モーションサイエ ンスに拘り続ける 防衛・航空宇宙 産業向け高度 モーションシステム モーション シミュレータ 先進的なシステム コントロール 検査装置 試作開発装置 真空対応装置 www.aerotech.com エアロテック 当社製品について エアロテックは40年以上にわたり、最先端技術 と革新的なシステムを必要としている企業や研 究開発機関のお客様に向けて、数多くの高精度 な位置決めシステムとモーションシステムを製 造してきました。 エアロテックの単軸/多軸モ ーション シミュレータ、高精度2軸（方位角/仰 角）ジンバル、台座、真空仕様モーションシス テムをはじめ、汎用リニア/回転システムまで、 これらの製品は防衛関連企業のお客様に多くの 貢献をさせていただいたと自負をしておりま す。 今日エアロテックは、モーションコントロール コンポーネントおよびシステム全製品を商用オ フザシェルフ（COTS・商用製品の特殊応用へ 流用）とし防衛・航空宇宙産業に提案していま す。 この提案により、全体的なプログラム開発 時間を短縮し、開発コストを最小限に抑えるこ とができます。 この場合、システムエンジニア リングの広範な知識と中核となるモーションテ クノロジーを基に、オーダーメイドの技術をそ のソリューションとし提供いたします。 エアロテック製品はすべて、ペンシルバニア州 ピッツバーグ本社で設計・製造されています。 お客様のアイデアを実験室で検査する 高精度な回転/リニア式モーション コンポーネントおよびシステム エアロテックでは、エアまたはメカニカルベアリングを採 用した、ダイレクトドライブの回転およびリニアシステム を次のような幅広い製品群で提供しています。 •回転ステージ •リニアステージ •ゴニオメータ •光学マウントおよびジンバルシステム •単軸および多軸モーション シミュレータ これらシステムの大半は、サブアーク秒およびナノメート ルの精度と、最大200 Hzのシステム帯域幅を備えています。 お客様の製品を工場で生産する 先進的なモーション シミュレータおよび電気光 学モーションシステム エアロテックは、光学検査、ジャイロ検査、慣 性航行検査、校正、目標物追従向けに、単軸回 転システムや多軸モーションシステム、多軸ジ ンバルシステムを多数製造しています。 エアロテックのコントロールは最大32軸を同期 整合し、最も複雑なNDT（非破壊検査）走査シ ステムやレーザ加工装置、または今日の地上支 援機材アプリケーションに対応します。 2 www.aerotech.com 当社製品は検査室や製造工場、現場で使用されています。 高真空環境向けにも多様な製品を提供しています。 当社の献身的で有能なエンジニアリングスタッフ は、中核となるモーションテクノロジー全分野に おいて次のような専門知識を有しています。 •精密機械設計 •振動および制御 •システムモデリングおよび解析・測定 •磁気回路設計 •電力工学設計 当社のリニアまたは回転機構のエアまたはメカニカ ルベアリング採用ステージは、搭載物をサブアー ク秒精度で位置決めを行える多軸システムに組み 込まれることが可能です。 通常のリニアシステム は、25 mmから1.5 mの可動距離で動作します。 リ ニア/回転システムの最大積載量は1000 kg（2200 lb）です。 当社の製造施設には、温度検査テスト設 備に加え、大型設備用のISO 14644-1クラス6（米国 連邦規格209Eクラス100）、また、セル仕様がISO クラス5（クラス100）のクリーンルームを兼ね備 えています。 エアロテックは、防衛・航空宇宙産業の発展により 大きく貢献するため、新しいモーションテクノロジ ーと製品の開発に引き続き取り組んでいきます。 •サーボシステム •ソフトウェア開発 現場で機器性能を実証する 高精度位置決めシステムおよびIP66準拠（防塵性能標 準）ジンバルおよび台座 標的追従、電気光学ビーム操作（ステアリング）、監 視のアプリケーションでは、エアロテックの回転シス テムが正式に採用されています。 大半のシステムが-20°C～70°Cで適格に動作します。 ダイレクト ドライブ ジンバルは、高精度な指向および 追従システムを提供します。 お客様は当社システムを 使用して、お持ちのセンサ、レーザ、アンテナシステ ムの現場での性能を検証しています。 星に到達する 真空対応モーションシステムおよび天体/衛 星追従マウント エアロテックは、高真空（最高10-7 torr）お よびクリーンルーム（最高ISOクラス1）環 境に対応する、多数の軸を提供しています。 当社は、低ガス放出材料による位置決め装置 の構成を得意としており、宇宙と同等な環境 でのオートメーション化を提供できます。 3 内容 WORLD HEADQUARTERS Aerotech, Inc. 101 Zeta Drive Pittsburgh, PA 15238 Ph: 412-963-7470 Fax: 412-963-7459 Email: [email protected] Aerotech, Ltd. The Old Brick Kiln Ramsdell, Tadley Hampshire RG26 5PR, UK Ph: +44 (0)1256 855055 Fax: +44 (0)1256 855649 Email: [email protected] Aerotech GmbH Südwestpark 90 90449 Nürnberg, Germany Ph: +49-911-9679370 Fax: +49-911-96793720 Email: [email protected] エアロテック： 当社製品について 2 6 モーション シミュレータ 先進的なモーション シミュレータ 単軸 7 2軸 9 3軸 11 モーションシ ミュレータGUI(グラフィカルユーザインターフェース) 12 先進的なシステムコントロール モーションシ ミュレータ コントローラ 15 先進的なシステムコントロール 16 LabVIEW® 18 リニアアンプ 19 PWMアンプ 20 検査装置 Aerotech KK WBG Marive East 22F 2-6-1 Nakase Mihama Ward, Chiba Japan 261-7122 Ph: +81 (0)50 5830 6821 Email: [email protected] 電気光学（オプトロニクス） 真空対応装置 29 Aerotech China Room 101, No. 28 Building Tianlin Road 140 Xuhui District Shanghai, China 200234 Ph: +86 (21) 3319 7715 Email: [email protected] リニアおよび回転検査 30 高耐荷重 31 Copyright © 2010, Aerotech, Inc. Information in this brochure is subject to change without notice. 22 回転およびリニアセンサ検査 高耐荷重ステージ 26 27 真空対応装置 試作開発装置 試作のレーザおよびマイクロ波ステアリング装置 太陽追尾および天体望遠装置 33 34 ビーム導波器 35 センサ位置決め 36 高性能回転ステージ、リニアステージ、 ガントリ、ナノポジショ ナ 高性能回転ステージ、リニアステージ、ガントリ、ナノポジショナ 40 カスタム設計システム 52 エアロテックの概要 エアロテックの概要 54 その他の応用市場 56 受賞および表彰 世界規模のトレーニングとサポート 4 www.aerotech.com 58 59 モーション シミュレータ 先進的なモーション シミュレータ エアロテックのモーション シミュ レータは、ジャイロ、加速度メー タ、慣性測定装置（IMU）、慣性航 行システム（INS）、姿勢方位基準 装置（AHRS）、光ファイバージャ イロ(FOG)の検査向けに、単軸/多 軸の位置、速度、加速度の解析を 行います。 •高精度、ダイレクトドライブ モーショ ン シミュレータ •コギングなし •高トルク型 •メカニカルまたはエアベアリング •リアルタイムでデータ収集 •位置、角速度（変化率）、振動モー ド •ユーザプロファイルを容易に取り込 み •Windows®環境のプログラミング •スリップリングまたはツイストケー ブルでUUT（試験用機器）に信号/電 源を供給 •経済的な単軸システムから高性能な 3軸システムまで、多様なソリュー ションを準備 6 www.aerotech.com モーション シミュレータ 単軸 加速度メータおよび慣性コンポ ーネントとシステム向けの検 査・校正システム エアロテックの回転モーション シミュレータは、慣性航行シス テム（INS）、加速度メータ、 ジャイロスコープ、航空電子工 学、慣性測定装置（IMU）、姿 勢方位基準装置（AHRS）、光 ファイバージャイロ（FOG）、 安定化システムの検査向けに、 角速度、加速度、位置を誘導す るよう設計されています。 高精度ダイレクトドライブ位置 決めおよびレートテーブル（角 速度安定化テーブル） •高耐荷重のアンギュラコンタクト ベアリングまたはエアベアリング •高精度クローズドループ制御 •コギングのない滑らかな駆動のブ ラシレススロットレスモータ エアロテックの製品は、今日のトップレベルの慣 性航行システムを検査する能力を備えています。 •ユーザのお使いになる信号や電源 ラインの低ノイズタイ プの内蔵されたスリッ プリングを豊富に品揃え •高速または高トルク 構成用に多品種のモ ータタイプ •優れたモーションパフ ォーマンス •液体または気体 用デュアルポート 低メンテナンス設計 • 最大位置分解能0.000006° (0.1 µrad) (0.02秒角) ARMS-260 ARMS-200 ARMS-150 7 モーション シミュレータ 単軸 単軸ARMS シリーズ レートテーブル • 単軸構成には、オプションでスタンド アロンの水平調節脚つき高剛性支柱を準備 • 連続回転または回転角制限など再構成 可能 • スリップリングのカスタムオプション を準備 • 大型テーブルトップ に複数のUUT（テス ト対象ユニット）を マウントし、同時検 査が可能 垂直または水平配向がオプション • 各種サイズのテーブルトップがオプ ション ARMS-260 •耐積載量227 kg (500 lb) • 無負荷時加速度 >20,000°/秒2 •最低速度0.001°/秒 UUT電源および 信号はスリップ リングを経由 高速回転ま たは振動 チルトモ ーション チルトテーブルつき高精度 単軸レートテーブル • 複数の傾斜角度でレートテー ブル機能を実行 • チルトモーション用にギアド ライブ式回転体上にマウント 8 www.aerotech.com エアロテック モーションシ ミュレーション パッケージ 経由でPCとNpaqまたはHLe ラックマウントを制御操作 モーション シミュレータ 2軸 2軸モーション シミュレ ータは、位置、角速度、 加速度センサの同時軸検 査に便利です。 ジャイロお よび慣性航 行検査 安全な場所 に自由に設 置できる ESTOP（緊急 遮断）回路 リモート 電機制御された2軸レ ートテーブル •両軸の連続回転 •コギングがないブラシ レス スロットレスモー タによる滑らかな駆動 連続ヨー • 電源・信号用スリップ リング • 気体/液体用2つの回転 ポート • マシン基本仕様は、モ ーションコントロー ラ、リニアデジタルア ンプ、ESTOP（緊急遮 断）回路搭載 連続ロ ール ±1アーク秒（±4.85 µrad）を上 回る精度を示す精度グラフ PCは遠隔操作また は装置に組込むか 選択可 リニアアンプと ESTOP（緊急遮断） 回路は、装置架台に 収納でき省スペース 化のご要求を実現 9 モーション シミュレータ 2軸 連続ヨー 高耐積載量 ±1アーク秒（±4.85 µrad）を上回 る精度を示す精度グラフ 連続ピッチ 調整可能な カウンター バランス 連続ヨー 2軸ダイレクトドライブモーショ ン シミュレータ •方位角/仰角構成 •耐荷重91 kg (200 lb) 連続ピッチ • オプションのスリップリング •位置決め精度は±5-10 µrad • 0.001 µradの分解能で高速安定性と 低ジッタ解析を実現 •オプションで100 mm～325 mmの アパーチャ（UUTの設置部開口） を準備 •連続回転または回転角制限 このモーション シミュレータ構成で は、積載物を両回転軸交点に置き、線 形変換なしの真の回転を実現します。 10 www.aerotech.com モーション シミュレータ 3軸 3軸モーション シミュレータでは ロール、ピッチ、ヨーの動きのシ ミュレーションを同時に行え、実 世界での角速度に係わる各種情報 を得ることができます。 ロール、ピッチ、ヨ ー軸の連続回転 •従来の3軸シミュレータよりも サイズが小さく、狭い設置面積 で今日の小型MEMSジャイロに 適応します。 •ARMSレートテーブルを基準と するモジュラーデザイン •連続回転または回転角制限オプ ション •台座オプション 各モーション シ ミュレータは精 度およびチルト エラーの検査済 みです。 典型 的なチルトは10 µrad未満、 精度 は±5-10 µradで す。 •INU（慣性航行 ユニット）およ びオートパイロ ットパッケージ 検査用高トルク 3軸システム •連続回転または 回転角制限オプ ション •自立構成用に架 台をオプション 11 モーション シミュレータ モーション シミュレータGUI エアロテックのモーション シミュレータソフトウェ アはWindows®環境の使いやすいプログラムで、シ ンプルで高度な運動刺激を生成して客先の慣性セン サやシステムの検査・校正を行います。 エアロテッ クのモーション シミュレータソフトウェアには、1 ～3軸のモーション シミュレータを手動または自動 で行うすべてのコントロールが含まれています。 GUI（グラフィカルユーザインターフェース）は、 ユーザインターフェースと、第三者開発ソフトウェ ア不要のプログラミング環境を提供します。 お客 様のご希望により、モーションコントローラ搭載の LabVIEW®、Microsoft .NETまたはCドライバ、実例コ ードを使用して、使い慣れた開発環境でのプログラ ミングが実行できます。 メイン画面で手動制御が可能 主な特徴： •ユーザフレンドリーなWindows®環境のグラフィカ ルユーザインターフェース •1、2、3軸のモーション シミュレータを動作 •グラフィカルなモーションプロファイルPVAT（位 置、速度、加速度、時間情報）をインポート •PVATをGUIでプロファイルを生成し編集も可能 •リアルタイムのイベントトリガを実現したPSO(位 置同期信号出力) • イーサネット、アナログポート経由、または Windows®プログラムの入力から軌道追従 プログラム画面はユーザプログラミング環境を提供 •周波数反応モードにより、サイン波コマンドを入 力しUUT性能テストが客先デバイスで実施可能 •反復学習機能により、位置エラーを最小化 •GUIのリモートクライアントサーバーモードによ り、並列処理能力と制御をイーサネットネットワ ーク経由で実行可能 •ハーモニックキャンセレーション機能により、正 弦波運動で生成されたモーション位置エラーを最 適化 •第三者モーションコントローラ、アンプ、ソフト ウェア供給業者への依存はなし 追従画面で追従のための外部信号を選択可能 12 www.aerotech.com エアロテックモーション シミュレータ ― グラフィカル軌道生成、データ解析、強 化されたマシンパフォーマンスが統合さ れた使いやすいツールキット 特徴と利点 •動作実行毎の位置エラーを削減するよ うに設計された学習アルゴリズムによ り、動作を改善して結果を処理。 •プロファイルモードでは、既存の軌道 をMATLAB®からインポート、または位 置、速度および加速状態軌道から構成 される他のプログラムを外部ファイル からインポートしてプロファイル入力 を簡素化。 プロファイル画面でモーションプロファイルのイン ポートと生成を実行 •時間領域または周波数領域で軌道をグ ラフ化し、分析ツールを使用して詳細 な動作評価を提供。 •高速動作のプロトタイピングを提供す るため予め用意された構成要素を使用 して多軸軌道を作成・修正。 •軌道の複数実行を重複させ、プログラ ムの変更により修正された動作を容易 に確認。 •軌道を作成してAeroBasic®プログラム にエキスポートし、動作機能を最適化。 保存されている機能を組み合わせ、複 雑なモーションシミュレーションを実 行。 周波数反応画面でUUT周波数反応検査が実行可能 •既存の軌道からFFT、最大値、最小値、 平均値、RMS、標準偏差のデータ解析 を行い、システムパフォーマンスを診 断。 •データ入力ファイル形式はExcel、CSV または MATLAB®。 一部の軌道情報しか ない場合（例えば、位置 対 時間または 加速度 対 時間）は、モーション シミュ レータにより他の必須の状態変数が算 出可能。 I/O画面は、I/Oのモニタリングと制御を提供 13 先進的な システム コントロ ール 先進的なシステムコントロール モーション シミュレータ コントローラ ハードウェアの特徴 •ラックマウント収納型コントローラ •ラック高さは高・低のオプションあり •緊急遮断安全リレーにより、電源切断時に動作を停止 •オプションの単体ドライブで、既存の機器にモジュラーコントロー ラとして統合可能 •115 VAC、200 VAC、208 VAC、230 VACで の単相入力 モーションコントローラ •PCの操作だけですべてのインターフェースを制御 •手動制御とプログラム制御の切り替えが容易 •デジタルコントローラは8 kHzの速度でPIDのクローズドループを構成 •サーボループトランスミッション（ボード線図）およびオートチュ ーニングは標準機能 •プログラムで設定可能デジタルフィルタによりシステム共鳴を除去 し、使用帯域幅を改善 •モーションコントローラは最大32軸まで拡張して動作できるため、 その軸に達するまで、追加されるご要求のモーションプロファイル は、1つのプログラムおよび1つの統合された機器で管理操作可能 デジタルドライブ •エアロテックの高度コントロールは65536倍のアナログエンコーダ の逓倍処理を提供 •デジタルアンプによる省配線化で、臨界状態の信号環境で不要な電 気ノイズを低減 •ブラシ/ブラシレスモータ、インダクタンス（誘導子）、オプティカ ルアナログまたはデジタルエンコーダ、レゾルバフィードバック機 能を容易に付加してモーション シミュレータを動作 •リニアまたはＰＷＭ（パルス幅変調）アンプ •リアルタイムのデジタルI/O、16ビットアナログ入力、18ビットア ナログ出力 •高速位置ラッチで50 nsのアングルキャプチャ •1D、2D、3DのPSO（位置同期信号出力）により、実際のシミュレ ータポジションに基づいた、高速なベクトル計算された位置でのイ ベントトリガリングを達成 •イーサネット、USB、RS-232シリアルバス 15 先進的なシステムコントロール GSE: 地上支援機材 ソフトウェア •再構成可能な地上支援機材で時 間と経費を節約 •ブラシレス、ブラシ、ステッパ ーモータ向けに簡単に構成可能 •Windows®環境のモーション コントローラは、LabVIEW®、 .NET、C、C#、 AeroBasic®言 語を使用し、ユーザフレンドリ ーでシンプルなソフトウェアを 提供 •レゾルバ、インダクタンス（誘 導子）、インクリメンタル、ア ブソリュートのエンコーダ信号 を解読 •レーザ、渦電流または超音波セ ンサコントロールにPSO（位置 同期信号出力）トリガー ライブラリーや実例コードを使 用し、独自のインターフェース やアプリケーションを.NET、C# 、C、LabVIEW®言語で開発でき ます。 •計算機と自動調整ルーチンを簡 単設定 •品質制御検査中、モーションパ フォーマンスのすべてをキャプ チャ •最先端のIDEを使用してモーシ ョンプログラムを開発 •最高の診断ツールキット •ループトランスミッション（ボ ード線図）検査機能内蔵 •条件つき2次元エラーグラフ Automation 3200 Ensemble •最大32のタスクに対 応 •最大4つのタスクに対応 •1～32軸の同期整合運動 •PC環境 •スキャナコントロールによるマー キング •RS-274 Gコード •レーザ機能を多く搭載 •厳しい要件のアプリケーションに •レトロフィットパッケージ 対応する拡張機能 •アナログおよびデジタルI/O •スタンドアロン型の1～10軸コ ントローラ •多用途でコスト効率の良い同期 整合制御 •PWMまたはリニアドライブ(ピ ーク電流10～150 A ) 統合された開発環境 プログラミングインターフェース 16 www.aerotech.com オートチューニング リニア/回転サーボお よびトルクモータ インターフェース アクセサリ •イーサネット/IP™ •USB •リニアアンプ •Modbus®/TCP •RS-232 •ESTOP（緊急遮断）回路 •DeviceNET •GPIB •ラックマウ ント構成 •イーサネットTCP/IP •ラックマウ ント式PC Soloist •ブラシレス、ブラシまたはステッパ ーモータ •デスクトップまたはパネルマウント •.NET、C++またはLabVIEW®言語 •的確で経済的な単軸コントローラ •スタンドアロン型 •PWMまたはリニアドライブ(ピー ク電流10～150 A ) •.NET、C#、LabVIEW® 言語 •イーサネット、USB •GPIB、イーサネット、USB ループトランスミッション（ボード線図） パラメータ編集 17 先進的なシステムコントロール LabVIEW®環境用Vis(バーチャルインスツルメンツ) エアロテックのモーションコントロ ーラにはすべて、LabVIEW® VIs（バ ーチャルインスツルメンツ）および LabVIEW®の実例コードが統合されてお り、Windows® LabVIEW®環境でパワフ ルなモーション機能をお使いいただけ ます。 LabVIEW®の多軸HMIフロントパ ネルは、お使いのアプリケーションに 簡単に統合できます。 ユーザフレンド リーなVIライブラリーには、コントロー ラの初期化、単純または複雑な運動指 令機能の実行、ステータス点検、エラ ー点検、故障処理のためのツールや実 例が含まれています。 LabVIEW®のプロ グラマーには、高速試作作業用の高度 なモーションVIsのツールボックスが装 備されています。 LabVIEW®多軸HMIフロントパネル これらのVIsはビルディングブロック またはスタンドアロン型VIsとして使用 し、初期化、モーション、ステータス/ ポジションアップデートなどの多様な タスクが実行できます。 VIsは次のカテゴリーに整理されます。 •初期化機能 •アナログおよびデジタルI/O機能 •動作機能 •エラー処理機能 •パラメータ機能 •ステータスおよびポジション機能 •グローバルデータ機能 •プログラム実行機能 •ユーティリティ機能 •変数の入手と設定機能 HMI図表 LabVIEW®のシンプルな2軸VI エアロテックのVIsは、ナショナルイン スツルメンツ社のLabVIEW®プログラミ ング基準に適合しています。 各VIは直 感的に簡単に使用できます。 リニアベクトル運動図表 18 www.aerotech.com 先進的なシステムコントロール リニアサーボアンプはレゾルバまたはインダクトシン式（電磁誘 導でインダクトシン社開発）インターフェース機能を装備し、高 精密で超低ジッタ操作を実現 HLeおよびNpaq リニアサーボア ンプは、PWM切替えノイズがな く動作すきまのない高精度ドラ イブを要求するモーションコン トロールアプリケーション用で す。 HLeおよびNpaqリニアサ ーボアンプにはPWM切替えノイ ズがないため、高感度な電気計 測デバイスに電気ノイズを誘導 しません。 当社のリニアアンプ には動作すきまがないため、運 動方向反転を通じてスムーズな 電流を供給します。 レゾルバ式（電磁誘電形）また はインダクタンスインターフェ ースは、ダイレクトドライブ AZ（方位角）/EL（仰角）ポジシ ョナおよび回転ポジショナの高 精度、超低ジッタ操作を実現し ます エアロテックのリニアデジタル アンプでは、1または2チャンネ ルの、レゾルバ式またはインダ クトシン式インターフェースを 取り揃えており、絶対値エンコ ーダから位置を読み取ります。 リニアアンプ採用のNpaqは、レ ゾルバ式（電磁誘電形）、イン ダクトシン式または光学エンコ ーダフィードバック機能を６チ ャンネル搭載できます。 これら の新機能をリニアアンプ固有の スムーズな電流と組み合わせる と、エアロテックモーションコ ントローラは、レゾルバまたは インダクトシン式フィードバッ クを使用するダイレクトドライ ブ回転ポジショナを用いた高精 度位置決めまたは速度追跡に理 想的となります。 これらの機能 により、高精度、低ジッタで物 体を追跡することができます。 これは、レーザステアリング、 目標物追従、星追跡などのアプ リケーションで考慮される不可 欠なパフォーマンスです。 リニアアンプの利点 •切替えノイズなし •動作すきまなし Ensemble HLe •出力電圧は±40 V、±60 V、±80 V • ピーク出力電流は最大20アンペア •最大連続出力電流は10アンペア •ソフトウェアで選択可能な電力増幅 器の帯域幅 Ndrive HLe Soloist HLe Npaq 19 先進的なシステムコントロール PWMアンプ、10 A～150 A 出力 エアロテックのPWMデジタルサーボア ンプは、ブラシレス、DCブラシおよび ステッパーモータを、幅広い動作電圧や 電流で制御することができます。 標準 のアーキテクチャに基づき、これらのア ンプはカレント（電圧）およびポジショ ン（位置）の両方をデジタル式にクロー ズドループ制御します。 ハイパフォーマンスな倍精度のプロセッ サ使用により、限界に近いスムーズなモ ーションプロファイルが生成できます。 サーボシステムレスポンスは、最大8つ の二次ループフィルタ、精密に時間整合 されたフィードフォーワード、クローズ ドループ最大更新レート20 kHzに達す る特許技術等を駆使して最適化されてい ます。 PWM製品ファミリーでは、高効率のバ ージョンを多数取り揃えています。 MP は低出力の省スペースPWMドライブ で、スペース条件が厳しいアプリケー ションに最適です。 CPは中出力PWM ドライブで、AC主電源にて直接稼動で き、コスト重視のアプリケーションに最 適です。 HPeはハイパフォーマンスな PWMドライブで、他のPWMドライブに はない多数の機能を取り揃えており、10 A～150 Aのピーク電流範囲の出力電流 を供給します。 オプションとして、エアロテックPWM アンプには、インターポレータ（逓倍） されたエンコーダ信号、1～3軸対応の 位置同期信号出力（PSO）、自動ブレー キ制御、デジタルおよびアナログI/O拡 張、アブソリュートエンコーダインター フェース、1または2チャンネルレゾル バインターフェースがご利用いただけま す。 HPeドライブではオプションで専用 イーサネットポートを装備し、サードパ ーティーの供給するI/O拡張デバイスに 接続できます。 20 www.aerotech.com Ensemble MP Soloist CP Ndrive HPe 検査装置 検査装置 電気光学（オプトロニクス） これらの高精度なモーションシ ステムは、優れた多軸角速度検 査、電気光学センサの校正、ミ サイル捜索ジンバル、衛星セン サー慣性航行誘導ユニット向け に設計されていますが、目標物 追従ジンバルマウントとしても 使われます。 