循環冷却式沿面放電管 OC-70/CJ

循環冷却式沿面放電管
OC-70/CJ
概要
本循環冷却式沿面放電管はSPCP (Surface discharge induced Plasma Chemical Process) 技術によって作製した円
筒型沿面放電管(SPCP放電管:ET-OC70G-D)に円筒状に加工した銅板に一体的に銅パイプを取付け、それらを熱
伝導シリコンを介して取り付けたものです。銅パイプ内に冷却水を供給すれば、水冷式オゾン発生管として使用できま
す。また、ヒートポンプ回路の冷媒液を供給し蒸発器として用いるとヒートポンプ冷却式オゾン発生管とすることが可能
となります。全体を塩ビ管の内部に収納することで、オゾン発生管を 低温(~ -40℃)としても結露を防止することが可
能です。
SPCP素子の構造
Thin Alumina Layer
for Erosion Protection
Spacing between
Discharge Electrode
Strip
Surface Streamer
Discharge
Discharge
Electrode
循環式沿面放電管
OC-70/CJ
Induction Electrode
High Purity Alumina Ceramic
as Dielectric Barrier
仕様
型式
構成
OC-70/CJ
円筒型SPCP素子(型式:ET-OC70G-D)に円筒状に加工した銅板に一体的に銅パイプを
取付け、それらを熱伝導シリコンを介して取り付けたもの
外形
184 mmW x 205 mmH x 430 mmL (配管突起含まず)
円筒型SPCP素子
型式:ET-OC70G-D (放電電極間隔:5mm)
温度センサー
放電管過熱検出による運転停止
サーモスタット1ヶ(設定温度70℃)
サーモスタット用端子(M3) (オプション)
冷却水出口(swagelok'3/8)
高電圧端子(M4)
栓(swagelok'1/4)
安全弁(0.1MPa)(注)
アース端子(M4)
原料ガス入口、オゾンガス出口(swagelok'1/4)
原料ガス入口、オゾンガス出口(swagelok'1/4)
冷却水入口(swagelok'3/8)
外形図
〒113-0033
Masuda research, inc
株式会社
増田研究所
(注)
オゾン発生管は,オゾン発生管と外筒の間に密閉された乾燥空気により
断熱されます。安全弁は、万一のガス・水漏れ時に乾燥空気の圧力が上
昇した際、圧力を逃がし大きな事故を防ぎます。
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