半導体の歴史的経緯 • 1833年 ファラデー AgSの負の抵抗温度係数の発見 • 1874年 ブラウン PbSと金属との点接触でV-I特性の非直線 性を発見 • 1874年 シュスタ CuOとCuの接触で非オーミック性を発見 • 1920年 グロンダール 亜酸化銅整流器を試作 半導体の歴史的経緯 • 1926年 プレッサ Se整流器を発表 • 1926年 シュレディンガー 波動方程式の確立 • 1928年 ブロッホ 固体のバンド理論 • 1932年 ウィルソン 金属ー半導体接触整流理論 半導体の歴史的経緯 • 1939年~1942年 モットー、ショットキー、ベーテ 理論解析 • 1947年 バーディン 表面準位の導入 • 1948年 バーディン、ブラッティン 点接触トランジスタの発見 • 1949年 ショックレー pーn接合理論発表 半導体の歴史的経緯 • 1950年 ショックレー 接合形トランジスタの試作 • 1957年 江崎 トンネルダイオードを発表 • 1962年 レディカ GaAsレーザダイオードの試作 • 1970年 BTL CCDの試作 第一章半導体とその種類 1.1導体・半導体および絶縁体 • 抵抗率 ρ(Ω・m) R= ρ・L/S • 抵抗率の温度依存性 導体 正の温度係数 半導体 負の温度係数 • エネルギーバンド構造 導体~伝導帯に電子あり 絶縁体~伝導帯に電子なし 半導体~伝導帯に電子なし(低温) 1.2半導体材料 • 元素半導体 Ge, Si のようにⅣ族の単一元素からなる 半導体 物理的な性質は定められている。 • 化合物半導体 GaAs, InPのようにⅢ-Ⅴ族、Ⅱ-Ⅵ族の 化合物からなる半導体 物理的な性質は組み合わせによって異な る。 1.3半導体結晶 • 原子構造 ラザフォードの原子モデル 原子 原子核(陽子、中性子) 電子:物質の電気的特性を決定 • 電子層 電子軌道 主量子数nにおける電子数 n=1( 2個) n=2 (8個) n=3 (18個) • 最外殻の電子:価電子(valence electron) • Ⅳ族元素の電子配置 四個の電子が価電子 価電子は八個で安定 共有結合(covalent bond) 電子:物質の電気的特性 1.4真性半導体 (intrinsic semiconductor) • • • • • • • 外部エネルギー→半導体 価電子は原子からの束縛力を振り切る →自由電子(free electron) →外部電界によって移動 抜け殻~正孔(hole) 正の電荷、質量 電子伝導と正孔伝導は逆向き 真性半導体では電子密度=正孔密度 1.5不純物半導体 (impurity semiconductor) • Ⅴ族不純物添加 Sbの5個の価電子 →4個はSiと共有結合 →1個はSbと弱く結合 →常温でも容易に自由電子 →Sbは正イオンになる 不純物をドナー(donor)と呼ぶ n形半導体(電子伝導が主) • Ⅲ族不純物添加 Gaの3個の価電子 →3個はSiと共有結合 →不足分の1個はSiから調達 →正孔が生ずる →Gaは負イオンになる 不純物をアクセプタ(acceptor)と呼ぶ p形半導体(正孔伝導が主) • ドナーとアクセプタが共存する場合 電子密度=正孔密度 補償形半導体 • 多数キャリヤ(majority carrier) n形半導体では電子 p形半導体では正孔 • 少数キャリヤ(minority carrier) n形半導体では正孔 p形半導体では電子 演習問題 • 直径8mm、長さ15mmの円柱状の真性 半導体の両端に5Vの電圧を加えた。流れ る電流を求めよ。 但し、抵抗率は20Ω・cmとする。
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