お客様は当社の先 進的なコントロールとソフトウ ェアを使い、短時間でシステム の構築をし、所有の製品の検査 が可能です。 ビーム動波機構に は100 mm ～325 mmのクリアア パーチャの提供が可能で、高エ ネルギーのビームポインティン グや検査が実施できます。 特徴と利点 •高精度 ダイレクトドライブ 方位角/仰角2軸ポジショナ •方位/仰角の制限角度また は連続回転可動 •精度±10 µrad; 直交性10 µrad; 分解能0.05 µrad •再現性 •ダイレクトドライブ（直動） •滑らかな駆動 •高速 •コギングなし •オプションの角軸ブレー キと搭載物が重い場合の カウンターバランス ブレーキ ピッチ ヨー •高速/高トルクで高速運動 機能 •片側だけの仰角軸により 積載物を容易に搭載 大型アパーチャ、方位角/ロ ール2軸ポジショナ •ダイレクトドライブ •精度±10 µrad ロール 連続回転また は±200度の 回転角制限 •分解能0.03 µrad •アパーチャサイズ • AZ（方位角）軸ス リップリング；回転 角制限または連続 回転が可能 22 www.aerotech.com ヨー ロール軸の大型アパーチャでは アパーチャ内に積載物搭載可能 当社のジンバルは、ミサ イル誘導装置の検査・実 証に使用されています。 高耐荷重センサ検査ポジショナ •軸あたり精度±14.5 urad 写真提供： 米国防総省 •エアまたは真空バージョンを準備 •耐荷重182 kg (400 lb) •制限可動のAZ（方位角）; 連続回転 または回転角制限のEL（仰角） •分解能0.005 µradにより、高精度な ステッピングと抜群の再現性を発揮 当社では、 フルシステ ムをはじ め・・・ ・・・ポジ ショナ操作 用のラック マウントド ライブまで 取り揃えて います ヨー •仰角EL ±170° •精度±7 µrad •再現性±2.5 µrad 反射鏡面は 回転中心に •300 mm FSR（自由スペクトル 領域）用鏡面搭載可 設置 •精度±10 µrad 端部処理は電気的に力のバラ ンスをとるタイプとカウンタ ーバランスを採用するタイプ の選択が可能 反射鏡面は回 転中心に設置 ピッチ ヨー 写真提供： 米国防総省 •方位角AZ ±170° •2軸ダイレクトドライブ •分解能0.025 µrad 高精度ダイレクトドライブ2 軸ポジショナ •2軸ポジショナ 電気光学センサ校正ジンバル ピッチ ミサイル精度は 捜索および誘導 システムに依存 します。 当社 のジンバルは、 これらのシステ ムの計測・校正 に使用されてい ます。 100～325 mm の大型アパーチャ により、ケーブル、光学経路、 スリップリングまたは積載物取 付けが可能 23 検査装置 電気光学（オプトロニクス） 写真提供： 米国防総省 アンテナ 慣性航行システム 機首カメラ 位置センサ 電気光学照準器 当社では、誤動作の許されない基幹技術の検査・校正を行っています。 世界中のエンジニア が、UAV(無人航空機)で使用されるシステムなど、その重要なハードウェアの準備ができている か実証するため運動精度や信頼性を計測するエアロテックの検査・校正装置に依存しています。 高精度2軸ダイレクトドライブジンバルマウント •両軸の360°連続回転 •インダクトシン（インダクトシン社開発デバイス） フィードバックを採用する高精度な軸位置 決めおよび再現性 •精度±5 µrad; 分解能0.26 µrad •優れたモーション精度と軸直交性 •ダイレクトドライブ ブラシレス スロ ットレス サーボモータ •コギングフリー設計で抜群の速度安定性 •熱安定性は0.4 µrad/°C以内 •最大直径500 mmの積載物を収容 •真空対応バージョン 極限精度をもつベアリングの2軸エアベアリ ングモーション シミュレータ/ポジショナ •ダイレクトドライブ、ブラシ レス、スロットレスモータ •精度±10 µrad •クリーンルーム対応 •傾斜誤差<3 µrad •再現性±5 µrad •アパーチャ300 mm •軸方向（Axial）エラーモーション120 nm •半径方向（Radial）エラーモーション170 nm 24 www.aerotech.com AOM360D 前面反射鏡ジンバル •鏡面はAZ（方位角）/EL（仰角） の回転部中心にあり、光学経路 誤差を最小化 •モデルALAR-100/-150が AZ（方 位角）軸でモデルAOMジンバル がEL（仰角）軸 ダイレクトドライブ2軸ジン バル •内蔵スリップリングを搭載 し、方位角/仰角の360° の連 続回転 •高精度・高速の角度位置決め ロープロファイル（低姿 勢）AMG LPは最大直径 200 mmまでを載積可 •高精密な角度位置決めのため のブレのない軸デザイン •ダイレクト ドライブ ブラシレ ス サーボモータによりゼロバ ックラッシュを実現 カウンターバランスつ きウォームギアドライ ブAZ（方位角）/EL（仰 角） •ダイレクトエンコーダは 再現性±12 µrad •ダイレクトエンコーダに よる±50 µradの精度 ヘビーデューティのAMGは最 大直径600 mmまでを載積可 •優れたパフォーマンスで 経済的ソリューション •耐荷重4.5～114 kg (10 ～250 lb) メカニカルベアリングウ ォーム駆動回転ステージ •連続360°回転の位置決め •精密なウォームギアドライ ブにより抜群の精度と再現 性 •ブラシレスサーブモータを 含む •一方向精度±73 µrad •一方向再現性±15 µrad •耐荷重59 kg (130 lb) 25 検査装置 回転およびリニアセンサ検査 レゾルバ/エンコーダー検査器 回転ステージ検査器 傾斜誤差が最小の超精密 度： 精度±2.5 µrad、傾 斜誤差1.5 µrad ベアリング検査器 外部からアイソレーションさ れたシステム上の超精密・高 精度・高耐荷重、ダイレクト ドライブ、エアベアリング •ABRT-400エアベアリング •回転ステージ、モータ、レゾル バ、エンコーダー、ベアリング の検査用 •精度±2.5 µrad •傾斜誤差1.5 µrad •耐荷重136 kg (300 lb) •パッシブ型空気バネ式除振機能 •軸（Axial）/回転（Radial）方 向のエラーモーション70 nm 大型アパーチャにより多様な 積載物の構成が可能 •UUT（テスト対象ユニット） 収容可 •ケーブルの引き回し •光学経路の通り道 角度フィードバックデバ イス検査用高精度AZ（方 位）軸/ロール（回転）軸 •ロール軸は全周360° 検査 用に±200°の 制限可動 •AZ（方位）軸は連続回転ま たは回転角制限 •耐荷重45 kg (100 lb) •全可動範囲において、ピー クツーピークで精度±10 µrad未満 •エアロテックの高精度回転 ステージは、単軸または多 軸構成で使用可能 26 www.aerotech.com 検査装置 高耐荷重ステージ ATS0500ヘビーデュ ーティXYZ軸 高耐荷重垂直ス テージ •高積載量に最適 •垂直ステージ •耐荷重114 kg (250 lb) •耐荷重455 kg (1000 lb) •全方向で最大可動距離 1m •バックドライビン グ(逆走)なし •ベローズ（ジャバラ） による防塵機能 •調整可能なソフト ウェアーリミット •クリーンルームまたは 真空度10-6 torrに対応 5軸、XYZ軸、ピッ チおよびロール 高耐荷重ヘビーデ ューティXYZ軸シ ステム •ケーブル配線処理 •耐荷重227 kg (500 lb) •ダイレクトドライ ブ、高精度 •1パルス移動200 nm の高精度 •空気圧式対重力カ ウンターバランス •高耐荷重 •分解能4 nmのダイ レクトエンコーダ •クリーンルーム対応 高耐荷重X/シータ軸 高耐荷重ボールスクリュー式XY軸リニ アステージ •可動距離350 mm •耐積載量682 kg (1500 lb) •耐荷重682 kg (1500 lb) •オプションで、高精度、高再現性のリニア エンコーダ •回転精度±10 µrad •クリーンルームまたは真空度10-6 torrに対応 •クリーンルームまたは真 空度10-6 torrに対応 •連続回転 27 真空対応 装置 真空対応装置 エアロテックの多くの応用経験、競争のな い製品領域、多岐にわたるエンジニアリン グ技術により、真空対応モーションシステ ムの最適なパートナーとしてお選びいただ けます。 エアロテックは創立以来、最高 性能のモーションコントロールと位置決め システムを設計・製造してまいりました。 もちろん、真空対応プラットフォームも例 外ではありません。 エアロテックの高精 度なモーションコントロール製品は、半導 体の製造・検査、光学機器組立、防衛/航 空宇宙のような、今日の市場で厳しい要件 を要求する真空アプリケーションに対し現 行技術の最高峰のパフォーマンスを提供し ています。 真空対応装置における絶え間ない開発努力 は、当社のモットーである｢モーションサ イエンスに拘り続ける｣の一言で表現され ます。 これは、エアロテックはモーショ ンコントロール製品やサービスを通じて次 のような付加価値をお客様にお届けすると いうことです： • 所有コストを最小に抑える • 最高のスループット • 高精度 高真空環境でXY軸リニアモーター駆動モーション システムのステージ操作を可能にする、主たる設 計要素。 • 最高の投資効率の提供 エアロテックの広範囲な標準モーション製 品は、真空対応オプションの指定が可能で す。 標準プラットフォームに加え、お客 様の必要なアプリケーション仕様に合致す る、カスタムシステムも常に製造していま す。 エアロテックの真空対応モーション プラットフォームはすべて、ポンプのダウ ンタイム、チャンバーの汚染、温度管理の 問題すべてを最小限に抑えます。 またシ ステムには、磁場削減のような、アプリケ ーションで配慮すべき重要な事項を組み入 れることができます。 エアロテックでは、真空対応モーションプラットフ ォームの供給を通じ具体的経験を生かしています。 •材料選択 •表面処理 •ハードウェアの通気と不純物保持エリアの除去 •潤滑剤選択 •温度管理 •磁場制御 •クリーニング •ベークアウト •取扱いと梱包 29 真空対応装置 リニアおよび回転検査 エアロテックは、低アウトガス 材料で構成されたポジショナを 専門に扱っており、宇宙を想定 した環境でのオートメーション 化を図ります。 当社は何千も の真空対応の軸をお届けし、大 手の政府研究所、航空宇宙関連 企業、研究施設と連携し、厳し い真空要件を満たすよう取り組 んでいます。 当社の真空対応 装置では特に次が配慮されてい ます。 •10-6 torrの標準環境 自立型垂直ステージ XYZ、ロール、ヨー軸 •耐荷重114 kg (250 lb) •5軸 •リニアエンコーダ •耐荷重7 kg (15 lb) •鋳物には真空定格の塗装を使用 •高精度ボールスクリュー式 •動作温度２０℃～＋５０℃ •テフロン製ケーブル(M27500) •XYZ軸システムとして容易に 構成可能 •低ガス放出材料と潤滑材を使用 •特殊材質仕上げまたは未加工金 属を使用 •ステンレススチール製通 気式ハードウェア •真空用特殊エポキシ樹脂 •特殊なクリーニング、 取扱い、梱包 当社では、必要なケーブル、コネ クタ、隔壁取り付け用フィードス ルーコネクタをすべて含む真空対 応装置を提供しています。 お客 様供給のコネクタもお取り付けで きます。 5軸大型可動システム •衛星機器の校正用とし最高の 走査システムのためダイレク トドライブの採用 •高精度 •高分解能 •優れた直進性と平坦性 30 www.aerotech.com XYZ軸ボールスクリ ュー式ポジショナ •耐荷重36 kg (80 lb) •リニアエンコーダ •高精度 •優れた再現性 真空対応装置 高耐荷重 高耐荷重傾斜／回転ポジショ ナ(Tip／Tiltポジショナ)ALAG1200／ALAR-325-SP ALAG-1200 ヨー チルト •耐荷重682 kg (1500 lb) •回転中心は傾斜ステージより 1200 mm上 •再現性±2 µrad •精度±5 µrad •対応真空度10-6 torr •AZ（方位軸／傾斜軸）はダイレク ALAR-325-SP トドライブ •マシン分解能0.025 µrad •テーブルトップを基準にしたダイ レクトフィードバックを有するゴ ニオメータ •可動角度±3° ALAGチルト ALARヨー ALAG-330 耐積載量傾斜/回転/リニア ポジショナALAG-330/ALAR325-SP/ATS5000WB VAC6 682 kg (1500 lb) ALAR-325-SP •写真は600 mmリニア；最大 1.2 m利用可能 •AZ（方位軸／傾斜軸）ダイレ クトドライブ： 再現性 リニアモ ±2.5 µrad、精度±5 µrad ーション •傾斜であるゴニオメータの回転 ATS5000WB 半径は330 mm •ゴニオメータはダイレクトエン コーダフィードバックを含む •可動角度±5° 写真は682 kg (1500 lb) 積載時ALAGを5°傾斜 31 試作開発装置 試作開発装置 試作のレーザマイクロビームステアリング装置 試作開発装置は、お客様の製品を実環境で検証するために使用されます。 当社の装置は、使 いやすい制御機器とソフトウェアを使用し、お客様の積載物の精密な位置決めを行います。 これにより、ユーザはデバイスの現場検証に集中できるため、位置決め装置の技術的負担か ら解放されます。 当社の技術には、電気配線、スリップリング、メカニカルマウントインタ ーフェース、分散制御、電源条件、安全電機設計、位置決め動作後処理が含まれます。 ダイレクトドライブ2軸ポジ ショナ •スリップリングを内蔵した方位 角/仰角それぞれ360° の連続 回転 積載物はさま ざまな位置に マウント可能 EL •高精度な角度位置および速度能 力 •ダイレクトドライブ ブラシレ ス サーボモータでゼロバック ラッシュ実現 方位 •コギングフリー設計で抜群の加 速度安定性 •ボックス型セルは複数のマウン ト位置が可能で、ユーザの自由 度が拡大 調整可能ボッ クス型セルで 容易にセンサ 取り付け構成 変更 •低メンテナンスと高い信頼性に より、低い維持費を実現 2軸ダイレクトドライブ AZ（方位角）/EL（仰角）台座マウ ント EL •高分解能 (0.05 µrad) 、 高精度 (±15 µrad) AZ •AZ（方位角）軸スリップリング；回転 角制限または連続回転が可能 •高速で精密な角度位置決め 取付けが自由自 在なブレッドボ ードマウンティ ングプレート •ギア駆動で発生するバックラッシュなし •ジンバルの動作をユーザ要件に合わすこ とができる多数のモータオプション 33 試作開発装置 太陽追尾および天体望遠装置 耐荷重68 kg (150 lb) 2軸ダイレクトドライブ ミラーマウント •滑らかな駆動で精密な目標物追従 •対応真空度10-6 torr オプションが 選択可能 前面反射鏡により 正確な光学経路ス テアリングを実現 •精度±5 µrad •再現性±2.9 µrad •ミラーセル内径660 mm 複数のコントロールオプション 2軸ダイレクトドライブ ジンバル •可動角度AZ（方位角） ±170° •可動角度EL（仰 角）±170° •精度±10 µrad •再現性±2.5 µrad •ミラーセル200～400 mm 標準デスクトップま たはラックマウント 式、LabVIEW®、.NET またはC 言語環境をサ ポートするスタンドア ロンコントローラ ラックマウント コンソール ギアドライブ ジンバル •高耐積載量 •ギアドライブは不平衡荷重での 運転でも逆転なし •手動調整ノブ •ボックス型セルの採用で複数の ボルトパターンを設置でき、容 易にセンサをマウント 34 www.aerotech.com 試作開発装置 ビーム導波器 エアロテックの大型アパーチャステージは、高分解能回転ステージであり、2軸ジンバルを構成します。 この構成は、クーデパスを使い、レーザビームはステージ内を通過し望遠鏡を経て外に導光します。 下図 システムは、ALAR回転ステージで構築したカスタムメイドのビーム導波器です。 ビームは光軸部に入射し、第3鏡で 作動し、望遠鏡内で拡大されます 第2鏡 を作動 アパー チャ ALAR-100-SP 鏡を駆動 ビーム経路はベースに入射 2軸ビーム導波器 •100 mm～325 mmのオプティ カルアパーチャが選択可能 •星追従またはレーザビームポイ ンティングに使用 •アクティブまたはパッシブアプ リケーション ALAR-100-SPアパーチャとその高い精 度がこのシステムの能力を左右します 35 試作開発装置 センサ位置決め IR（赤外線）または昼日カメラ ポインティング •ダイレクトドライブ採用の ため小型にもかかわらず高 速モーション •精度±24 µrad •再現性±2.5 µrad •垂直または水平マウントが 可能 •長方形ミラーセル EL •AZ（方位角）およびEL（仰角） は回転角制限可 •アンテナステアリング用ジン バルとして有用 AZ センサマウント を両側に設置 ビデオ追跡検査 •EL（仰角）軸とAZ（方位 角）軸でT字型構成 •EL（仰角）軸の両側にセ ンサまたはレーザをマウ ント可能 •回転角制限または連続回 転可動 •耐荷重36 kg (80 lb) •より大きなサイズのオプ ションあり 36 www.aerotech.com 試作開発装置 IP66準拠シールドシステム ダイレクトドライブ屋外対応 センサポインティングマウン ト、IP66準拠シールド EL •実環境でのテスト用に耐環境設 計 •簡単にマウントできる面を提供 AZ •連続回転または回転角制限オプ ション •スリップリングオプション •耐荷重45 kg (100 lb) •シールドコネクター ダイレクトドライブ屋外対応 カメラまたはアンテナマウン ト、IP66準拠シールドされた 容器およびチルト機能 •耐荷重23 kg (50 lb) •スリップリングオプション •低メンテナンス •シールドコネクター •連続回転または回転 角制限オプション 37 試作開発装置 センサ位置決め 高性能 3軸大型アパーチャ ダイレクトド ライブ 誘導テストシステム •回転アパーチャ100～325 mm •検査・校正用 EL ロール •連続回転または回転角制限オプション •客先指定信号・電源用スリップリング •高分解能 •精度±10 µrad •分解能0.03 µrad •精密角度コンタクトベアリングにより軸方 向のエラー低減 •バックラッシュやギア磨耗はなし AZ 多岐にわたるポジショナ製品ラインにより、特徴のあるさま ざまな積載物に合わせてシステムを迅速に構築できます。 