ISB Ball Casters for Clean room クリーンルーム用ボールキャスター井口機工製作所 312661 空圧・油圧・真空クリーンルーム向けボールベアー ISCシリーズガラス基盤を支える接触部材としてボールベアーを採用することにより、現状のピン方式によるアライメントの何十倍もの軽さで、アライメントが可能になります。昨今液晶パネルはますます大型化しており、摩擦抵抗値が滑りに比べ約1/10のボールベアーを使用することで、いくつものメリットが生まれます。直動システム・関連滑り方式に比べ、長期的に安定した低摩擦抵抗で、ガラス基盤のアライメントが可能になるためガラスの割れが減少。スムースな動きによる位置決め精度の向上。摩擦のために必要とされていた接触部材の交換作業を大幅に削減。素早い動きに追従することでタクトタイムを短縮可能。ロボット・ＦＡ ■クリーンルーム向けボールベアー ISC-10（ステンレスボディ）シリーズ制御・検出・計測メインボール J POM U1 UHMWPE P1 PEEK P2 導電PEEK V1 ベスぺルSP V8 導電ベスペルTP V2 導電ベスペルSP Z1 PBI Z2 導電PBI キャップ J POM U1 UHMWPE P1 PEEK P1 PEEK V1 ベスペルSP V5 ベスペルTP V1 ベスペルSP Z1 PBI Z1 PBI 形状駆動・回転 ISC-10JS-SJ ISC-10U1S-SU1 ISC-10P1S-SP1 ISC-10P2S-SP1 ISC-10V1S-SV1 ISC-10V8S-SV5 ISC-10V2S-SV1 ISC-10Z1S-SZ1 ISC-10Z2S-SZ1 ※上記の他、様々な材質の組み合わせもご用意しておりますのでお問い合わせ下さい。 ILSシリーズ位置決めステージ軸受・素材・機械各工程における、カセットステーションのガラス搬送用カセットをシンプルに位置決めさせる為のステージユニットです。滑るように全方向に移動することで微妙な位置決めを短時間で完了。無負荷の時には、常に原点に復帰し次のカセットを待ちます。 10 □140 120 10 10 □140 120 4-φ10 通し穴 4-φ10 通し穴動力伝達・伝動 ISR-Cシリーズエアボールリフタポンプ・送風機・粉体工場設備・環境 -130 ILS-150S 6 34.5 8 42.5±0.3 6 ILS-150 φ132 φ60 52.5±0.3 44.5 8 40.5 34.5 M5（エア吸気ポート） φ138 φ60 搬送・運搬 10 従来のエアボールリフタを基にクリーン化を推進。各種半導体、FPD製造装置内部での位置決めや搬送治具及びクリーンルーム内における各種重量ユニットの搬送、位置決めのシステムの幅広いニーズに対応できるユニットです。