特徴先進の技術を使い易くントポイノンコンタクトモード装備標準カンチレバを共振周波数で自励発振させ、試料に近づけると、カンチレバー試料に働く引力によって、共振周波数が低周波側へシフトします。このシフト量を一定に保つようにフィードバックを行います。 ● 高分解能ノンコンタクトモード AC モード Si ステップの観察例ノンコンタクトモードでは、AC モードに比べて高分解能で観察されています。カンチレバの発振を常に共振周波数に設定させるために PLL(Phase Locked Loop)を使用します。PLL を使用した FM 検出方式は、JEOL のみが標準搭載しています。 ● ダメージレス DDS ノンコンタクトモード AC モードポリイミド上の n-アルカン膜の観察例ノンコンタクトモードでは、試料表面にダメージを与えることなく観察されています。真空排気ョンオプシ排気の開始は、排気系コントローラのスタートボタンを押すだけの簡単な操作です。真空計はピラニーゲージとペニングゲージの自動切換式で大気圧から高真空領域まで正確に測定できます。真空装置の停止もボタン一つでポンプの停止からリークまで自動的に行いますので面倒なバルブの開閉はありません。大気中観察真空中観察再結晶化ガラスの観察例大気中では、試料表面に吸着した水分により表面形状が正しく観察されていませんが、真空中では表面に吸着した水分が脱離し、ファセットが観察されています。排気コントロールボタン一つで高真空を実現 6 データご提供東京大学光田好孝先生