SEMI International Standards Program 6th Japan PV Committee Meeting Minutes (Including Japan PV Automation Committee Kick-off) Friday, July 2, 2010, 13:03-16:45 Pacifico Yokohama, Conference Center, Room 511+512 (In conjunction with PVJapan 2010) AGENDA Welcome and Call to Order (Co-chair: Asakawa-san) 1.1. Call to Order 1.2. Self-Introduction 1.3. Agenda Review 1.4. SEMI Standards Legal Reminder 2. Formation of PV Automation Committee (Registration) 1. 3. 4. SEMI Staff Report Review and Approval of Previous Meeting Minutes 4.1. Previous Japan PV Committee Meeting (2010/04/14) 4.2. Action Item Review Item# JPV_AI_100414-1 JPV_AI_100414-2 5. Previous Action Item AI Holder EU において EPIA と SEMI はスタンダード活動に関す SEMI Japan Staff る協力協定を結んで活動しているように見えるので、その協定内容を確認する。EPIA からの参加メンバーが SEMI の規約（STD メンバーシップ、Antitrust、および IP などのルール）を遵守しているかを確認する。 JRSC 会議に中川代表を呼んで、PVGroup の概要、およ SEMI Japan Staff び、PVGroup と SEMI Standards Program との関わりについて説明してもらう。 Liaison Reports 5.1. NA Liaison Report 5.2. Europe Liaison Report 5.3. Taiwan Liaison Report Japan PV Committee (Co-chair: Yamamichi-san) 6. Yellow Ballot Review None. Task Force/Study Group Report 7.1. Japan PV Material TF (Yamamichi Co-Leader, Ishihara Co-Leader) 7.2. PV Safety SG (Yamauchi Leader) 8. Old Business 7. If any. 9. New Business Japan PV Committee Meeting (incl. PV Automation Committee Kick-off) Minutes (R0.1) 2010/07/02 9.1. Proposal for “New SNARF for Revision to SEMI PV 4-0710, Specification for Range of 5th Generation Substrate Sizes for Thin Film Photovoltaic Applications” 10. Action Item Review 11. Next meeting 12. Adjournment of Japan PV Committee (Break) Japan PV Automation Committee (Co-chair: Asakawa-san) 13. Yellow Ballot Review None. 14. Task Force/Study Group Report 14.1. PV-Equipment I/F Specifications (EIS) TF (Sakamoto Leader) 14.2. Material Handling SG 15. Old Business 15.1. 7 月 1 実施ワークショップ（Japan PV Automation Committee 主催）の結果についての議論 16. New Business 17. Action Item Review 18. Next meeting 19. Adjournment of Japan PV Automation Committee 出席者（敬称略・順不同・※印は Japan PV Committee のみの出席者）氏名鹿島一日兒（PV 委員会幹事）浅川輝雄（PV 委員会・PV Automation 委員会幹事）山道正明（PV 委員会幹事）松川洋 ※石原隆 Bongseok Kim 児玉光正 ※真淵俊朗真白すぴか ※三宅清照村田尚子長須聰 ※中井哲弥大林茂音川泰伸坂本見恒社名コバレントシリコン（株）東京エレクトロン（株）独立行政法人産業技術総合研究所（AIST）（株）資源総合システム三菱電機（株）中津川製作所東京エレクトロン（株）大日本スクリーン製造（株）（株）トクヤマ東京エレクトロン（株）富士フイルム（株）東京エレクトロン（株）三石物産（株）（株）SUMCO オムロン（株）（株）ダイヘン東京エレクトロン（株） Japan PV