２４年度戦略的基盤技術高度化支援事業採択案件 帯電型スプレーによる大面積積層型有機ＥＬデバイス向け 有機薄膜の成膜装置の開発 ■認定事業者 ：旭サナック株式会社（愛知県） ■共同研究者： 国立大学法人九州大学 最先端有機光エレクトロニクス研究センター（ＯＰＥＲＡ） 国立大学法人九州大学 大学院 工学研究院 機械工学部門 ■川下事業者：電子デバイスメーカー ■事業管理機関：公益財団法人名古屋産業科学研究所 ■主たる技術 ：（４）電子部品・デバイスの実装 ■研究開発概要： Al 電子注入層 電子輸送層 発光層 正孔輸送層 正孔注入層 ITO ガラス基板 積層型有機ELの断面 100㎜角の有機ELパネル1万枚を使用して製作した直 径6mの球体ディスプレイ（日本科学未来館） 【従来技術】 真空装置での成膜 【新技術】 帯電型スプレーでの成膜 課題 特徴 ・タクトタイム短縮困難、低材料使用効率が低いこ とから有機EL膜の製造コストが高い ・真空中基板搬送など、将来、より大型基板への 対応が困難 ・有機EL膜の製造コストが大幅に低減される ・多ノズルでのスプレーによりワンチャンバーでの 積層有機膜の成膜が可能 ・装置の小型化の可能性が大きい 【研究概要】 50nmオーダの低分子量系有機材料の薄膜を4層以上積層した有機ELデバイスは、高画質や低消 費電力等の利点からスマートホン用小型ディスプレイを中心に普及しつつある。しかし、こうした多 層膜製造には生産性の低い真空蒸着法利用が必須であり、大型ディスプレイや照明への展開は 困難である。本事業では、独自の帯電型スプレーによる積層型有機EL成膜技術の高度化により超 高生産性有機ELデバイス製造法の確立を目指す。
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