平成 26 年度 電子通信工学領域 修士論文要旨 6625027 須和 亮 太陽電池用Ⅳ族混晶半導体のエネルギーバンド構造に関する第一原理解析 【緒言】 現在,太陽電池の主要材料は多結晶 Si である. さらなる高効率化を実現するためには,波長感度 帯域の拡大が必要である.そこで,バンドギャップ Eg の異なる材料を積層した III-V 族多接合型太陽 電池が検討されている.ところが,III-V 族には環 境に悪影響を与えるものもあり,かつ Si 材料との 親和性にも問題がある.以上の技術背景から,本研 究では,C,Si,Ge,Sn からなる IV 族元素の混晶 系による多接合型太陽電池に注目している[1]. IV 族混晶系薄膜の格子定数は基板となる Ge や Si の格子定数と異なるため,エピタキシャル成長 させるためには組成の調整が必要である.また,組 成に応じて様々な原子配置が実現する.混晶系薄 膜のバンドギャップはこれらの要素が複雑に絡み 合って決まる.本研究では,第一原理計算法を用い て格子歪みがエネルギーバンド構造に与える影響 について計算し,さらに現実の組成に対応したⅣ 族混晶系について Eg の計算予測を行った. 【計算方法】 密度汎関数法に基づく局所密度近似と擬ポテン シャル法を用いた第一原理計算を行った.まず,図 1 に示す基本単位格子と慣用単位格子を用い,Ⅳ族 単元素半導体とⅣ族 1:1 混晶系におけるエネルギ ーバンド構造の等方性歪み(Lx = Ly = Lz)と平面歪 み(Lx = Ly = Lz) 依存性を求めた.計算における交 換相関汎関数は,Eg の再現性が高い sX-LDA [2]あ るいは計算コストが低い GGA-PBE を用いた.Eg の計算値を実験値と比較したものを表 1 に示す. 以下に述べる Ge 16 原子モデルには sX-LDA を用 い,Si 64 原子モデルには GGA-PBE を用いた. 次に,Ⅳ族三元混晶 Ge1-x-ySixSny について Ge 基 本単位格子を 2×2×2 倍した Ge16 原子モデルを用 い,置換位置に Si と Sn を 1 ~ 5 個(6.25 % ~ 31.25 %)導入して計算を行った.この計算モデルを 作成する際に,ダイヤモンド構造における原子配 置の対称性を考慮し,独立な原子配置と各配置の 重み(Weight)を算出するプログラム[3]を用いた. 各モデルについて全エネルギーEtot を計算し,得ら れた Etot を用いて分配関数を計算することにより, 各原子配置の出現確率 Pi を求めた.次に,確率 Pi が高い原子配置モデルを選択し,Eg の期待値 E[Eg] を求めた. 同様の計算をⅣ族三元混晶 Si1-x-ySnxCy 系につい ても行った.なお,この計算では Sn と C の含有率 が低い場合を扱うので,Si 慣用単位格子を 2 用単 位格倍した 64 原子モデルを用いた. 図 1 ダイヤモンド構造の基本単位格子(左)と慣用単位 格子(右) 表1 C,Si,Ge 結晶のバンドギャップ (eV) element C Si Ge GGA-PBE 4.157 0.606 0 sX-LDA 5.357 1.02 0.75 Experiment 5.4 1.17 0.744 【計算結果と考察】 現実の薄膜に生じる歪みは数%であるが,傾向を 調べるため広範囲な歪みを与えて計算を行った. IV 族単元素半導体の Eg の平面歪み依存性を図 2 に示す.平面歪みを付加すると,歪みの種類によら ずバンドギャップは減少することがわかる. 図2 C,Si,Ge 結晶の Eg の平面歪み依存性 Ⅳ族 1:1 混晶系について,同様の計算を行った. 実際に 1:1 組成で存在する Si-Ge と C-Si 混晶系の 結果を,ベガード則による計算値(図 2 に示す各単 元素半導体の計算値の平均)と比較したものを図 3 に示す.これより,Si-Ge 混晶系における Eg はベ ガード則よりわずかに(約 0.1 eV)低い程度である が,C-Si 混晶系においてはベガード則よりも約 1 eV 程度減少していることがわかる.