HALBLEITERINDUSTRIE - Precision Polymer Engineering

Innovative Dichtungslösungen für kritische Anwendungen
Hochleistungs-Dichtungslösungen für die
HALBLEITERINDUSTRIE
1042C
SEALING SOLUTIONS
Hochleistungs-Dichtungslösungen
für Halbleiter-, Photovoltaik- und
Flachbildschirm-Anwendungen
Precision Polymer Engineering (PPE) gehört zur Weltspitze in der Elastomertechnologie. Unsere
optimierten Werkstoffe ermöglichen zuverlässig eine erhöhte Effizienz von Produktionsanlagen
und geringere Gesamtkosten in kritischen Halbleiteranwendungen.
Auf der Basis einer über 30-jährigen Erfahrung sind die Konstrukteure und Werkstoffwissenschaftler von PPE
Experten für die Prozesse, die in der Chip-, Solarzellen- und Displayherstellung zum Einsatz kommen. Dieses
Know-How, verbunden mit den außergewöhnlichen Werkstoffen von PPE, schafft für jede Anwendung die
geeignete Lösung.
▶ Neuartige, innovative Werkstoffe
▶ Breites Portfolio von Produkten und kundenspezifischem Konstruktionsservice
▶ Branchenweit beste Lieferzeiten
▶ Support durch Experten vor und nach dem Verkauf
▶ Umfassender Test- und Ausfallanalyse-Service
PPE – Ihr globaler
Dichtungspartner
PPE verfügt weltweit über Direktvertriebsteams und
hat außerdem ein Netzwerk regionaler Distributoren.
Dadurch ist gewährleistet, dass die Produkte und Werkstoffe von PPE
in der Nähe aller größeren Fertigungsstandorte verfügbar sind und
Service und Support der Spitzenklasse nie weit entfernt ist. Zu den
zahlreichen Kunden von PPE gehören die namhaften Unternehmen
der Halbleiterindustrie und verwandter Branchen. Viele der weltweit
führenden OEMs, Fertigungsfirmen und Forschungsinstitute
vertrauen auf PPE als Dichtungspartner.
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Investition und Wachstum
Seit 2010 gehört PPE zur IDEX Corporation, einem großen Fortune-1000-Konzern,
der in zahlreichen spezifischen und wachstumsstarken Märkten tätig ist.
Die Investitionen von IDEX gewährleisten topaktuelle Fertigungs- und Testanlagen bei
PPE, deren Qualität den Bedürfnissen der Halbleiterbranche entspricht.
Wir übertreffen Ihre Erwartungen
Die Experten von PPE verstehen die komplexen Beziehungen zwischen Werkstoffen, Dichtungskonstruktion und den anspruchsvollen
Einsatzbedingungen im Anlagenbau und bei Endanwendern. Bei PPE ist man sich bewusst, dass die Anforderungen von „Mooreschen“ und
verwandten Technologien eine extreme Herausforderung an Dichtungswerkstoffe in den verschiedensten Anwendungsszenarien darstellen.
PPE beliefert die unterschiedlichsten Halbleitermarktsegmente:
▶ Logik und Speicher ▶ Mikrosysteme
▶ HBLED ▶ Leistungselektronik
▶ Photovoltaik ▶ Flachbildschirme
▶ Optoelektronik
Ganz gleich für welche Anwendung: Sie können sicher sein, dass PPE Ihre Erwartungen auch weiterhin übertrifft.
SEALING SOLUTIONS
Innovative Werkstoffe
Seit der Einführung des ersten hochreinen, transparenten
Perfluorelastomers Perlast® im Jahre 1999 ist PPE
führend in der Werkstoffinnovation.
Auf einer Basis solider mehrjähriger Erfahrung erweitert PPE ständig die
Grenzen der Elastomertechnologie und entwickelt die fortschrittlichsten
heute verfügbaren Elastomere.
Es sind Polymere mit unterschiedlichem Fluorgehalt und verschiedenen
Füllstoffsystemen verfügbar, darunter auch ausschließlich organische
und füllstofffreie Produkte.
Werkstofftechnik ist eine Kernkompetenz von PPE, und Innovation ist unser tägliches Brot. In kontinuierlicher Entwicklungsarbeit entstehen
Elastomere, die nicht nur mit den aktuellen Gegebenheiten der Branche Schritt halten, sondern bereits zukünftige Anforderungen vorwegnehmen.
