AIG イオン化ゲージ & リード UHV ベイヤード・アルパートイオンゲージヘッド及びフィラメント AML社製 裸のAIG イオン化ゲージは高感度超高真空ベイヤード･アルパートゲージです。カバーできる真空度範囲 は 1x10-3 から 3x10-11 ミリバール(3x10-9 Pa) 領域です。電子衝撃真空法を目的としています。それぞれにガラス 圧縮シールを持ったNW 35CFフランジ、を有しています。フィラメントは、クローズドエンドグリッド方式で材質 は選択でします。 ・フィードスルーピン周りの個々のガラス圧縮シールはセラミックより経済的且つ丈夫です。中央のコレクターピ ンはフランジのバルクによって本来電流漏洩に対して防止機能を有しています。 2式のタングステンフィラメントが標準品ですが、トリア又はイットリアコーティングされたイリジウムオプション で交換できるようになっています。 モリブデングリッドは末端封止されていて､軽量且つ頑丈です。その結果高感度が得られます コレクターでのＸ線誘導電子発生電流は機械的な構造と選別により最小限に抑えられる。 コネクターピンは金メッキされており、シースで保護され且つ分極されています。金メッキにより大気側での酸化 を防止し、繰り返されるベーキング後の酸化も防止出来ます。 -1 最高ベーキング温度は 250°C、感度は 窒素で19 ミリバール 、Ｘ線では漸近線で 感度 推奨操作条件： エミッション コレクター グリッド フィラメント バイアス 最大出力 ガス抜き 3x10-11 ミリバール。 -1 , S /ミリバール(s millibar ) H2O 19 N2 19 +0V +0V O2 21 CO 19 +200V +500V H2 6.2 CO2 27 +50V +0V He 2.4 Ne 5.4 10mA 10mA W, 60mA Ir Ar 21 CH4 27 Pa は100で割り算して、トールの場合は1.33を掛けてください。 www.arunmicro.com Arun Microelectronics Limited AML AIG Issue K AIGL イオンゲージケーブル AIGL は250°C-ベーキング可能なリードです。これはAIG又は同じようなイオンゲージとＡＭＬコントローラを 接続するためのリードです。標準長で3m、 6m 及び 9mが用意されています。特別長さもご要望頂けます。 ＡＭＬ社では金メッキコネクターを限定して使用しています。これはベーキング後イオン電流の長期間に於ける 測定を続けるための信頼性が重要です。ケーブルは最悪の操作条件にて定格を200℃でのベーキング中に、新しいタン グステンフィラメント使用し、50ワットとしています。この製品はコレクターが 完全にスクリーンに囲まれていて 1x1015Ω以下の絶縁で保護されています。コネクタハウジングはPEEK材で製作されており、ケーブルクランプはアル マイト加工されたアルミ材です。 フィラメントの交換 交換用フィラメントアッセンブリーはタングステン、トリア及びイットリアコーティングされたイリジウムが 用意されています。 組み立てはソケットコンセント内で六角セットねじにて行います。キーと交換用ねじが供給されます。 フィラメントタイプ. フィラメントの電力はフィラメントの有効寿命内で変化します。これは裸のタングステンに徐々に浸食が起きるのと酸化コ ーティングが劣化するのが原因です。一般的にトリアコートされたイリジウムフィラメントは寿命中間でタングステンの1/4 の電力しか使いません。イットリアは同様な特性だが、50℃温度が低いのと通常エミッションにて運転されます。 イットリアはまた、吸着効果が優れていて､従って寿命が長くなります。酸化コートフィラメントは保存中に水分を吸収する ので、これを使用開始時に蒸発させるのに余分の電力が必要です。 フィラメント用電源は冷えたフィラメントの低抵抗へ高電流を供給し、長いケーブルや熱くなったケーブルによる電圧減衰 を補うに十分な電圧容量が必要です。40ワット電力限定電源はAIG17Gゲージに対していかなる運転状況下(250℃でのベーキング ガス抜き中を入れて)でも、AIGL9 リードにより12ボルト、４アンペアを供給し続ける容量が必要です。 AML社のBA ゲージコントローラはこれらの要求を満たし、総合的なフィラメント保護も含んでいます。 発注情報: AIG17G UHV ベイヤード・アルパートゲージ 2式のタングステンフィラメント AIG18G UHV バイヤード・アルパートゲージ 2式のトリアコートイリジウムフィラメント AIG19G UHV ベイヤード･アルパートゲージ 2式のイットリアコートイリジウムフィラメント AIGL3, (6), (9) 3, (6), (9) メートル長, 遮蔽付、 ベーキング可イオンゲージケーブル. FIL17 交換用フィラメントアッセンブリー 2式のタングステン FIL18 交換用フィラメントアッセンブリー 2式のトリアコート付 FIL19 交換用フィラメントアッセンブリー 2式のイットリアコート付 日本カンタム･デザイン株式会社 〒171-0022 東京都豊島区南池袋 1-16-20 ぬかりやビル 6 階 Tel: 03-6781-9536 Fax:03-6871-9537 E-mail: [email protected] URL: http://www.technology-link.jp AML pursues a policy of continuous product improvement and reserves the right to make detail changes to specifications without consultation. Unless otherwise stated all specifications are typical and at 25º Celsius, after 1 hour operation. E and OE. www.arunmicro.com Arun Microelectronics Limited AML AIG Issue K
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