ﾅﾉﾃｸﾉﾛｼﾞｰ・ 材料 磁気ディスククリーン化プロセスへの 高密度・高配向カーボンナノチューブ 用途・応用分野 ・磁気ディスク表面のクリーニング ・微細加工用のマスク材の薄膜化および表面均一化 ・液晶のラビング処理 本技術の特徴・従来技術との比較 ・被クリーニング材の表面を傷つけずに高精度なクリーニングが可能 ・CNTはナノメータレベルで均一な表面を有しており、表面形状の均一化が可能 ・微細なラビング処理が可能 技術の概要 SiCの表面分解法で生成したカーボ ンナノチューブ（CNT）は、高密度・垂 直配向でSiC基板との密着性が高い ことが特徴である。この方法による CNTはナノブラシとも呼べる形態をし ており、磁気ディスク表面のパーティ クル除去のためのクリーン化プロセ スに適用可能である。 従来はバーニッシュヘッドと呼ばれ るAl2O3-TiCで出来た表面パターニン グを施したクリーニング用ヘッドで磁 気ディスク表面を走査してパーティク ルを除去していた。しかし、このヘッ ドとディスク面の接触によって磁気 ディスク表面にスクラッチを発生させ ることがあった。 SiC (s)+ (O) (g) → 特許・論文 ＜論文＞ H. Tani et al., " Friction Properties of Vertically-Aligned Carbon Nano-Tube with Perfluoropolyether Lubricant", 4th Vienna International Conference on NanoTechnology ", (2011), No. 315. SiO (g)↑+ C (s) 研究者 谷 弘詞 システム理工学部 機械工学科 機械設計研究室 ＜キーワード＞ カーボンナノチューブ，クリーン化，ナノブラシ 【お問合わせ先】 関西大学 社会連携部 産学官連携センター TEL:06-6368-1245 Mail: [email protected]
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![ケーブル管路布設における滑材による摩擦低減効果の検証[PDF：1719KB]](http://s1.expydoc.com/store/data/007833494_1-3ce1365839f0b3b556bcdd9cfb2f9cd6-250x500.png)
