2015 年 1 月 14 日綜研化学株式会社ニュースリリースナノインプリント用モールドの大面積化技術を確立綜研化学株式会社（代表取締役社長：、本社：東京都豊島区）は、半導体分野で用いられている「ステップ＆リピート方式」をナノインプリント技術に応用することで、ナノインプリント用モールドの大面積化技術を確立しました。ナノインプリント技術を用いて微細加工を施す場合、通常モールドと呼ばれる成形用の金型が必要となります。モールドは複製することが可能ですが、その基となるマスターモールドは、製造技術の問題から形状面積が 8 インチ程度に制限されており、ナノインプリント技術は、活躍の分野が限られたものになっていました。当社では、2011 年に独自の「タイリング技術＊」を開発し、8 インチ以上のモールドを提供していますが、タイリング技術によるつなぎ合わせ精度の極小化（シームレス化）には限界がありました。このたび、タイリング技術の成果を「ステップ＆リピート方式」に応用することで、シームレス化の精度を高めた、新たな大面積モールドの作成技術を開発しました。今回開発した技術は、当社開発のレプリカモールド「FleFimo（Flexible Film Mold）」と専用装置を組み合わせたプロセスにより実現したもので、2015 年 4 月に A2 サイズまでの提供を開始します。段階的にサイズアップを進め、早期に A2 以上の全ラインナップでシームレス化の実現を目指します。モールドの大面積化に伴い、ナノインプリント技術は新たな分野への応用が可能となり、さまざまな産業の生産ラインにおけるコストダウンを提案できることになります。 2015 年 1 月 28 日（水）～30 日（金）まで東京ビッグサイトにて開催される「nanotech 2015」に関連製品を出展いたします。（ブース№ 5D-01） http://www.nanotechexpo.jp/main/ ＊タイリング技術とは、マスターモールドのレプリカ（複製）を複数枚作製し、それをタイルの様に並べてつなぎ合わせることで、レプリカモールドを大面積化する綜研化学独自の技術以上【本件に関するお問合せ】綜研化学株式会社新規事業部埼玉県狭山市広瀬東 1-13-1 TEL 04-2954-3482 E-mail : [email protected] ホームページ：http://www.soken-ce.co.jp/ 参考画像：大面積フィルムモールド例タイリングフレフィーモステップ＆リピート法によるつなぎ合わせ精度例（形状 L/S 周期２００nm,アスペクト１）