Committee Meeting (incl. PV Automation Committee Kick-off) Minutes (R0.1) 2010/07/02 氏名社名下斗米光博日清紡メカトロニクス（株）渡邉悟（株）住化分析センター ※山口雅嗣新日本ソーラーシリコン（株）松本博行（株）日立プラントテクノロジーズ江口幸治（株）日立プラントテクノロジーズ中井康秀（株）コベルコ科研石川誠日清紡メカトロニクス（株）室崎賢一郎レーザーテック（株）石田哲嗣 Swagelok Company 中川隆横河電機（株）砂原和雄住友精密工業（株）山根昭彦 PV クリスタロックスソーラー（株）神保丞ワッカーケミカルズ・イーズトアジア(株) 岡本総太 LG 電子志波誠士ネクストエナジー・アンド・リソース（株） Minkyu Lee Hansol Lighting Inc. 城所雅文（株）木村電気工業 Yaw Oben NIST 田川尊浩横河電機（株） ※渡辺正晴 (株)ニューフレア・テクノロジー松本義裕（株）キューセス ※喜田道夫（株）SUMCO 佐藤賢次新日本ソーラーシリコン（株）天野公夫（株）アルバック石原聖司フローテクノサービス安部光洋（株）日本マイクロニクス ※武内喜則（株）キノテック・ソーラーエナジー ※母里修司（株）キノテック・ソーラーエナジー ※若林信久（株）キノテック・ソーラーエナジー [以上 45 名（内 10 名が PV 委員会のみの出席者）] （事務局）菅野博史、奥田健一郎（記） 1. Welcome and Call to Order 1.1. Call to Order z 第 6 回「日本地区 PV 技術委員会」の開会が 13:03 に浅川幹事より宣言された。 1.2. Self-introductions z 出席者全員により順番に自己紹介が行なわれた。 1.3. Agenda Review z アジェンダが浅川幹事よりレビューされ、記載の通り承認された。 z 本日の会議について以下の説明が同幹事より行われた。 Japan PV Committee Meeting (incl. PV Automation Committee Kick-off) Minutes (R0.1) 2010/07/02 1.4. y 本日の会議では「日本地区 PV Automation 技術委員会」のキックオフ会議が包含されている y アジェンダ 2.項で同委員会の発足が宣言される y アジェンダ 1.～5.項では両委員会共通の内容が扱われる y アジェンダ 6.～12.項にて「日本地区 PV 技術委員会」固有のトピックスが扱われ、その後 Break を挟んで、アジェンダ 13.～19.項で「日本地区 PV Automation 技術委員会」固有のトピックスが扱われる SEMI Standards Legal Reminder z 事務局より下記 4 点についてリマインドされた。（添付資料 JPV_100702-01） y SEMI スタンダード委員登録に関する要求事項（Program Membership Requirement） y 独禁法に関する注意事項（SEMI Antitrust Reminder） y 知財の取扱いに関する注意事項（Intellectual Property Reminder） y 国際会議運営のガイドライン（International Meeting Guidelines） z 上記の内、「SEMI スタンダード委員登録に関する要求事項」については、出席者の殆どが事前にプログラムメンバーに登録済あることと、未登録者については登録用紙に記入してもらうことで対応済であることが事務局より説明された。 z 本日の会議では初めて SEMI スタンダード会議に出席する人が複数いることから、独禁法に関する注意事項と知財の取扱いに関する注意事項については、浅川幹事より補足説明が行われた。 2. y 独禁法に関する注意事項の補足として、「SEMI スタンダード会議においてはビジネス面での調整行為をしてはいけないこと」、「技術委員会においては、業界が有用と認める技術文書を開発するための議論に留める必要があること」が喚起された。 y 知財の取扱いに関する注意事項の補足として下記の各ポイントが喚起された。 9 SEMI スタンダードの開発に当たっては、出来る限り知財を回避して文書作成することが従来からの原則であったが、昨今の標準と知財の関係の深化により回避しきれないケースもある。 9 スタンダード会議で扱われるトピックはすべて公開されたものとして見なされるので、機密とすべき情報については各自で留意（権利保護）する必要がある。 9 一方、開発中の文書に影響を及ぼす恐れを知りながら、いかなる知財であっても故意に隠匿しないこと。その場合、将来その知財権の効力が失われる（権利主張ができなくなる）可能性もあること。 9 （現行規約においては）文書に対する知財のマテリアリティーについては、技術委員会はその可能性をアセスメントするだけの立場であって、マテリアルか否かの判断は当該知財の権利保有者であると技術委員会が見なした企業が、LOA（Letter of Assurance）と呼ばれる宣言書を事務局へ提出することによって行う。 9 SEMI スタンダードにおいて知財問題が生じた場合、技術委員会や事務局が採り得るアクションは「文書を Remove する」などのようなネガティブな性質のものばかりとならざるを得ない。 