Die Hochleistungs-Produktreihen Perlast® und Kimura® verfügen über unerreichte Eigenschaften wie hohe Reinheit, hervorragende
Plasmabeständigkeit, geringe Durchlässigkeit und ultrageringe Entgasungsraten. Dadurch sind sie prädestiniert für die besonderen
Anforderungen von Wärmebehandlung und Annealing, Plasmapolymerisation oder Atomlagenabscheidung, Plasmaätzen, nasschemischen
oder Plasma-Reinigungssystemen.
Die Vorteile der Verwendung
von PPE-Elastomeren:
▶ Verlängerung geplanter Wartungsintervalle bei Produktionsanlagen
▶ Verringerung des Produktionsausschuss
▶ Verringerung der Partikelfreisetzung
▶ Steigerung der Werkzeugeffizienz
▶ Geringere Gesamtkosten
Prozessentscheidende Technologie von PPE durch innovative Werkstoffe verbunden mit
Expertenwissen.
Fallstudie: Geringere Verbrauchsmaterialkosten durch Perlast® G67P
Durch den Einsatz von Perlast® G67P für kritische Kammerdichtungen in einem HDPCVD-Reaktor (NF3-Reinigung)
konnte das Wartungsintervall von 10k Wafer auf 20k Wafer verlängert werden. Das bisherige FFKM war zu schnell
rissig geworden und hatte große Mengen an Partikeln abgegeben, was die Wafer-Ausbeute beeinträchtigt hatte.
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Ihre Anforderungen sind unsere Vorgabe
Um die höchstmögliche Qualität zu gewährleisten, fertigt PPE Dichtungen für die Halbleiterbranche in seinen
Reinräumen in Großbritannien und den USA.
Durch Einsatz der neuesten High-Tech-Fertigungstechniken und -anlagen werden Hochleistungsdichtungen in dauerhaft hoher Präzision in
äußerst kurzen Lieferzeiten hergestellt.
Die Reinheit der Dichtlungen ist oberstes Gebot für PPE. Alle Teile werden in einem mehrstufigen Prozess gereinigt und verpackt, um jede
Partikelkontamination auszuschließen. Dabei kommen in Ultraschall-Reinigungstanks speziell entwickelte Reiniger und entionisiertes Wasser
sowie Trocknung mit gefilterter Luft zum Einsatz.
Konstruktion und technischer Support
Der umfassende Konstruktionsservice von PPE kann dazu beitragen, die Leistung Ihrer Dichtungsprodukte und -werkstoffe zu maximieren.
Ein Team aus erfahrenen Anwendungstechnikern bietet Beratung zur Konstruktion von Anlagenteilen oder zu Form und Typ der
Dichtung, auf Basis mathematischer Analysen oder der Finite-Elemente-Methode (FEM). Die Produktion von CAD über CAM zum
Werkzeug verläuft vollständig in 3D, ermöglicht das schnelle Erstellen von Prototypen und „Right-first-time“-Ansätzen, mit dem
Ergebnis schneller Lösung kritischer Dichtungsprobleme.
Fallstudie: Höhere Ausbeute mit Perlast® G67P
Eine Dichtung aus weißem FFKM in einem MESC-Flansch bei einem HDP-CVD-System (NF3-Reinigung) führte zu Partikelfreisetzung
und gesunkener Ausbeute aufgrund von Rissbildung in der Dichtung nach 7500 Wafern. Der Werkstoff wurde durch Perlast® G67P
ersetzt, wodurch das Problem der Rissbildung und Partikelfreisetzung gelöst war.
SEALING SOLUTIONS
Produkte
PPE bietet ein umfangreiches Portfolio von Produkten für
die Halbleiterindustrie und verwandte Branchen.
O-Ringe
Zentrierringe
Slit Valve Doors
Nahtlos geformte O-Ringe können in allen
Größen und Mengen von 0,8 mm bis 2,4
m (0,030” bis 96”) Innendurchmesser und
0,8 mm bis 12 mm (0,030” bis 0,470”)
Schnurdurchmesser gefertigt werden, so
dass eine Spezifikation von PPE-O-Ringen
für alle Anwendungen möglich ist. Es sind
metrische und AS-Standardmaße sowie
internationale und kundenspezifische
Nichtstandardmaße verfügbar.
Zentrierringe aus Aluminium oder
Edelstahl können mit jedem PPEElastomer kombiniert werden und sind
in verschiedenen Standardgrößen gemäß
NW, KF und ISO verfügbar.
