循環冷却式沿面放電管 OC-70/CJ 概要 本循環冷却式沿面放電管はSPCP (Surface discharge induced Plasma Chemical Process) 技術によって作製した円 筒型沿面放電管(SPCP放電管:ET-OC70G-D)に円筒状に加工した銅板に一体的に銅パイプを取付け、それらを熱 伝導シリコンを介して取り付けたものです。銅パイプ内に冷却水を供給すれば、水冷式オゾン発生管として使用できま す。また、ヒートポンプ回路の冷媒液を供給し蒸発器として用いるとヒートポンプ冷却式オゾン発生管とすることが可能 となります。全体を塩ビ管の内部に収納することで、オゾン発生管を 低温(~ -40℃)としても結露を防止することが可 能です。 SPCP素子の構造 Thin Alumina Layer for Erosion Protection Spacing between Discharge Electrode Strip Surface Streamer Discharge Discharge Electrode 循環式沿面放電管 OC-70/CJ Induction Electrode High Purity Alumina Ceramic as Dielectric Barrier 仕様 型式 構成 OC-70/CJ 円筒型SPCP素子(型式:ET-OC70G-D)に円筒状に加工した銅板に一体的に銅パイプを 取付け、それらを熱伝導シリコンを介して取り付けたもの 外形 184 mmW x 205 mmH x 430 mmL (配管突起含まず) 円筒型SPCP素子 型式:ET-OC70G-D (放電電極間隔:5mm) 温度センサー 放電管過熱検出による運転停止 サーモスタット1ヶ(設定温度70℃) サーモスタット用端子(M3) (オプション) 冷却水出口(swagelok'3/8) 高電圧端子(M4) 栓(swagelok'1/4) 安全弁(0.1MPa)(注) アース端子(M4) 原料ガス入口、オゾンガス出口(swagelok'1/4) 原料ガス入口、オゾンガス出口(swagelok'1/4) 冷却水入口(swagelok'3/8) 外形図 〒113-0033 Masuda research, inc 株式会社 増田研究所 (注) オゾン発生管は,オゾン発生管と外筒の間に密閉された乾燥空気により 断熱されます。安全弁は、万一のガス・水漏れ時に乾燥空気の圧力が上 昇した際、圧力を逃がし大きな事故を防ぎます。 東京都文京区本郷2-40-11 かねやすビル6F Tel: 03-3818-0472 Fax: 03-3818-9818 E-mail: [email protected] Home Page: http://www.masuda-research.co.jp
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