Formation of PV Automation Committee (Registration) z 6 月初頭に ISC（国際スタンダード委員会）により、「Global PV Automation Committee」ならびに「Japan PV Automation Committee」の新設が承認されたことが浅川幹事より述べられた。 Japan PV Committee Meeting (incl. PV Automation Committee Kick-off) Minutes (R0.1) 2010/07/02 z この背景や状況について以下のように浅川幹事より説明がなされた。 y 「Japan PV Automation Committee」の幹事体制は、浅川氏と石川恵美氏（アトリエイシカワ）の 2 名が Co-chair 就任している。 y 同委員会は PV 委員会のスコープの内、Automation に関する部分が分離独立した格好となっている。これにより、参加者の関心分野が収斂しやすくなり、レターバロットが発行された際に規定 Tally の獲得も容易になることが期待される。 z 続いて事務局より、「Japan PV Automation Committee」発足に当たっての委員登録に関する説明が行われた。（添付資料 JPV_100702-02） z 本日の会議中に特別な様式のロースターが回覧され、出席者確認だけでなく、登録ステータス変更（要否）の確認が同時に行われた。 SEMI Staff Report 3. z 添付資料の通り、SEMI スタンダードに関する基本事項も含めて、事務局より説明がなされた。（添付資料 JPV_100702-03） Review and Approval of Previous Meeting Minutes 4. z 出席者全員で前回 PV 委員会（2010 年 4 月 14 日実施）議事録がレビューされた。（添付資料 JPV_100702-04） y 前回委員会議事録を記載通りで委員会承認することの動議が出された。 9 9 9 9 Motion：鹿島氏 Second：山道氏 Discussion：なし Voting： 26/0 で本動議が可決した。 z 前回委員会会議のアクションアイテム確認 Item# Previous Action Item Status JPV_AI_100414-1 EU において EPIA と SEMI はスタンダード活動に関する協力協定を結んで活動しているように見えるので、その協定内容を確認する。EPIA からの参加メンバーが SEMI の規約（STD メンバーシップ、Antitrust、および IP などのルール）を遵守しているかを確認する。（AI Holder：SEMI Japan Stsff） JRSC 会議に中川代表を呼んで、PVGroup の概要、および、PVGroup と SEMI Standards Program との関わりについて説明してもらう。（AI Holder：SEMI Japan Stsff） Open：左記の AI 文言変更をチェア間で引き取る。 JPV_AI_100414-2 5. 5.1. Open: AI 文言は以下となった。 ↓ PVGroup の概要、および、 PVGroup と SEMI Standards Program との関わりに関するステートメントを事務局が発行する。 Liaison Reports NA Liaison Report Japan PV Committee Meeting (incl. PV Automation Committee Kick-off) Minutes (R0.1) 2010/07/02 z 事務局より NA PV Committee 報告が代読された。但し、前回委員会以降、北米地区にて委員会が開催されていないため、報告内容に大きな変化が無いことが述べられた。（添付資料 JPV_100702-05） 5.2. EU Liaison Report z 事務局より EU PV Committee 報告が代読された。但し、前回委員会以降、欧州地区にて委員会が開催されていないため、報告内容に大きな変化が無いことが述べられた。（添付資料 JPV_100702-06） z SEMICON West 2010 期間中の ISC 会議において、（日本に続いて）EU PV Automation Committee が承認される見込みであることが述べられた。（その後、実際に ISC 承認された） 5.3. Taiwan Liaison Report z 事務局より Taiwan PV Committee 報告が代読された。（添付資料 JPV_1007024-07） z 同委員会の Vibration Test Method TF についての議論がなされた。同 TF では IEC でカバーされていない動的振動についての標準化が取り組まれようとしていること、更にそれに派生して、IEC と SEMI との標準化活動領域の重複回避などに留意することの重要性が議論された。また、IEC のような他 SDO とのリエゾン関係について、SEMI 規約で規定するための改訂が検討されようとしていることも補足された。 Japan PV Committee (Yamamichi-san) （議長役が浅川幹事から山道幹事へ交代され以下の議事が進行した） Yellow Ballot Review 6. z なし Task Force/SG Reports 7. 7.1. Japan PV Materials Task Force 報告 z ＴＦリーダーとして山道氏より、本日 AM 開催の TF 会議の状況が報告された。