電気光学センサは、全回転軸 の中心に設置されています。 38 www.aerotech.com 高性能 回転ステージ、 リニアステージ、 ガントリ、 ナノポジショナ 高性能回転ステージ、リニアステージ、 ガントリ、ナノポジショナ 画期的なパフォーマンス エアロテックの大型アパーチャ回 転ステージは革新的なダイレクト ドライブステージです。 これに より、大型アパーチャ、ダイレク トドライブモータ、極めて高い分 解能、低チルトエラー、高軸受荷 重などの機能の組み合わせをご利 用いただけます。 これらの機能 で、高耐荷重、超精密回転位置決 め、そしてケーブル、ホース、 積載物、スリップリングや光学経 路のための大型アパーチャが得ら れ、お客様がシステムを製作する 上で、新しい要素を提供いたしま した。 また、ALARシリーズでは 10-6 torrのご使用真空度環境で装 置の構築ができます。 この大型 アパーチャ、ゼロバックラッシュ ステージを利用し、宇宙用機器・ 画像認識装置の検査が行えます。 大型アパーチャダイレクト ドライブ回転ステージ •アパーチャのサイズ100 mm、150 mm、200 mm、250 mm、325 mm •軸荷重136～682 kg (300～1500 lb) •優れた精度と再現性 •コギングフリーのモータにより 滑らかな駆動 ALAR-LP シリーズ •ギア駆動で発生するバックラッ シュなし •ギア磨耗による長期的な精度変 化はなし •連続回転速度45～300 rpm •真空度10-6 torr 対応バージョン •高分解能により抜群のステッピ ングおよび静止安定性 ALAR-SP シリーズ ダイレクトドライブの利点 ダイレクトドライブALAR回転ス テージには、ギア磨耗やギア振 動がありません。 また、ダイレ クトドライブは高速運転ができ るため、検査完了時間を短縮す るという利点もあります。 これ を生産現場に適用すると、高速 検査、低製造コスト、高収益が 達成できます。 システムの精度 と再現性の面から見ると、ギア 磨耗がないためにメンテナンス の必要性がなく、ステージ性能 は長期間にわたって維持されま す。 高精度でバックラッシュが ないため、より精密な検査シス テムでより精密な製品を生産で きます。 40 www.aerotech.com ALAR-LPは回転軸が重力方向を 基準に垂直に設置するよう設計 されました。 LPはSPよりもロー プロファイルなため、スペース に制限のあるアプリケーション に最適です。 ALAR-SPは、垂直、水平を問わ ず、どのような構成にでも設置 できます。 ±0.05 µradの静止安定性 高分解能のため小ステップ送り 大型アパーチャのギアドライブ回転ステージ •強化された速度と耐荷重性 •大型アパーチャにより広範囲な アプリケーションに対応 •高荷重および不平衡荷重に有用 •革新的な精密ウォームギアアセ ンブリ（特許申請中）により、長 期の耐用年数にわたり、優れた精 度と再現性を発揮 •逆走なし •対応真空度10-6 torr AGRシリーズのモーター駆動回転 ステージは、旧世代のウォームギ アドライブステージに比べて、速 度、耐荷重、位置決めの長期的パ フォーマンスが劇的に改善されて います。 AGRシリーズのステー ジは、実験室や工業用で使用する 広範囲な汎用位置決めアプリケー ションに対処します。 ダイレクトドライブ回転ステージ のスピードは必要ではないが、高 荷重または不平衡荷重用に大型ア パーチャを必要とするお客様向け に、AGRギアドライブ回転ステー ジ製品シリーズを開発いたしま した。 優れたプリロード配置により磨耗 部分を取り替える必要がなく、ま た、ステージパフォーマンスを低 下させることなくステージ寿命を AGRシリーズ 抜群に延ばし、幅広い温度範囲で ステージの運転が可能です。 大型クリアアパーチャの追加は、 旧世代のウォームギア駆動ステー ジを上回る機能となります。 AGR シリーズはこの機能により、スル ーホールや光学マウントの収容が 要求されるアプリケーションに対 応でき、ビーム偏光レンズの制 御、配線/送気管/視覚アプリケーシ ョン用スルーホールが可能になり ます。 各ステージは、プリロード済み大 直径のニ重角度コンタクトベアリ ングが組み込まれており、最適に 分割されて優れたエラーモーショ ン仕様と最高の荷重取扱い機能を 確保します。 オプションとしてフレキシブルな モータセレクションや、抜群の再 現性を発揮する回転軸同心にマウ ントしたダイレクトエンコーダが あり、ヒステリシスとバックラッ シュを事実上排除します。 真空対 応バージョンもご用意しておりま す。 41 高性能回転ステージ、リニアステージ、 ガントリ、ナノポジショナ 超精密、ロープロファイル、ダ イレクトドライブ回転エアベア リング ABRS シリーズ •回転方向、回転軸方向、軸の傾き 方向の抜群のエラーモーション •直結型高精度ロータリエンコーダ •ロープロファイルの平面設計 •耐積載量9～100 kg (20～220 lb) •磁気プリロード式 超精密・高精度ダイレクトドラ イブ回転エアベアリング •高トルク出力、ダイレクトドライ ブ ブラシレス スロットレス サーボモータ •ゼロコギングモータで傑出した速 度安定性を確保 ABRTシリーズ •回転方向、回転軸方向、軸の傾き 方向の抜群の低エラーモーション •直結型高精度ロータリエンコーダ •大口径クリアアパーチャ •機械的接触なし •アソビを許さないエアベアリング は上下逆さでも横向きでも動作可 能 •耐積載量20～68 kg (44～150 lb) 42 www.aerotech.com ダイレクトドライブシ ールド回転ステージ •IP66準拠の環境保護 •光学式または磁気式ポジ ションフィードバック ASRT シリーズ •動作温度-20～+70°C •オープンアパーチャまた はアパーチャなしテーブ ルトップ •耐荷重182 kg (400 lb) •オプションでスリップリ ング エアロテックの回転ステー ジは、多様なタイプの精密 エンジン部品とし非破壊検 査で使用されています。 ADRT シリーズ 高トルク出力、ダイレ クトドライブ回転ステ ージ •コギングフリーのブラシ レスサーボモータ設計で 傑出した加速度安定性 •大直径クリアアパーチャ •高耐荷重とハイスピード •精度±15 to～±50 µrad 低姿勢のダイレクトドライブ回 転ステージ ADRS シリーズ •高トルク出力、ダイレクトドライ ブブラシレスサーボモータ •コギングフリー、スロットレスモ ータ設計により抜群の速度安定性 •直結型高精度ロータリエンコーダ •超低姿勢で作業高さを最小化 43 高性能回転ステージ、リニアステージ、 ガントリ、ナノポジショナ 高耐荷重ゴニオメータ •耐荷重682 kg (1500 lb) •回転ポイントは傾斜ステージよ り330 mmまたは1200 mm上 •再現性±2 µrad •精度±5 µrad •マシン分解能0.025 µrad •対応真空度10-6 torr •テーブルトップ位置から直にフ ィードバック •AZ（方位角）ダイレ クトドライブ ANT-20G •可動角度±3°～±5° ALAG ANT-20G シリーズ ダイレクトドライ ブゴニオメータ AGC シリーズ •非接触ダイレクトドライブ •高速と高分解能 •メンテナンスフリー ギアドライブゴニオメータ •20度の可動角度 •精度±60 µrad •精度±30 µrad •搭載物を360°の視界で遮ら ず、±45°の回転位置決め •耐荷重1.5～5 kg (3.3～11 lb) •ピッチ/ロール用 に積み重ね可能 44 www.aerotech.com •精密なウォームギアドライブ により抜群の精度と再現性 •ダイレクトエンコーダのオプシ ョンあり •垂直または水平のマウント方向 •耐荷重20～50 kg (44～110 lb) AOM130M 2軸モータ駆動光学マウント AOM130M •モータ可動角度± 4° •方位角/仰角の粗動角度は360°回転 •卓越した温度安定性と振動安定性 •標準モデルは光学部品の直径152.4 mm～609.6 mmに対応 タンジェントアームジンバル AOM130M •ダイレクトエンコーダは精度±38 µradを達 成し、真空環境に対応 •再現性±2.5 µrad •ミラーセル4～24 in 2軸手動光学マウント •微調整可動角度±4° •方位角/仰角の粗動角度は360°回転 •卓越した温度と振動の安定性 高精密、大角幅、方位角 /仰角手動光学マウント AOM130 •特許取得ドライブによるサブ アーク秒の分解能 •卓越した温度安定性 •耐摩傷性セットスクリューと回転クリップ AOM300小型2軸ギアドライブ方位角/仰角 光学マウント •連続360° の仰角幅，±180°の方位角幅 •高分解能マイクロステッピングまたはサーボ モータを選択可能 AOM110 •長方形および円形のセルモデル AOM300 45 高性能回転ステージ、リニアステージ、 ガントリ、ナノポジショナ ALS シリーズ •ダイレクトドライブリニアモータステージ •ハードカバーとサイドシール設計により長期のメ ンテナンスフリーの操作可能 •高精度リニアエンコーダオプションにより、抜群 の速度制御が求められるアプリケーションに対応 •複数のフレームサイズと可動距離で、柔軟なシス テム構成が可能 •ケーブル配線処理はXY、 XYZ 構成および客先イン ターフェースに対応 AGSシリーズ •最適化された設計により精密成形を確保 •最大速度3 m/秒、最大加速度5 g •高出力ブラシレスリニアサーボモータに よる滑らかな駆動 •最大可動距離1.3 m ｘ 1.3 m •Ｚ軸と θ 軸はカスタム化でき、 フレキシブルな構成を確保 •非接触リニアエンコーダ •複数アプリケーション向けにファイバー レーザ、カメラ、エアラインなどをまと めて装置のケーブルと配線処理が可能 ABL シリーズ •並外れた幾何学的なエアベアリング性能 •最大可動距離1.2 m x 1.2 m •リニアエンコーダまたはレーザインタフェロメ ータフィードバック •サブミクロン単位の精度 •XYとXYZの組み合わせシステム •ノンコギングのダイレクトドライブモータ 46 www.aerotech.com PRO シリーズ •精密研削ボールスクリュードライブ •頑丈設計 •長寿命リニアモーションベアリング •サイドシール設計とハードカバーに より、トップシール設計に比べ防塵 効果が大 •低コスト、高性能 •可動距離50～1500 mm •短納期サービス品 PRO LM シリーズ •ダイレクトドライブリニアモー タで超精密モーション •長寿命リニアモーションガイド ベアリングシステム •可動距離100 mm～1500 mm •低コストの高性能ステージ •短納期サービス品 ATS シリーズ •精密研削ボールスクリュードライブ •頑丈設計 •高精度、非接触リニアエンコーダ •長寿命リニアモーションガイドベアリン グシステム •可動距離100 mm～1500 mm •高耐荷重オプションあり •対応真空度10-6 torr •ハードコートのテーブルトップとカバー •低ベアリングエラーで卓越した幾何学的 性能を発揮 47 ナノポジショナ ANT95-L 単軸リニアス テージ •非接触、ノンコギング、 無摩擦ダイレクトドライ ブ - ゼロバックラッシュ またはヒステリシス ANT95-50-L-PLUS 1 ステップグラフ •高分解能 (1 nm)、再現性 (50 nm)、精度 (250 nm) •1 nmの静止安定性 •滑りのないクロスローラ ーベアリング •高いダイナミックパフォ ーマンス ANT95-Lシリーズでは25 または50 mmの可動距離 がご利用できます。 •X、XY、XYZ 他、多数組 合せあり ANT95-XY 二重軸リニ アステージ •ロープロファイルXYリ ニアモータ組み付けステ ージ •非接触、ノンコギング、 無摩擦ダイレクトドライ ブ - ゼロバックラッシュ またはヒステリシス ANT95-XY PLUSの2D精度 •高分解能 (1 nm)、再現性 (50 nm)、精度 (250 nm) •1 nmの静止安定性 •滑りのないクロスローラ ーベアリング •高いダイナミックパフォ ーマンス 48 www.aerotech.com ANT95-XYシリーズでは25 x 25 mmまたは 50 x 50 mmの可動距離が選択できます。 ANT130-L 単軸リニアステージ •非接触、ノンコギング、無摩擦ダイレ クトドライブ - ゼロバックラッシュま たはヒステリシス •高分解能 (1 nm)、再現性 (50 nm)、精 度 (250 nm) •3 nmの静止安定性 •滑りのないクロスローラーベアリング •高いダイナミックパフォーマンス •4つの可動距離オプションが選べる豊 富な選択肢 ANT130-L シリ ーズでは35、60 、110、160 mm の可動距離がご利 用いただけます。 ANT130-XY 二重軸リニア ステージ •低姿勢XYリニアモータ組 み付けステージ ANT130-060-L-PLUS 1 nm ステップグラフ •非接触、ノンコギング、無 摩擦ダイレクトドライブ ゼロバックラッシュおよび ゼロヒステリシス •高分解能 (1 nm)、再現性 (50 nm)、精度 (250 nm) •3 nmの静止安定性 •滑りのないクロスローラー ベアリング •高いダイナミックパフォー マンス ANT130-XYシリーズでは60 x 60 、110 x 110、160 x 160の可動距 離がご利用いただけます。 ANT130-XY PLUS 2D 精度 49 ナノポジショナ ANT95-RおよびANT130-R 回転ステージ •高分解能（0.01アーク秒） •広範囲の可動距離でハイパ フォーマンス ANT95-R 0.01アーク秒ステッ プグラフ •卓越したエラーモーション 仕様 •0.005アーク秒の静止安定性 •精度5アーク秒 •双方向再現性1.5アーク秒 •多軸構成 ANT-20G ゴニオメータ ANT-20G-90 0.05アー ク秒ステップグラフ •ゼロバックラッシュまたはヒステ リシスなしの非接触、ノンコギン グ、無摩擦ダイレクトドライブ •高速 (150°/秒) •高分解能（0.05アーク秒） •抜群の静止安定性 •大角幅；可動角度20° •直交にマウントされた2つのクレ ードルは、同じ回転中心を共有 •メンテナンスフリー •小型設計 50 www.aerotech.com ANT95-L-Zおよび ANT130-L-Z •広範囲の可動距離形式でナノメータパフォーマ ンスを発揮 •高分解能 (2 nm)、再現性 (75 nm)、精度 (300 nm) •5 nmの静止安定性 •滑りのないクロスロ ーラーベアリング •高いダイナミック パフォーマンス 22 20 18 Position (nm) 16 14 12 ANT95-50-L-Z-PLUS 1 nm ステップグラフ 10 8 6 4 2 0 2 0 5 10 15 20 Time (s) 25 30 ANT130-5-V 2 nmステップグラフ ANT130-5-V •広範囲の可動距離形式でナノメ ータパフォーマンスを発揮 •1 nmの静止安定性 •可動距離5 mm •精度200 nm •ANT130シリーズリニアステー ジにダイレクトマウント 51 カスタム設計システム EL（仰軸）のダイレクトドライブ 上にAZ（方位軸）をのせた2軸の ADRS-200/-150 AZ AOM240ダイレクトドライブ ジンバル Vac6 （10-6 torrの真空対応）XY軸とロ ール、ヨー計4軸 ATS5000WB/ALAR325-SP 4-Axis １メートルトラベルのリニア移動つき 高精度AZ（方位角）/EL（仰角）ポジ ショナ カスタムモーション シミュレータ AOM500 APT 連続可動AZ（方位角）/EL（仰角） ALS5000/1000XY、チルト、ヨ ー、ATS2000リフト Vac6（10-6 torrの真空対応）カスタ ムスクエアセルAOM300ジンバル ALS1000 XYZシータ、ATS1000、ADRS150、10-3 torrの真空対応 52 www.aerotech.com ADRT-260/ADRT-200ダイレクト ドライブジンバル ADRTダイレクトドライブAZ（方位 角）/EL（仰角） AOM160ダイレクトドライブジンバル ADR/ANTダイレクトドライブ ヨー/ピッチ 高精度AZ（方位角）/EL（仰角） ポジショナ ミラーセル付ALAR-100/ANT-20G AOM130M/ART330 ウォームギア ドライブジンバル ART320ウォームギアドライブ AZ（方位角）/EL（仰角） ADRT/AGR AZ（方位角）/EL（仰角） ジンバル 53 エアロテックの概要 本社 • 米国• ペンシルバニア州ピッツバーグ エアロテック (英国) エアロテック (ドイツ) 大量生産 エアロテック (日本) 世界規模のサー ビスとサポート 世界中で10万 軸以上を設置 世界規模のスタ ートアップサー ビスと現場トレ ーニング 完全装備の 現場トレー ニング施設 54 www.aerotech.com エアロテック (中国) 技術的に卓越したコンポーネント 高性能サブアセンブリ レーザドリルやマイ クロマシニングのア プリケーションにお けるハイダイナミッ クな精度位置決め用 XYABサブシステム 高性能ブラ シレスリニ アおよび回 転モータ AGR回転ステージ PROシリーズリ ニアステージ Ndrive® A3200 LaserTurn® 5高 速円筒型レーザ 切断システム Npaq® 受賞歴のあるAutomation 3200の 1 ～32軸モーション、画像処理、PLC、 ロボット、I/Oプラットフォーム クラス最高のサブシステム 高スループットのリニアモータ 直行ガントリシステム 総合的な技術サポートサービス カスタムソフトウ ェアアプリケーシ ョンのサポート マシンフレーム、デ ィスプレイ、実装電 子機器と高度に統合 されたモーションサ ブシステム 製造現場で実証済みの、 フラットパネルとセミコ ンダクターアプリケーシ ョン向け大型構成のエア ベアリングシステム カスタム設計の真空 およびクリーンルー ム対応システム 高速・高精度なシス テムレイアウトを容 易にする3Dモデル 高度分析技術 によりシステ ムの幾何学的 特性を最適化 55 その他の応用市場 太陽電池、燃料電池、代替エネルギー エアロテックは、幅広いアプリケーションの経験と豊富なモー ション製品をラインアップしているため、太陽電池、燃料電 池、その他の代替エネルギー生産や検査プラットフォームのサ プライヤとして最適なパートナーであると考えております。 