【九州省エネキャラバン in 宮崎】 旭化成EMS（株）延岡事業所の省エネ活動紹介 2014年11月25日（火） 旭化成（株）生産技術本部 保全統括部 延岡保全部 石田 俊裕 Confidential 1/18 1. 旭化成EMS（株）延岡事業所の紹介 2. 弊社生産品＝ペリクルについて 3. 旭化成EMS（株）延岡事業所の省エネ活動 4. 省エネ実例紹介 １）クリーンルーム（CR）熱排気再循環 ２）クリーンルーム（CR）冷熱源製造システム高効率化 ３）これまでの省エネ効果 5. 最後に Confidential 2/18 1. 旭化成EMS（株）延岡事業所の紹介 ＜旭化成EMS（株）延岡事業所＞・・・以降、EMS延岡と略記 ・所在地 宮崎県延岡市中川原町5丁目4960番地（JR延岡駅から北へ徒歩10分程度） ・製品 半導体や液晶の製造工程での露光トラブルを防止するための フォトマスク用防塵保護フィルム＝ペリクル：概要を次ページに記載 G10：約1,500×1,700mm （世界最大サイズ） ペリクル外観の代表写真 6インチ品：約120×150mm ペリクル 半導体用ペリクル写真 液晶用ペリクル写真 フォトマスク （LSIや液晶パネルの原版） Confidential 3/18 2. 弊社生産品＝ペリクルについて ＜ペリクルの構造＞ ・ペリクルは金属の枠体（フレーム）に、膜接着剤を介して、光透過性の高いフィルムが 貼られたシンプルな構造である。枠体の、フィルム面とは逆の面にはマスク粘着材が 塗布されており、お客様は弊社からの出荷時につけている保護フィルムを剥がし、 フォトマスクに貼りつけ、使用している。 ペリクルフィルム 枠体（フレーム） 膜接着剤 通気口フィルタ マスク粘着材 フォトマスク ペリクル断面の模式図 （お客様にてフォトマスクにペリクルを貼る） （お客様にてフォトマスクに貼った状態を表した図） Confidential 4/18 2. 弊社生産品＝ペリクルについて ＜ペリクル使用方法＞ 万が一、ペリクルの内側に付着したマイクロメートル（μm）オーダーの異物が パターン上に落下すると、パターン欠陥につながる可能性があるため、 クリーンルーム（以下、CRと略記）で生産している。 5/18 Confidential 2. 弊社生産品＝ペリクルについて ＜異物サイズ概略＞ 1nm 10nm 100nm 液晶パターン回路線幅 最先端の半導体パターン回路線幅 生産工程はCR内であることが必須 Confidential 6/18 2. 弊社生産品＝ペリクルについて ＜CR概要＞ 給気 大気放出 室温：22℃ 湿度：50％ FFU FDC（Fan Dry Coil） ⇒CR内の熱排気を冷却し、CR内循環させる FFU（Fan Filter Unit） ⇒HEPAフィルターを通して、CR内へ清浄空気を導入する。 7/18 Confidential 3. 旭化成EMS（株）延岡事業所の省エネ活動 EMS延岡では、これまでに製品サイズ拡大に伴い、工場増設を行ってきた。 それに伴い、エネルギー使用量も増加し、2009年度のエネルギー（電気及び蒸気） の使用実績から、2010年度より、第１種エネルギー管理指定工場に登録された。 膜面積（生産量）増加 CR増設-2 CR増設-1 Confidential 8/18 3. 旭化成EMS（株）延岡事業所の省エネ活動 生産膜面積が増加しているにも関わらず、エネルギー使用は減少している。 Confidential 9/18 3. 旭化成EMS（株）延岡事業所の省エネ活動 2010年度より、第１種エネルギー管理指定工場に登録され、 5年間で5％のエネルギー原単位削減を目標に省エネに 取り組むこととし、エネルギー原単位削減中期計画を立案した。 ※エネルギー原単位=原油換算エネルギー使用量（kL）/生産膜面積（m2） 以降、原単位と略記 Confidential 10/18 3. 旭化成EMS（株）延岡事業所の省エネ活動 2009年度実績把握 原油換算≒3,200kL/Y⇒第1種エネルギー管理指定工場 電気使用量のうちの64％、蒸気使用量のうちの98％をCR（クリーンルーム）空調などの CR関連固定的要素で使用していた。 →CR関連設備の省エネアイテムを創出し、検討することとした。 Confidential 11/18 3. 旭化成EMS（株）延岡事業所の省エネ活動 ＜CR関連設備省エネ活動の進め方＞ ・アイテム創出（2010年度） CR専門メーカーとの協働で、現状のデータ収集、解析を行った結果から 改善策を創出し、改善にかかる投資費用、改善された場合の予想効果 を算出した。（効果：原単位、使用量、コストなどで定量的に表した。） ・改善スケジュール立案（2010年度） 創出された改善策に投資金額、予想効果、施工難易度、改善時期など から、優先順位を付け、改善スケジュールを立てた。 この際に、具体的な施工時期までに必要なステップや必要な書類などを スケジュールに反映させておくことが重要。 （例．予算化・官庁申請・発注の時期や必要資料など） ・アイテム実行及び効果のレビュー（2011年度以降） Confidential 12/18 3. 旭化成EMS（株）延岡事業所の省エネ活動 冷水及び蒸気弁制御最適化 CR熱排気再循環-1 CR熱排気再循環-1 冷熱源製造システム高効率化 冷熱源製造システム高効率化 CR熱排気再循環-2 Confidential 13/18 ４．省エネ実例紹介 １）CR熱排気再循環 熱排気は全量、大気放出していたが、ほぼ恒温・恒湿で あり、外調機に循環することで蒸気負荷を低減する。 大気放出 FFU CR 外調機 ほぼ恒温・恒湿の空気を外調機へ再循環し、蒸気負荷を減らす。 Confidential 14/18 ４．省エネ実例紹介 ２）CR冷熱源製造システム高効率化 1期工事 冷熱源製造システム（冷凍設備） ⇒CR内の温湿度を一定に保つために冷凍機で冷水を製造し、 外調機及びCR内へ供給する。暖められた水は循環され、冷凍機で 再度冷やされる。 冷凍機の台数制御プログラムを改善し、 冷熱負荷に応じて、1つの系統として 制御できるようにした。 ＜ターボ冷凍機＞ ＜空冷チラー＞ 高負荷で運転する場合は高効率運転可能。 モジュールタイプで小さな負荷変動にも 効率的な対応が可能。 2期工事 15/18 Confidential ・SE-pro. ４．省エネ実例紹介 ⇒生産設備の不稼働部の省エネ ・ヒーター類電源断 ・周辺照明消灯 ３）これまでの省エネ効果 ・給排気効率化 （排気ルート最適化・ファン台数削減で給排気バランス見直し） ・外調機内部コイル凍結防止方法変更 ⇒最低流量確保から外気温連動に変更 計画：20％削減 冷水及び蒸気弁制御最適化 実績：45％削減 ・CR熱排気再循環-1 ・SE-pro． ・外調機内部コイル 凍結防止方法変更 冷熱源製造システム高効率化 目標の20％削減に対し、 40％を超える削減を前倒しで達成 ・CR熱排気再循環-2は中止 ・2014年度に予定したアイテムを 前倒しで実施した。 Confidential 16/18 ５．最後に 2010年度からテーマとして省エネに取り組んだ結果、特に重要なポイントは 以下の2点と考える。 １）エネルギー消費の見える化（状況把握、改善の優先順明確化） プロセスのどこを、どのように改善をしていくか、また、その優先順を どうするかを見極めるためには、現状把握の段階で如何にデータを 分析できる形で集約できるか。⇒「見える化」がポイント。 ２）CR専門メーカーとのプロジェクト体制で進める。 EMS延岡の生産現場はCRであり、その専門メーカーとプロジェクトを 組むことで専門的知見を入れたアイテム立案ができ、また効果予想の 精度が高まる。⇒投資判断にも有効。 このような省エネ活動により、実績として工場増設・生産量アップにも 関わらず、第1種→第2種エネルギー管理指定工場へ登録変更できたことは EMS延岡にとって非常に有意義なことであった。 17/18 Confidential ご清聴ありがとうございました。 18/18 Confidential
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