（添付資料 JPV_100702-08） y EU PV Silicon Materials TF にて取り組まれている Doc.4805「New Standard: Specification For Virgin Silicon Feedstock Materials For Photovoltaic Applications」の 2010 年バロットサイクル 3 における投票結果、ならびに、日本の同 TF としての対応が検討されたことが報告された。 Îその後、SEMICON West 2010 期間中の NA PV Committee でバロット 4805 が Fail し、日本の TF からのインプットを反映した上で、サイクル 5 に 4805A が再バロットされた。 y 7.2. SEMI PV4-0310 「Specification for Range of 5th Generation Substrate Sizes for Thin Film Photovoltaic Application」を改訂するための SNARF 案についても提案と議論が行われ、この後の New Business にて委員会承認が求められることとなった旨が報告された。 PV Safety SG 報告 z なし（PV 委員会幹事と PV Automation 委員会幹事が PV Safety 分野の扱いについて話し合うこととなった） 8. Old Business z なし Japan PV Committee Meeting (incl. PV Automation Committee Kick-off) Minutes (R0.1) 2010/07/02 New Business 9. 9.1. Proposal for “New SNARF for Revision to SEMI PV 4-0710, Specification for Range of 5th Generation Substrate Sizes for Thin Film Photovoltaic Applications” z 真白氏より SNARF 案の説明と提案が行われた。同 Rationale は以下の通り。 y SEMI PV04 was developed to reduce equipment (including AMHS) cost and to make wider opportunity of selection of equipment by giving a guideline on substrate size. y It was found during development and adjudication process of PV04 that further specification to the tolerance of substrate dimension would improve the effectiveness and usability of the Standard. y This activity will address the “tolerance issue” by revising PV04. z 続いて真白氏より、同 SNARF 案を委員会承認することの動議が出された。 y Motion：真白氏 y Second：児玉氏 y Discussion：本 SNARF に基づく改訂活動は Japan PV Materials TF 活動の一部と認識されているので新たな TFOF は不要である。 y Voting： 29/0 で本動議が可決した。（委員会間バロットを PV Automation Committee に出すことが求められた） Îその後、本 SNARF は#5010 が採番され下記 URL にてウェブ掲載された。 http://downloads.semi.org/web/wstdsbal.nsf/18a679096dfd445188256d35007d447d/b373a95867dc37 4f882577660025ea25!OpenDocument 10. Action Items and Minutes Review z 前回委員会からの AI（2 件）については、Status を変更して前述の 4.の通り繰り越されることが、出席者全員で確認された。またこれらが、Japan PV Committee へ継承されることも確認された。 11. Next Meeting z Japan Fall Standards Meetings 2010 として 9 月 15 日（水）13:30-15:30（於、SEMI ジャパン）として開催されることとなった。 Îその後、日程が 9 月 22 日（水）の同時時間・場所に日程変更された。 12. Adjournment of Japan PV Committee z 15:00 に浅川幹事により本会議の終了が宣言された。 Japan PV Automation Committee (Asakawa-san) （議長役が山道幹事から浅川幹事へ交代され 15:15 より以下の議事が進行した） 13. Yellow Ballot Review z なし Japan PV Committee Meeting (incl. PV Automation Committee Kick-off) Minutes (R0.1) 2010/07/02 14. Task Force/SG Reports 14.1. PV Equipment Interface Specification (PV-EIS) Task Force 報告 z TF リーダーの坂本氏より報告された。