KLA-Tencor が業界初の450mm対応Surfscan®SP3システムの設置を

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KLA-Tencor が業界初の 450mm 対応 Surfscan® SP3 システムの設置を発表
パターンなしウェーハ欠陥検査ツールで、重要なインフラストラクチャ開発を可能にする
広範囲の機能を提供
カリフォルニア州ミルピタス発(2012 年 7 月 9 日)。KLA-Tencor Corporation (NASDAQ:KLAC)
は本日、450mm ウェーハの搬送および検査が可能な業界初のプロセス制御システムの設置を発
表しました。Surfscan SP3 450 と呼ばれるこの装置は、市場をリードする Surfscan® SP3 プラット
フォームの新しい構成です。これらの完全に自動化されたパターンなしウェーハ検査装置は、
20nm ノード以降の厳しい欠陥および表面の品質特性要件を満たすよう設計されており、450mm
の研磨済みシリコンおよびエピタキシャルシリコンウェーハの製造プロセスの制御が可能です。
Surfscan SP3 450 では、ウェット洗浄ツール、CMP パッド、スラリーおよび研磨機、成膜ツール、
アニールシステムなど、450mm プロセス装置のメーカ向けの重要な機能も用意されています。
「ウェーハの品質およびクリーニング性能の最適化は、ウェーハサイズの移行により得られる可能性
のある経済的利点の実証に向けた重要な第一歩です。ウェーハメーカは、半導体メーカの厳しい仕
様を満たすため、表面に汚れのない状態のウェーハを供給する必要があります。装置メーカは、欠
陥が追加されておらず、クリーニングプロセスが有効であり、膜の品質がウェーハのより広い領域に
わたって厳密に管理されていることを保証する必要があります。新しい Surfscan SP3 450 検査装
置により、IMEC はウェーハの欠陥および表面の品質を特性評価し、膜厚およびラフネスの均一性
をマッピングし、アニール処理の問題も特定できます。私たちはこの装置を、450mm への移行を可
能にする重要なツールだと考えています。」と、ベルギーのルーバンにある先端ナノエレクトロニクス
研究センター、IMEC のファブマネージャである Hans Lebon 氏は述べています。
「当社の顧客は 300mm、450mm ウェーハともに、、20nm ノード以降において Surfscan SP3 の
性能を必要としており、SP3 は依然として、高感度に対応する遠紫外光(DUV)照明を使用する業
界で唯一の、表面の品質の高分解能マップを生成できるパターンなし検査装置です。更に、
450mm バージョンの Surfscan SP3 は、その性能及びその光学系およびアルゴリズムの信頼性が、
世界中の先進の開発および量産サイトで設置されている 50 台以上の 300mm の SP3 ですでに
実証されています。検査プラットフォームの信頼性が高いため、顧客は最先端技術の開発にエンジ
ニアリング業務の重点を置くことができます。」と、KLA-Tencor の上級副社長兼 Surfscan/ADE
ジェネラルマネージャーの Ali Salehpour は述べています。
さまざまな最先端の IC、ウェーハ、およびプロセス装置メーカやナノ半導体研究センターから
Surfscan SP3 450 システムの注文を多数受注しており、数台の装置はすでに出荷されています。
Surfscan SP3 は、300mm のみのバージョンと 300mm/450mm ブリッジ構成のバージョンも販売
中です。SP3 モデルはモデル間マッチング及び旧世代の Surfscan SP2 および SP2XP システムと
の相関関係の確立が可能な設計がされており、工場のベースラインを維持し現在の通常業務に柔
軟に対応します。
KLA-Tencor の Surfscan SP3 パターンなしウェーハ検査装置の詳細については、製品の Web
ページ http://www.kla-tencor.com/front-end-defect-inspection/surfscan-series.html をご覧
ください。
KLA-Tencor について：
KLA-Tencor Corporation は、プロセス制御および歩留まり管理ソリューションにおけるリーディン
グカンパニーであり、検査および計測装置の最先端技術をお届けするパートナーとして世界中のお
客様に信頼されています。これらの技術は半導体、データストレージ、LED、太陽電池、その他の
関連ナノエレクトロニクス業界で利用されています。業界標準の製品ポートフォリオと世界に誇る研
究者チームによって、35 年以上にわたりお客様に優れたソリューションを提供してきました。KLATencor は、カリフォルニア州ミルピタスに本社を置き、世界中に販売およびサービス拠点がありま
す。詳細については、www.kla-tencor.com (KLAC-P)をご覧ください。
将来の見通しに関する記述
本プレスリリースに記載されている過去の事例以外の事項、すなわち Surfscan SP3 に期待される
性能、SP3 450 の光学系およびアルゴリズムの性能および信頼性、半導体業界における動向およ
びこれらに関連して予測される課題、KLA-Tencor の顧客により見込まれる Surfscan プラットフォ
ームの用途、Surfscan プラットフォームが新しい機能に適合すると予測される拡張性、SP3 モデル
間のマッチング性能と旧世代システムとの相関関係の確立が可能なこと、Surfscan ツールの使用
により実現可能な予想されるコストおよび運用上の利点およびその他の利点は将来の見通しであり、
Private Securities Litigation Reform Act of 1995 (1995 年私募証券訴訟改革法)の Safe
Harbor (セーフハーバー)条項が適用されます。これらの見通しは現時点での情報と予想によるも
のであり、多くのリスクと不確定要素を含んでいます。新技術の採用の遅延(コストまたは性能上の問
題などの原因による)、競合他社による競合製品または代替技術の発売、当社製品の導入、性能、
または使用に影響を及ぼす予期せぬ技術的な問題や限界など、さまざまな要因により、実際の結
果はこれらの記述で予想された内容と著しく異なる場合があります。
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