現。
The combination with a focusing
lens reduces the peak intensity
of the beam at the focal position,
which achieves the long focal
depth.
円形
円形
円形
円形/矩形/ライン 他 円形/矩形/ライン 他
円形/正方形
Circle
Circle
Circle
Circle, Rectangle, Line, etc. Circle, Rectangle, Line, etc.
Circle, Square
設計により任意
設計により任意
設計により任意
設計により任意
Any size depending on the design Any size depending on the design Any size depending on the design Any size depending on the design
集光レンズの
スポット近似
設計により任意
Spot approximation of the focusing lens
Any size depending on the design
均一強度の
急峻性
Steepness of the Uniform Intensity
焦点深度
Focal Depth
〜
〜
エネルギー
利用率
〜
〜
〜
〜
Energy Usage Rate
:優 :良 :適
: Excellent,
入射ビーム径依存性
Incident Beam Diameter Dependency
Example: Single Element Rectangular DOE Beam Shaper
Wavelength 532nm
1mm × 0.5mm)
Incident Beam Decenter Dependency
設計より小さい入射ビーム径(−10%)
設計より大きい入射ビーム径(+10%)
Incident beam diameter smaller than the design (-10%)
Incident beam diameter larger than the design (+10%)
凸状の分布
● 火中に廃棄しないこと。Do
not dispose by incineration.
警告
(波長
Wavelength 532nm
1mm × 0.5mm)
Shift of the incident position in the longitudinal direction of the rectangle
傾斜状の分布
Concave Distribution
●レンズは酸やアルカリとは区別して保管してください。Please
Example: Single Element Rectangular DOE Beam Shaper
矩形長軸方向へ入射位置ずれ
凹状の分布
Convex Distribution
: Fair
入射光軸ズレ依存性 例:単一素子 矩形DOEビームシェイパ
例:単一素子 矩形DOEビームシェイパ
(波長
: Good,
Tilted Distribution
● 酸、
アルカリに浸さないこと。Do
not dip in acid or alkali.
store away from acid and alkali.
● 廃棄の際は、
都道府県指定の産業廃棄物処理業者に処理を委託してください。Disposal
should be in compliance with all applicable laws and regulations.
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(2015.6)
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