Technical Report X-ray Spectroscopy No. S-001 励起X線の選択 How to select an excitation X-ray X線管から発生する1次X線をそのまま利用できれば最も高強度な励起源となりますが、測定に不必要な不純線が多く、また強度が強すぎるために結果として測定対象のエネルギー領域の計数率を低下させます。そのため、弊社では測定元素や測定試料に応じて適切な励起法を選択し、装置に実装しております。 ■ フィルター法の特徴と搭載装置 Normalized intensity / a.u. Cu K absorption edge: 8.979 keV 搭載装置はFD-01, 02, 03, 08-Cd etc. エネルギーに対する吸収係数の違いを利用して、特定のエネルギー範囲を取り出す手法。特性線励起の場合は吸収端を利用して、低エネルギー成分だけを効率よく取り出すことが可能。連続線励起の場合は、励起源である高エネルギー成分の減衰を抑えながら測定領域のバックグラウンド強度を低下させることで、PB比の向上が可能。 ■ 2次ターゲット法の特徴と搭載装置 W La W Lb 0 5 10 15 20 Energy / keV 25 30 Fig. 1. Normalized simulated intensity profiles by W-anode X-ray tube with Cu primary filter (red line) and without filter (blue line). 搭載装置はWFD-70, WFD-100 X線管に用いられていないターゲット材を選択可能で任意のエネルギーの特性X線を利用できます。 3次元偏光光学系をとることで、反射線由来のバックグラウンドを低下させることが可能。 LDPE sample_25kV-2mA_Pd-La line ■ モノクロ励起法の特徴と搭載装置適切な分光結晶を用いることで単一エネルギーの X線を切り出すことができ、さらに弊社では湾曲結晶を利用して高輝度化も図っています。 EDXのエネルギー分解能(～150 eV)から、分解能は落ちますが反射強度が増すモザイク結晶が有利。高エネルギーX線の分光は、結晶面間隔からブラッグ角が非常に小さくなるため、反射強度も低下します。このため本方法は、主に軽元素分析で用いられます。 http://techno-x.co.jp Intensity / a.u. Pd-La: 2.839 keV 搭載装置はWFD-70, WFD-100 Sum peak, Higher order diffraction 0 5 Energy / keV 10 Fig. 2. Spectrum of a monochromatic X-ray dispersed by HOPG. Pd-La line obviously appear at 2.839 keV. 〒533-0033 大阪市東淀川区東中島5丁目18番20号 TEL:06-6323-1100 FAX:06-6323-7770 発行：2014年 6月 Copyright©2013 Techno-X All Rights Reserved 15