PPE bietet eine Reihe von Werkstoffen und
Profilen, mit denen die Dichtungsintegrität
und die Standzeit für einvulkanisierte
und lose Dichtungen von Slit Valve Doors
und MONOVAT®-Ventilen erhöht wird.
Diese sind in verschiedenen Größen und
Bauformen für 150-mm-, 200-mm-, 300mm- und 450-mm-Anlagen verfügbar.
Komponenten für das
Wafer-Handling
Nutringe
Kundenspezifische
Formen und
Querschnitte
Endeffektor-Pads von PPE ermöglichen
elektrostatisch ableitende Lösungen
mit geringen Kontaktkräften für das
Wafer-Handling. Elastomere von PPE
gibt es mit geringen und mit hohen
Reibungskoeffizienten, um die WaferHaftkraft flexibel gestalten zu können. Auch
die kundenspezifische Konstruktion von
Endeffektor-Pads ist möglich.
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Nutringe kommen zum Einsatz, wenn bei
geringen Kontaktkräften größere Dichtspalte
zu überbrücken sind und deshalb größere
Verformungen benötigt werden. Eine
typische Anwendung ist die Abdichtung
gegen Quarz mit den dort herrschenden
großen Toleranzen.
Dichtungen können nach kundenspezifischen
Vorgaben konzipiert und gefertigt werden, in
nahezu unendlich vielen Formen, Größen und
Profilen.
Eingetragene Marken:
MONOVAT® – VAT Vacuumventile AG
Tests und Analysen
Mit den modernen Werkstoffprüfzentren in Großbritannien und den USA kann PPE eine Vielzahl von Dienstleistungen
für die Entwicklung, Charakterisierung, Untersuchung und Analyse von Polymerwerkstoffen anbieten.
Mit einem Team hochqualifizierter Polymerwissenschaftler und Chemiker bietet PPE einen umfassenden Beratungsservice für Sie, dazu gehören
Beratung und Unterstützung bei der Werkstoffauswahl, Werkstofftests, Musterprüfungen, Analyse nach Gebrauch, sowie Problemlösung bei
Dichtungsanwendungen.
Zu den möglichen Tests zählen Fehleranalysen, Tests auf chemische Verträglichkeit und
thermomechanische Bewertungen unter Einsatz der folgenden Methoden:
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FTIR (Infrarotspektroskopie) zur Identifikation von Werkstoffen mittels „Fingerabdruck“
DSC (Differenz-Scanning-Kalorimetrie) zur Vorhersage von thermischen Eigenschaften
TGA (thermogravimetrische Analyse) zur Bestimmung der Zusammensetzung
TMA (Thermomechanische Analyse) zur Messung des Wärmeausdehnungskoeffizienten
Nasschemische Analyse zur Beurteilung der Medienkompatibilität
Mechanische Eigenschaften und Wärmealterung von -100 ºC bis +300 ºC
Plasmaexpositionstests in Sauerstoff bis 250 ºC
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Innovative Dichtungslösungen für kritische Anwendungen
Europa, Nahost und Afrika
Precision Polymer Engineering Ltd
Head Office
Greenbank Road
Blackburn BB1 3EA
England
Nord- und Südamerika
Precision Polymer Engineering LLC
1754 Technology Drive
Suite 244
San Jose CA 95110
USA
PPE LLC
4702 North Sam Houston Parkway West
Suite 100
Houston TX 77086
USA
Asiatisch-pazifischer Raum
Precision Polymer Engineering LLC Rm
3502-3504, Zhao Feng Plaza
No. 1027 Chang Ning Road
Shanghai 200050
China
T: +44 1254 295400
F: +44 1254 680182
E: [email protected]
T: +1 408 441 2043
F: +1 408 441 1042
E:[email protected]
T: +1 713 482 0123
F: +1 713 623 2332
E:[email protected]
T: +86 21 5241 5599 - 113
F: +86 21 5241 8339
E:[email protected]
Die besten Perfluorelastomere für Dichtungen,
bei denen es auf Medienbeständigkeit
und Hochtemperaturbeständigkeit ankommt
Außergewöhnliche, voll organische
Elastomerdichtungen mit extremer
Plasmabeständigkeit und Abriebfestigkeit
für die Halbleiterfertigung
Perlast® und Kimura® sind eingetragene Marken von Precision Polymer Engineering.
Ihr PPE-Vertrieb vor Ort
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