■ 不良ゼロを目指す「外観検査システム」株式会社デクシスにおける外観検査システムの提供株式会社デクシス／新田雅康株式会社デクシスは、画像処理装置メーカでありながら、様々な分野の外観検査装置を手掛けてきた。画像処理装置メーカが提供する外観検査装置の経緯や特徴はどのようなものかを、具体例を挙げて紹介する。 1 自動外観検査装置開発の経緯弊社は、画像処理ユニットや画像処理ボードのメーカとして 1998 年に創業した。創業当初は、主に半導体製造にかかわる装置の位置決めや計測といった用途の装置メーカ向けに汎用画像処理機を提供、特定顧客向けの専用画像処理機の受託製造を行っていたが、2000 年後半から始まった国内での半導体不況以降、半導体製造装置搭載用の画像処理機の出荷台数も減少した。これを受けて、弊社では 2001 年から「人の目に近づく新時代へ」をキャッチコピーとし、当時でも多数の人員を要して各種工場で行われている目視外観検査の自動化プロジェクトを立ち上げた。目視外観検査の自動化を手掛けるにあたって、外観検査パッケージソフトウェアの開発だけでなく、周辺光学機器を含織設立を行うことにより、リスクに関しても顧客めた検証・選定も必要となった。従来の半導体製満足を得ることができた。造装置搭載用の画像処理機では、画像処理ハード人手による目視外観検査の自動化において、欠と画像処理ライブラリを提供し、ユーザ側でソフ陥が画像処理で容易に切り分けられるケースはすトウェアを作成するスタイルが主流だったため、でに自動化がなされており、当該分野において後リスクは比較的軽微であったが、外観検査パッケー発である弊社には、比較的難易度の高い自動化ジとして提供した場合には欠陥検出能力や調整にテーマを多く手掛けることとなった。そういった伴うリスク対策も必要となったが、システムアッテーマをこなせたのも、現在でも弊社の外観検査プ、営業技術、サービスメンテ等を主とする新組アルゴリズムの中核となっている、欠陥に対する 70 ︱April 2015 eizojoho industrial