球面収差補正機能付走査透過電子顕微鏡（Cs-corrected STEM）による材料評価 ■ 装置外観 ■ 装置基本仕様機種名日立HD-2700 (球面収差補正機能付) 電子銃冷陰極電界放出形加速電圧 200, 120, 80kV 分解能 0.144nm 保証像信号明視野STEM像,暗視野STEM像, 二次電子像, 特定回折暗視野像 ※材料に応じた最適な加速電圧が選択可能 ※結晶方位合わせ等が可能電子線回折ライブディフラクションカメラ付属 EDS EDAX Genesis XM2 EELS 日立 EV3000 ※ナノ領域の元素分析(Be~U)が可能 ※軽元素（Li,C等）の元素マッピング等が可能 ※ STEM: Scanning Transmission Electron Microscope , EDS： Energy Dispersive X-ray Spectroscopy, EELS: Electron Energy-loss Spectroscopy 球面収差補正機能とは？電子顕微鏡のレンズの収差を解消する画期的な技術により、顕微鏡の分解能と分析感度が飛躍的に向上高分解能像球面収差補正器 1) ナノ粒子セリア（CeO2） :Sr :Ti :O 5nm ① 燃料電池用触媒 Au-Pt CB 明視野STEM像明視野STEM像暗視野STEM像（ＺＣ像）試料提供：（株）アイテック ※ ZC像: Z contrast（組成コントラスト）像解析事例 ② 自然酸化膜/金属・アルミ箔（厚さ：約12m）明視野 STEM 像断面観察ＺＣ像 ③ セラミックス/ナノカーボン複合材・Al2O3/CNC (カーボンナノコイル) EELSマッピング CNC C-K Edge C ○ 1µm 30nm 明視野STEM 像 2nm Intensity/ a.u. Au Pt 260 EDSマッピング明視野STEM像 Al-K Distance/ nm Au/Pt コア・シェル断面観察 O-K 100nm 2 Al-L Edge 1 12 ○ ○ 150nm 最表面に約５nmの酸化膜を確認 340 8nm CNC EELSマッピング O マッピング ZC像 5nm 300 Energy Loss, E/ eV Al2O3 10nm 0 2 4 6 8 10 12 構造を確認加速電圧:200kV 加速電圧:120kV 加速電圧:200kV ナノ・原子レベルの観察・分析が容易に！・Au-Pt/ CB 3）構造像ＳｒＴｉＯ3 [100] 単結晶 2) ナノカーボン MWNT 70 80 90 100 110 Energy Loss, E/ eV Al 2O3/CNC界面に反応相は確認されず大阪府立産業技術総合研究所化学環境科長谷川泰則 TEL： 0725-51-2624 E-mail： [email protected]