当 社は世界規模で事業を展開し、これらの市場に多数のモーショ ンプラットフォームを設計・製造しており、これからも画期的 なソリューションを提供していきます。 汎用オートメーション 1970年以来、エアロテックは最高品質のオートメーションン製 品を製造してきました。 自動ナノポジショナ、平面エアベアリ ングシステム、高速ガントリ、リニア/回転リフトステージ、ブ ラシレスリニア/回転サーボモータおよびドライブ、単軸/多軸モ ーションコントローラ、ゴニオメータ、ジンバル/光学マウント など、広範囲な製品ラインにより、エアロテックはモーションコ ントローラ製造メーカーの中で傑出した位置を占めています。 エアロテックはモーションサイエンスに拘り続けます。 コントロールシステム エアロテックのモーションコントローラ、モータ、ドライブは、当 社の位置決めシステムをはじめ、世界中のエンドユーザやOEMに より活用されています。 最大32軸を制御するソフトウェアベース のモーションコントローラAutomation 3200 をはじめ、スタンド アロン型多軸Ensemble™ まで、エアロテックはお客様のアプリケ ーションに対応する多様なオプションを提供いたします。 レーザ加工 エアロテックは、レーザ切断、レーザ溶接、レーザマーキング、レーザエッ チング、マイクロマシニングなど、レーザ加工向けのモーションコンポーネ ントやサブシステムに対応する広範囲な専門知識を有しています。 これらの 加工技術は、太陽電池製造メーカーや、航空宇宙・医療機器製造メーカーな どの産業分野で先進テクノロジーの要となります。 56 www.aerotech.com 医療機器製造メーカーおよび生命科学 エアロテックは、医学・生命科学分野のアプリケーション用に、高性能 なモーションシステムとコンポーネントを製造しています。このアプリ ケーションには、ステントカッティング、心臓ペースメーカーとカテー テルのための医療用レーザ溶接システム、眼内レンズ（IOL）とコンタ クトレンズ製造、DNA塩基配列解析、血液配列解析、感覚系の圧延と穴 あけ、X線検査装置、磁気共鳴スキャナ、CATスキャナなどが含まれま す。 当社は、どのようなニーズにも対応する医療用レーザ溶接システ ムをオーダーメイドで製造することができます。 政府および教育研究開発機関 エアロテックは、学術・産業分野の研究開発における幅広い要望に応えるソリュー ションを提供するため、豊富な製品を取り揃えています。位置決めステージである ファイバーオプティクス製品は、光通信実験だけではなく、マイクロ/ナノ加工ワー クステーションに必要とされる精度を発揮します。 当社の多軸回転位置決めシステ ムとジンバルは、防衛、人工衛星、宇宙科学関連技術に必要な高精度を兼ね備えて います。 ユニークなアプリケーションにはユニークなソリューションが必要です。 エアロテックは、お客様のニーズに合ったカスタムメイド装置を提供します。 電子機器製造と電子部品組立て スピード、高精度、信頼性は、ピックアンドプレス機、ステンシル切断機、プリ ント回路組み立て、電子部品製造装置、電子部品組立て装置において必要不可欠 です。 1970年以来、エアロテックは、電子部品製造・電子部品組立て装置の分野 における最も厳しい評価基準を満たし、またその基準を上回ってきました。エア ロテックは、ピック アンドプレス機、ステンシル切断機、プリント回路組み立て システムにおいて、さらに優れた製品づくりのへの対応により養われる当社の最 先端モーション技術 を通し評価基準を高めることに全力を注ぎます。 検査装置 エアロテックは、CMM検査、超音波検査、渦電流検査、X線検査、 光学検査、電子検査などのアプリケーションを扱う幅広い産業の検 査に広く携わっています。 これらすべてのアプリケーションは、エ アロテックの高精度、正確度、耐久性に優れた製品を頼りにしてい ます。 光学検査ソリューションには、効率化された機械基盤をもと に、コントロール要素をすべて備えたハイエンドのリニアモータ駆 動モデルから、コストを抑えアプリケーション向けに設計されたモ ジュラーシステムまで、豊富なシステムを取り揃えています。 57 受賞および表彰 Design News誌による 2010年 ｢Golden Mousetrap｣賞 受賞 – ANT-130XY Design News誌による 2009年｢Golden Mousetrap｣賞最終選考 作品 – LaserTurn® 1, AGS15000, ANT95-XY Design News誌による2008 年｢Golden Mousetrap｣賞最 終選考作品 – Nmark™ SSaM Product Design and Development誌による 2002年｢Top 50 Product｣受 賞 – Automation 3200 Lightwave NFOEC主催 に よる2002年 ｢Attendees’ Choice Award｣受賞 – FiberMax® 58 www.aerotech.com 2008年Control Engineering 誌に よる｢Engineers’ Choice Award｣受 賞– LaserTurn® 1 Semiconductor International 誌による 2007年｢Editors’ Choice Best Product｣賞受賞 – WaferMax T™ Semiconductor International誌によ る2008年｢Editors’ Choice Best Product｣賞 受賞 – Ensemble™ EuroAsia IC誌によ る 2006年｢Industry Award｣賞受賞 – WaferMax Z™ Design News誌による 2002年 Aandrijftechniek誌による ｢Best Product｣ノミネート – Automation 3200 2002年アワード受賞 – FiberMax® Lightwave OFC主催によ る 2001年｢Attendees’ Choice Award｣受賞 – FiberAlign® 130 Machine Designによる ｢Excellence in Manufacturing Technology ｣賞受賞 – Slides /Ways 1998年および2000年 世界規模のトレーニングとサポート エアロテックでは、世界規模の総合的なトレーニングと カスタマーサービスを、お客様の施設またはエアロテッ クトレーニングセンターで行っています。 トレーニングプログラムの特徴： •スタンダードおよびカスタムコース •エアロテック位置決めシステムを使用した実践トレー ニング •経験豊かなインストラクターとのインタラクティブト レーニング •快適で広々とした施設 Aerotech Ltd （英国） 設置およびスタートアップ（試運転） エアロテックでは、スタートアップと試運転のサービス を提供しており、スタートアップ時間の短縮、コスト削 減、製品化の加速をお手伝いします。 当社の製品知識と お客様のプロセスやアプリケーションの専門知識を組み 合わせることで、新しいシステムやアプリケーションを 低い総コストでより早く完了させることができます。 エンジニアリングサポート Aerotech GmbH（ドイツ） エアロテックでは、当社製品に対する完全なエンジニ アリングサポートをお届けします。これには、現場サポ ートとメンテナンスや、電話、ファクス、ウェブサイ ト、WebEx®ソフトウェア経由でのリモートサポートが含 まれます。 エンジニアを配属する製造メーカーとして、 ダウンタイムは許容できないことを理解しております。 トレーニング エアロテックのトレーニングクラスは、当社製品のフル な可能性をお客様に引き出していただくために考案され ています。 製品特徴や使用方法をすべて実演すること で、お客様のスタートアップ時間を短縮し、アプリケー ションを迅速に最適化することができます。 エアロテッ クのクラスは、お客様のフィードバックを採用しながら 開発されており、常に継続的に更新されています。 Aerotech Inc（米国） Aerotech KK 1970年以来、エアロテックはモーションコントロール、 位置決めシステムおよびコンポーネントを比類なき信頼 性と実績をもって設計してまいりました。 エアロテック 製品の購入をご決断されましたら、新しい製品を最大限 に生かす方法を学ばれることをお勧めいたします。 エア ロテックでは、お客様が便利にご利用いただけるよう、 現場（お客様の施設）と社内（当社施設）の両方でトレ ーニングを提供しております。 59 モーションサイエンスに拘り続ける エアロテックの世界的な販売およびサービス拠点 H - エアロテック本社 l - 現地直接販売オフィス s - エアロテック子会社 w w w .a e r o t e c h . c o m CA0510A-JA n - 代理店
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