DLC除膜再コーティングプラズマエッチング技術が精密金型のリサイクルを可能にします。 DLC 膜は、ダイヤモンドに迫る硬度など優れた特長を持つコーティング技術として精密金型・治工具等に採用されています。しかしその卓越した特性のため、容易には除膜ができないことから、製品の再生・再使用に大きな困難を生じていました。松山技研は、この DLC 膜を最新のプラズマエッチング 1 省資源・省コストの精密金型リサイクル使高精度な除膜技術により、これまで困難であった精密金型などの効率的な再生・再使用を可能にいたしました。 2 技術を駆使して、製品面の肌荒れを抑止しつつ除膜する技術を確立しました。除膜・再コーティングを行うことで、精密金型・治工具等の再生・再使用を、迅速かつ高品質で可能にします。生産の効率化、コスト削減に役立つとともに、環境負荷の軽減・省資源化に貢献します。除膜 100℃以下での低温プラズマ処理再コーティング環境負荷が少なく、加工時間が早いプラズマエッチングによる除膜処理ですから、排出物等はほとんど生じません。他の加工処理に比べ、きわめて速やかに、安定的な処理を実現しています。有効処理空間最大処理重量摘要ホロカソード効果 Cathode Plasma Discharge gas (Ar or O2) 使用に伴い製品面は次第に磨耗します。 DLC膜コーティング処理時の温度は 100゜ C 以下。製品面の肌荒れ等を生じさせることなく除膜することができます。 3 用リサイクルプロセス製品面に、再びDLC コーティングを施します。 φ200 × H200 20kg 磨耗したDLC膜を効率的に取り除きます。除膜済ホロカソードと呼ばれる電極内では、負に帯電した電子の閉じ込め効果が生じ、電極・イオン化が促進され、極めて高密度のプラズマが発生します。ホロカソード内に Ar などの放電ガスを導入することで、プラズマをカソードの外に放出することができます。 Monomer Hollow Cathode Plasma Jet Anode Plasma Substrate 13.56MHz RF RF Current Flow LMH-300 真空下で、活性化された酸素プラズマにさらすことにより、精密除膜を行います。松山技研株式会社コーティング事業部 386-0407 長野県上田市長瀬 1077 TEL 0268-43-0771 FAX 0268-43-0772 http://www.matsuyama-giken.co.jp