（添付資料 JPV_100702-09） z 以下の通り質疑が応答された。 EU EIS TF との協調的活動において、HC（Horizontal Communication）が注目されている理由はあるのか？ y 9 （半導体製造と比較して）PV 製造においては、レイヤーの繰り返しプロセスが少ないため、ホストへの負荷を軽減してコストを低減する方策が求められる。そのための低コストでトレーサビリティーを実現する手段として HC が捉えられている。 9 現状では、「物」（基板やキャリヤなど）と「基本情報」が別々に扱われているが（例：E84）、当活動ではそれらを同じ流れに載せて、トレーサビリティー可能にして低コストを実現することを目指している。 9 現在、日欧の両 TF において、Doc.4804 「New Standard: Specification for Single Substrate Tracking for Photovoltaic Equipment」を浅川氏が Editor となってドラフト中である。 9 Doc.4804 についてのワーク完了後、（本年初にブルーバロットが発行された）Doc.4848 「Generic Equipment Model for Thin Film Photovoltaic Manufacturing (GEM-PV)」に再度取り組む予定である。 14.2. Material Handling SG z 本 SG は昨年の Japan PV Committee 発足当時から存在したが、具体的にドライブするメンバー不在のままとなっている経緯が浅川幹事より説明された。 z 300mm 半導体製造の標準化活動時代の（セマテックなどの）コンソーシアに相当する存在が、現在の PV 製造分野においてどうなのか（あるいは各社の垂直統合で進むのか？など）が議論された。 y EU においては IMEC や Fraunhofer が PV 製造技術のコンソーシア活動で先行しており、日本では NEDO において漸く薄膜系について活動が始まったところであり、結晶系については既に十分成熟しているという認識が一般的であることが山道氏より説明された。 z 続いて、本日の出席者の内で、同 SG 活動を実行する希望者がいるかについて確認がなされ、室崎氏（レーザーテック）と松本博行氏（日立 PT）が名乗りを挙げた。 15. Old Business 15.1. 7 月 1 日実施ワークショップ（PV Automation 委員会主催）の結果についての議論 z PVJapan 2010 併催で開催されたスタンダードワークショップ「あなたの製品戦略は世界の標準化の流れに乗っているか？－PV 製造ラインビジネスの変化と標準化戦略を考える－」の企画経緯などについて、同ワークショップのプログラムチェアも務めた浅川幹事より説明がなされ、オープンスタイルのワークショップで今後の PV Automation 分野の標準化活動で取り組むべき分野を探ることが主目的であったことが述べられた。（添付資料 JPV_100702-10） z 続いて以下のようなディスカッションが行われた。 Japan PV Committee Meeting (incl. PV Automation Committee Kick-off) Minutes (R0.1) 2010/07/02 y 300mm 標準化活動では既に業界内で「困ったこと」として顕在化している問題点を標準化対象とした。現在の PV 製造では、半導体製造と比較すれば、製造装置が「産業」として未だ確立していないように見受けられるので、標準化を通じてそのような状況を変革することもできるのでは？ y PV 製造における供給構造が今後どうなっていくかが重要である。それによって、標準化の要否の度合いが決まるのではないか？ 16. New Business z なし 17. Action Items and Minutes Review Item# Previous Action Item JPVA_AI_100702-1 Material Handling Study Group の活動を PV Automation 委員会傘下で再開する。（リーダー：室崎さん/レーザーテック、松本博行さん/日立プラントテクノロジー） JPVA_AI_100702-2 PV Safety 分野の扱いについて、PV Automation 委員会チェアは PV 委員会チェアと話し合う。 AI Holder 室崎さん、松本博行さん両委員会幹事 18. Next Meeting z Japan Fall Standards Meetings 2010 として 9 月 15 日（水）15:45-17:30（於、SEMI ジャパン）に開催されることとなった。（次回 PV 委員会会議終了後） Îその後、日程が 9 月 22 日（水）の同時時間・場所に日程変更された。 19. Adjournment of Japan PV Committee z 16:45 に浅川幹事により本会議の終了が宣言された。以上 Japan PV Committee Meeting (incl. PV Automation Committee Kick-off) Minutes (R0.1) 2010/07/02