技術レポート No.T1005 2013.10.1 【技術資料】 異物の組成分析(SEM-EDS) Scanning Electron Microscope-Energy Dispersive Spectrometry 概要 SEM は試料表面上に電子線を走査させ、発生する二次電子や反射電子を検出して試料表面の形態を観 察出来ます。また、SEM に組み込まれた EDS（エネルギー分散型 X 線分析装置）を用いて、試料への電子線 の照射によって発生する特性 X 線を検出することにより、元素分析を行うことが出来ます。面分析（マッピン グ）による組成分析も可能です。 得られる情報 装置性能（FE-SEM） ・ 試料表面の形態及び組成分析 ・観察可能倍率：x100～300,000 ・元素（B~U）の定性、定量 ・分解能：1.5nm（15kV） ・数μm領域の元素分布 分析方法 試料中の異物を SEM で観察し、EDS で定性、定量分析しました。 異物1 SEM写真 元素 C O F Si トータル 重量濃度(%) 26.6 34.4 22.0 17.0 100.0 原子数濃度(%) 36.1 35.1 18.9 9.9 100.0 元素 C O Al Si Fe トータル 重量濃度(%) 19.9 29.0 0.5 1.3 49.3 100.0 原子数濃度(%) 37.5 41.0 0.4 1.1 20.0 100.0 測定箇所 10μm 異物2 SEM写真 測定箇所 30μm EDS の分析結果より、異物 1 は Si を主成分とし、異物 2 は鉄の酸化物(鉄錆)からなる異物であることが 分かりました。 株式会社 東ソー分析センター 南陽事業部 TEL 0834-63-9819 FAX 0834-63-9940 1/2 技術レポート No.T1005 2013.10.1 材料キーワード：Si、酸化鉄、鉄錆 適用分野 その他無機製品 株式会社 東ソー分析センター 南陽事業部 TEL 0834-63-9819 FAX 0834-63-9940 2/2
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