ふりがなひがしぐちたけし氏名：東口武史所属：工学研究科学際先端システム学専攻役職：准教授過去の研究成果・受賞歴 "Quasi-Moseley’s law for strong narrow bandwidth soft x-ray sources containing higher charge-state ions" H. Ohashi, T. Higashiguchi et al., Applied Physics Letters, Vol. 104, p. 234107 (2014) 他第 1 回大阪大学近藤賞 (2007) 他主たる研究専門分野大分類中分類（複数）小分類（複数）レーザー応用短波長 (EUV, X 線) 光源生物・生体細胞顕微鏡固体パルスレーザー水の窓軟 X 線光源 CO2 レーザーリソグラフィー用 EUV 光源パルスパワー電源光源プラズマ診断技術産業界で応用可能性ある商品分野と主な目的 EUV 光源：半導体リソグラフィー露光・検査用波長 13.5 nm の極端紫外 (EUV) 光源，6.X nm BEUV 光源水の窓軟 X 線光源：波長 2.3~4.4 nm の水の窓軟 X 線光源と生物・生体細胞顕微鏡レーザー開発：中赤外 (mid-IR) 波長変換，ファイバーレーザー，CO2 レーザー，超短パルスレーザーパルスパワー電源：短波長光源を実現するためのレーザー電源や放電技術代表的研究例軟 X 線・極端紫外光源の開発パソコンに入っている DRAM と呼ばれる半導体メモリーの回路幅は細線化が進んでおり，波長 13.5 nm の EUV 光源が必要とされている．この EUV 光源によるリソグラフィー装置に必要とされているマスク検査光源の研究を行っている．また，次世代のための 6.X nm の BEUV (Beyond EUV) 光源開発にも着手し，その内容は， 2010 年 12 月に Nature Photonics や各種新聞社にも取り上げられている．さらにこの技術を拡張して，生きたままの生体細胞を観察することができる波長 2.3~4.4 nm の水の窓軟 X 線光源についても研究を開始している．研究施設（写真含む）短パルスレーザーシステム，光パラメトリック増幅器，CO2 レーザー，ファイバーレーザー発振器，X 線分光器，X 線分光反射計，X 線 CCD カメラ，EUV エネルギーメータ−，SPIDER，オートコリレーターなどを有している．ｚＴＥＬ軟 X 線顕微鏡 028-689-6087 Ｅ－ＭＡＩＬ [email protected] EUV Chamber 1 ＦＡＸ ■ レーザー生成プラズマ極端紫外光源 (6.X nm 光源) [キヤノン財団，国際共同研究，本学個性化 PJ 他] 2014 年に導入されようとしている波長 13.5 nm 光源による EUV リソグラフィーの次世代，6.X nm 光源の研究を開始．放射スペクトルや変換効率などを観測してきた．現在は，光源の高効率化を研究している．研究成果は APL に掲載され，nature photonics や各種新聞にも紹介された．放射スペクトルの計算例 BEUV 放射スペクトルの観測例 nature photonics に紹介された (2010 年 12 月) 放電生成プラズマ EUV 光源各種新聞に掲載された (2011 年 2 月) ■ 生きたままの細胞を観察するための水の窓軟 X 線光源の開発 [特別研究経費, 東電記念財団, 科研費他] 0.05 0.04 0.03 0.02 0.01 0 1500 6 1000 Te (eV) (a) 500 0.8 0.16 400 4 0.6 0.12 1 300 2 0.4 0.08 200 0.2 0.04 100 4 2 500 0 Wavelength (nm) 放射スペクトルの計算例 Figure 2: Takeshi Higashiguchi et al. 1.0 0.20 3 0 1 2 3 4 5 0 6 Intensity (arb. units) Experimental result 700 eV 190 eV 600 Intensity (arb. units) Relative intensity (a.u.) 半導体リソグラフィー露光用光源研究を拡張し，高輝度の水の窓軟 X 線光源とレーザーを開発している． 0 Wavelength (nm) スペクトルの測定と分析例顕微鏡方式の提案 ■ 表面分析用コンパクト放電光源，プラズマ光ガイド・プラズマフォトニクスデバイス [OPT PJ1] 半導体やナノテクノロジー用薄膜材料の表面分析のためのコンパクトな真空紫外光源を開発．同じコンセプトで超短パルスレーザー用光ガイド（光導波路）とその診断技術を開発．コンパクトな 30 eV 真空紫外光源 2 プラズマ光ガイド光ガイドの挙動解析