PLD法による薄膜作成技術技術情報

ＰＬＤ法による薄膜作成技術
技術
情報
・特許名称成膜方法及び成膜装置
・番号特開２００９－９１６１３
・出願者国立大学法人長崎大学
ココがすごい！
製造技術
成膜速度を犠牲にすることなく、
ドロップレットのない成膜が可能
技術
概要
レーザアブレーションで成膜する場合、ドロップレットの要因となる粗大粒
子が付着し、これが膜質劣化の要因でした。
本技術は、補助レーザ光を照射することで、粗大粒子を分解し、成膜に寄
与させることで、成膜速度を犠牲にすることなく、ドロップレットの生成も抑
制することが可能となっています。
機械的手段で粗大粒子を捕捉する手法と比べて真空装置を小型化する
ことが可能です。
メインレーザ
補助レーザ
補助レーザなし
補助レーザあり
【応用例・活用分野等】
レーザーアブレーションを利用した薄膜作製全般に適用することが可能です。
【企業へのメッセージ】
実用化のための共同研究を実施する企業を探しています。
連絡先
機関名：国立大学法人長崎大学
所在地：長崎県長崎市文教町１－１４共同研究交流センター２階
電話番号：０９５－８１９－２１８７
ＦＡＸ：０９５－８１９－２１８９
E-mail：[email protected]
HP：http://www.ipc.nagasaki-u.ac.jp/

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