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AIG イオン化ゲージ & リード
UHV ベイヤード・アルパートイオンゲージヘッド及びフィラメント
AML社製 裸のAIG イオン化ゲージは高感度超高真空ベイヤード・アルパートゲージです。カバーできる真空度範囲は
1x10-3 から 3x10-11 ミリバール領域です。電子衝撃真空法を目的としています。それぞれにガラス圧縮シールを持った
NW 35CFフランジ、を有しています。フィラメントは、クローズドエンドグリッド方式で材質は選択でします。
・フィードスルーピン周りの個々のガラス圧縮シールはセラミックより経済的且つ丈夫です。中央のコレクターピンはフラ
ンジのバルクによって本来電流漏洩に対して防止機能を有しています。
2式のタングステンフィラメントが標準品ですが、トーリア又はイットリアコーティングされたイリジウムオプションがで交換
できるようになっています。
モリブデングリッドは末端封止されていて、軽量且つ頑丈です。その結果高感度が得られます。
コレクターでのX線誘導電子発生電流は機械的な構造と選別により最小限に抑えられる。
コネクターピンは金メッキされており、シースで保護され且つ分極されています。金メッキにより大気側での酸化を防止し、
繰り返されるベーキング後の酸化も防止出来ます。
最高ベーキング温度は 250°C、感度は 窒素で19/ ミリバール、X線でymptote 3x10-11 ミリバール。
感度 , S /ミリバール
推奨操作条件:
エミッション
ガス抜き
H2O
19
N2
19
+0V
+0V
O2
21
CO
19
+200V
+500V
H2
6.2
CO2
27
フィラメント
バイアス
+50V
+0V
He
2.4
Ne
5.4
最大出力
10mA
10mA W,
60mA Ir
Ar
21
CH4
27
コレクター
グリッド
Pa は100で割り算して、トールの場合は1.33を掛けてください。
www.qdj- mcg.com
Arun Microelectronics Limited
AML AIG Issue K
AIGL ゲージヘッド
AIGL は250°C-ベーキング可能なリードです。これはAIG又は同じようなイオンゲージとAMLコントローラを接続するための
リードです。標準長で3m、 6m 及び 9mが用意されています。特別長さもご要望頂けます。
AML社では金メッキコネクターを限定して使用しています。これはベーキング後イオン電流の長期間に於ける測定を続けるた
めの信頼性が重要です。ケーブルは最悪の操作条件にて定格を200℃でのベーキング中に、新しいタングステンフィラメント使
用し、50ワットとしています。この製品はコレクターが 完全にスクリーンに囲まれていて1x1015Ω以下の絶縁で保護されてい
ます。コネクタハウジングはPEEK材で製作されており、ケーブルクランプはアルマイト加工されたアルミ材です。
フィラメントの交換
交換用フィラメントアッセンブリーはタングステン、トリア及びイットリアコーティングされたイリジウムが
用意されています。 組み立てはソケットコンセント内で六角セットねじにて行います。キーと交換用ねじが供給されます。
フィラメントタイプ.
フィラメントの電力はフィラメントの有効寿命内で変化します。これは裸のタングステンに徐々に浸食が起きるのと酸化コーティングが
劣化するのが原因です。一般的にトリアコートされたイリジウムフィラメントは寿命中間でタングステンの1/4の電力しか使いません。
イットリアは同様な特性だが、50℃温度が低いのと通常エミッションにて運転されます。
イットリアはまた、吸着効果が優れていて、従って寿命が長くなります。酸化コートフィラメントは保存中に水分を吸収するので、これを
使用開始時に蒸発させるのに余分の電力が必要です。
フィラメント用電源は冷えたフィラメントの低抵抗へ高電流を供給し、長いケーブルや熱くなったケーブルによる電圧減衰を補う十分な電
圧容量が必要です。40ワット電力限定電源はAIG17Gゲージに対していかなる運転状況(250℃でのベーキングガス抜き中を入れて)
下でも、AIGL9 リードにより12ボルト、4アンペアを供給し続ける容量が必要です。
AML社のBA ゲージコントローラはこれらの要求を満たし、総合的なフィラメント保護も含んでいます。
発注情報:
AIG17G
UHV ベイヤード・アルパートゲージ
2式のタングステンフィラメント
AIG18G
UHV バイヤード・アルパートゲージ
2式のトリアコートイリジウムフィラメント
AIG19G
UHV ベイヤード・アルパートゲージ
2式のイットリアコートイリジウムフィラメント
AIGL3, (6), (9)
3, (6), (9) メートル長, 遮蔽付、
ベーキング可イオンゲージ ケーブル.
FIL17
交換用フィラメントアッセンブリー
2式のタングステン
FIL18
交換用フィラメントアッセンブリー
2式のトリアコート付
FIL19
交換用フィラメントアッセンブリー
2式のイットリアコート付
日本カンタム・デザイン(株)
〒171-0014
東京都豊島区池袋 2-40-13
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TEL:03-5954-8570
FAX: 03-5954-6570
E-Mail: [email protected]
AML pursues a policy of continuous product improvement and reserves the right to make detail
changes to specifications without consultation. Unless otherwise stated all specifications are typical
and at 25º Celsius, after 1 hour operation. E and OE.
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AML AIG Issue K