ブレイクフィルター TM 川崎市中原区市ノ坪３７０ベント時間短縮！多彩なラインアップ！真空チャンバーをベントする際に、ベントポートのガス噴き出し口に取り付けて、チャンバー内のダスト舞い上がりを防止します。コバレントマテリアル社製の真空破壊用「ブレイクフィルター™」は、セラミック多孔体の持つ微細な気孔を利用し、圧力のバッファー効果を応用した高性能ディフューザーです。 ■ダスト低減セラミック多孔体の持つ微細な細孔により、ガスの流速が低減されて均一に拡散し、ダストの舞い上がりを防止します。 ■ベント時間短縮ダスト舞い上がり防止効果が優れているため、大流量でベントすることができ、ベント時間短縮に繋がります。（加圧が必要です） ■多彩なラインアップアルミナタイプ（主にロードロックチャンバー）、オール石英タイプ（主にプロセスチャンバー）、円板 SiC タイプ（チャンバー側面・省スペース化を実現）等を取り揃えています。機器･装置事業部ダスト低減！東横化学株式会社真空破壊用 211-8502 コバレントマテリアル株式会社製・気孔径は 0.2μm、0.5μm、0.8μm を取り揃えています。・接続は 1/4”単管を標準として、特注で 3/8”単管、1/2”単管の他、ガスケットシール継手や ■SBFA シリーズ・外径φ10mm のエレメントを使用した製品です。・チャンバー内の設置スペースが狭い装置でご使用頂いています。・気孔径は 0.2μm、0.8μm を取り揃えており、接続は 1/4”単管が標準です。 ■BFA・SBFA シリーズの仕様 BFA-**-***-ST-02 全長（mm） SBFA-**-***-ST-02 105、205、305 外径（mm） 19 10 気孔径（μm） 0.2、0.5、0.8 0.2、0.8 標準:1/4”単管接続（※特注 3/8“、1/2 単管、 1/4”単管ｶﾞｽｹｯﾄｼｰﾙ継手製作可）エレメント材質 Al2O3 ハウジング材質 SUS316L ガスケット材質 PTFE 最高使用圧力 0.97 Mpa 最高使用温度 200℃ ハウジングオプション無印:ｼﾝｸﾞﾙﾒﾙﾄ、EP2:ﾀﾞﾌﾞﾙﾒﾙﾄ＋EP ＞＞＞お問い合わせ東横化学株式会社機器･装置事業部真空営業チーム後藤 211-8502 神奈川県川崎市中原区市ノ坪３７０ TEL：044-435-5856 FAX：044-434-9091 機器･装置事業部型式川崎市中原区市ノ坪３７０フェルールシール継手等の対応も可能です。東横化学株式会社・外径φ19mm のエレメントを使用した製品です。 211-8502 ■BFA シリーズ