この傾向は C を含有するすべての混晶系において確認できた. また,等方性歪みの場合にも同様の結果が得られ た. なお,3C-SiC の Eg の実験値は 2.2eV であり,sXLDA を用いた本計算値もそれとほぼ一致した. 図3 Si-Ge と C-Si における Eg の平面歪み依存性 図 5 平面歪みを与えた Si 結晶の E[Eg]の Sn,C 濃度依 (実線:計算値,点線:ベガード則による計算値) 存性.(実線:計算値,点線:ベガード則による計算値) Ge1-x-ySixSny 系について得られたバンドギャップ の期待値 E[Eg]をベガード則による計算値と比較 したものを図 4 に点線で示す.また,現実の Ge 基 板上膜成長に伴って生じる平面歪みの影響を考慮 して補正した E[Eg]を図中に実線で示す.横軸は Si の含有量を示している.これより,Si の含有量を増 加させると,E[Eg]はわずかに減少した後に上昇す ることがわかる. この系における実験結果が最近報告[4]された. その結果は図中に赤でプロットした 1 つしかない が,本計算で求まった E[Eg]とよく一致している. なお,Ge1-x-ySixSny 系における Eg はベガード則に よる計算値よりも約 0.1 eV 低い.この低下量は C を含まないⅣ族 1:1 混晶系の値に近かった. 図 4 Ge93.75-xSixSn6.25 系の E[Eg] (黒線:計算値,黄線:ベガード則による計算値) Si(001)基板上に薄膜成長させることを想定し, [100]と[010]方向の格子定数を Si の値に固定して [001]方向をフリーとした構造最適化計算を行った. Sn と C を単独で導入した場合と同時に導入した場 合について,E[Eg]の計算結果をベガード則による 計算値と比較したものを図 5 と図 6 に示す. これより,まず,Sn と C を単独で導入すると E[Eg]は減少することがわかる.これに対し,Sn と C を同時に導入すると,この組成範囲で E[Eg]はほ ぼ一定となる.これは,Si 原子よりも小さな C 原 子と大きな Sn 原子を同時に導入することによって, 局所的な歪みが緩和したためと考えられる.Sn と 同時に導入する C 濃度をさらに増加させることに より,バンドギャップが増加する可能性がある. 図 6 平面歪みを与えた Si98.44-xSnxC1.56 系の E[Eg] (黒線:計算値,黄線:ベガード則による計算値) 【結言】 本研究では,第一原理計算法を用いて格子歪み がエネルギーバンド構造に与える影響について計 算した.さらに現実の組成に対応したⅣ族混晶半 導体について,バンドギャップ Eg の計算予測を行 った.主要な結果は以下の通りである. 1. IV 族混晶半導体において C 原子を含む場合, Eg はベガード則による計算値よりも 1 eV 程度 低い値となる. 2. Ge1-x-ySixSny 系において Si の含有量を増加させ ると,E[Eg]はわずかに減少した後に上昇する. また,実験結果は 1 つしかないが,計算値とよ く一致していた. 3. Si1-x-ySnxCy 系において Sn と C を単独で導入す ると E[Eg]は減少するが,Sn と C を同時に導入 すると E[Eg]はほぼ一定となる.Sn と同時に導 入する C 濃度をさらに増加させることにより, Eg が増加する可能性がある. 本研究により,扱える濃度範囲に制限はあるが, 現実の組成に対応したバンドギャップの計算が可 能となった.この計算手法は,太陽電池用Ⅳ族混晶 半導体の材料開発に役立つと考える. 【参考文献】 [1] G.E. Chang et al, IEEE J. Quantum Electron. 46, 1813 (2010). [2] C Stampfl et al., Phys. Rev. B, 63, 155106 (2001). [3] E. Kamiyama et al., PSS (b) 251, 2185 (2014). [4] 中塚理,半導体ネット岡山例会資料集,p.32 (2014).
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