電界放出形電子顕微鏡(FE ー SEM)を導入・設置

掲示期間 H-26-212
1 月 19 日~2 月 3 日
総合研究機構エレクトロニクス研究所に
この件に関する問い合
わせは広報課へ
電界放出形電子顕微鏡(FE ー SEM)を導入・設置
【FE-SEM 仕様:メーカー 日本電子 型式 JSM7100F/EDS/EBSD】
日時:平成 27 年 1 月 15 日(木)11:00~11:40
場所:B 棟 6F エレクトロニクス研究所計測室
内容:FE-SEM 導入テープカット及び機器デモンストレーション
西日本新聞 1 月 16 日(金)
朝刊に掲載されました。
《披露を兼ねてテープカット》
《機器デモンストレーションを実施》
(導入機器の特徴)
(1) 最高観察倍率は100万倍、1.2ナノメートル(nm)(= 1.2 mの10億分の1)、最
大横7 cm×高さ 5cmの試料観察が可能。 広範な分野の試料をナノレベルで
分析・研究できる。
(2) エネルギー分散形X線分析装置(EDS)及び結晶方位解析装置(EBSD)まで装着
した形での導入・設置は九州の私立大学で初。全国的に見てもトップクラス
の性能を有する。
(3)オプション機器の装着により、従来は別々の機器で行っていた試料表面の元
素分布の観察及び物質の結晶構造の分析を1台で実施することが可能とな
り、作業の大幅な時間短縮と研究の効率化が図られる。
(4)本事業は、文部科学省私立大学等研究設備整備費等補助事業に採択された。
(FE-SEMの位置づけ:大学の研究戦略)
(1) 本機器を中核機器として位置づけ、エレクトロニクス研究所の研究機能の強
化を図り、他の競争的研究助成の獲得や、地域の企業等との共同研究のニー
ズも高い。
(2) ナノレベル観察が可能なトップレベルの性能を活用し、特に、金属、半導体、
セラミック分野での最先端かつ独創的な研究の創出を目指す。
(3) 学生を最先端計測機器に習熟させることで、先端材料開発等に高い研究力・
技術力をもった技術者養成につなげる。