MXS CE/BE Series

MXS CE/BE Series
<150-1D>
ピッチ 150nm、透明基板(ガラス上アルミライン)上の一次元モデル 150-1D は、0.5 サブミクロンの正確な計
測をサポートする新たなツールです。0.5 サブミクロンの正確な計測は、ナノテクノロジーの発達と、従来の微細
加工構造(半導体、磁気データ記憶装置、光学データディスク)の減少とともに重要性を増してきています。
<750-HD>
AFM・STM・SEM 用高耐性較正リファレンス試料。試料には、較正証明書が提供されています。
<PT>
位相結像テスト試料(タッピングモード位相コントラストと分解能の検証)。位相結像は試料表面と近接した鋭い
プローブです。プローブは、機械的共振周波数に近い値で垂直に振動します。プローブは表面を軽く叩くため、
振動幅が減少します。原子間力顕微鏡は、表面のトポグラフィーを追跡するためにこの振動幅の変化を利用しま
す。プローブの動きはこの振動幅に加え、振動しているオシレーターに応じたその位相により特徴付けられます。
位相シグナルは、プローブが異なる構成物の領域に入ると変化します。位相の変動は、位相画像中にコントラス
トとして記録されます。
位相結像は、技術的化学的に関心がもたれている多くの複合物の表面上に優れたコントラストを提供します。
これらの複合物には、コンタミネーション、複合材料で構成されている不連続(不完全)の薄膜機器(例:磁気記録ヘ
ッド)、複合マテリアルの断面試料が含まれます。無機及び有機の材料を観察することができます。位相結像は、
接触モードの運転を基本とする他の方法よりも便利で、より優しい処理であることが分かっています。通常、10nm
の方位分解能を提供します。