精密機器工学分野

精密機器工学分野
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3研究室
P
最先端の
精密機器を学ぶ
8-1
8
8-1
計測工学研究室
古谷涼秋教授
8-2
光応用機械工学研究室
堀内敏行教授
8-3
ナノ精度加工研究室
森田晋也准教授
工学部　先端機械工学科
計測工学研究室
古谷涼秋教授　工学博士
東京
所属学生：15名
8-2
光応用機械工学研究室
堀内敏行教授　博士
（工学）
光応用微細加工と小型飛翔ロボット
物体の寸法と形状を精密に測定する
装置や測定方法について研究してい
ます。例えば、加工後の穴を詳しく
調べるとその形は完全な円ではあり
ません。その差異を、穴の大きさの
百万分の一の精度や原子一個分の精
度で測定することが目標です。力や
温度の測定にも興味をもっています。
コンピュータやメモリを作る技術とし
て発展したリソグラフィという光応用
微細加工技術を研究し、簡便安価な
露光装置の開発や、マイクロ部品の
製作に取り組んでいます。一方、災
害時の情報収集用に、自動操縦可能
な小型飛翔ロボットの開発に取り組
んでいます。
●精密測定
●ナノ形状・マイクロ形状
関連分野
●光工学
●ロボット・制御工学
キーワード
主な卒業 ●運動検出のための６軸光波干渉計
研究テーマ ●二軸ステージの真直度評価
修士論文 ◆パラレルメカニズムの自己校正法の研究
主な就職先
8-3
●ミツトヨ
●マルマテクニカ
● THK
●セイコーエプソン
森田晋也准教授　博士（工学）
●光応用
●飛ぶロボット
関連分野
東京
所属学生：17名
●光工学
●ロボット・制御工学
主な卒業 ●円筒面への同期走査投影露光によるマイクロ部品の製作
研究テーマ ●液晶マトリックス投影露光による紫外光用厚膜レジストパターンの形成
修士論文 ◆屈折率分布型レンズアレイを用いた高精細大領域投影露光の研究
●三菱電機
工学部　先端機械工学科
ナノ精度加工研究室
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工学部　先端機械工学科
光を使った微小寸法・形状の測定
キーワード
精密機器工学
工学
主な就職先
●キヤノン
●ニコン
●オリンパス
●オーク製作所
●三菱電機
東京
所属学生：8名
望遠鏡から内視鏡まで光を操る極限精度加工
当研究室では、光を操る先端デバイ
スなど極限精度の生産技術開発を目
的として、ナノ精度加工の研究、先
端光学デバイスおよびマイクロ構造
体の製造に関する研究を行っていま
す。遠い宇宙の観測から体内の病気
を探す技術まで、光の無限の可能性
を追求します。
キーワード
●超精密加工
●カメラ・望遠鏡・内視鏡
関連分野
●光工学
●ロボット・制御工学
主な卒業 ●超精密形状処理技術と 3D ものづくりへの応用
研究テーマ ●自由曲面光学素子・フレネル光学素子のための微細研磨
修士論文 ◆超精密加工機を用いた機上計測システムに関する研究
主な就職先
●アライドテレシス
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