自動ステージ
原点復帰方法
を行います。
CCWLS
CWLS
a点
<近接原点検出行程>
■推奨原点復帰方法
センサ
1
2
3
4
【タイプ2】CW方向に検出を行い、
はじめにNORG信号のCCW側エッジ
(a点)
の検出行程を行い、
次にORG信号のCW側エッジ
(b点)
の検出行程
ステージ型式
原点復帰タイプ
3,4,9,10
5,6,11,12
3,4,9,10
1,2,7,8
KRW04/06,KRE
KXL,KRB,KRB04/06
KXG,PG*,KXC,KS101,KX*07/08/10/12,KH*,KS332*,KGB*,KG05/07,KS402,KGW,KXT,KHE
KXS,KS102
NORG
F速度
L速度
開始位置2
SD
L速度
開始位置1
■原点復帰タイプ一覧表
XY
Z
水平面Z
XYZ
ゴニオ
回転
ユニット
制御機器
※
F速度
L速度
(*)
マークは4センサ搭載ステージです。4センサで使う場合は
「ケーブルなし」
を選択し、4センサ対応ケーブルを別途ご購入ください。
X
制御機器
制御機器
当 社の自動ステージは型 式によってセンサの仕 様が異なります。そのため原 点 復 帰 方 法もいくつかのタイプに分かれ、 使 用する
ステージの型式に合わせて復帰タイプを正しく選ぶ必要があります。間違ったタイプを選択すると正しい原点復帰が行われません。
下記の「推奨原点復帰方法」
に従ってご使用になるステージ型式にあった原点復帰タイプをお選びください。
X
※
開始位置3
F速度
XY
L速度
SD
L速度
タイプ
タイプ0
動作
原点復帰を行いません。
タイプ1
CCW方向に検出を行い、
はじめにNORG信号のCW側エッジの検出行程を行い、次にORG信号のCCW側エッジの検出行程を行います。
タイプ2
CW方向に検出を行い、
はじめにNORG信号のCCW側エッジの検出行程を行い、次にORG信号のCW側エッジの検出行程を行います。
タイプ3
CCW方向に検出を行い、ORG信号のCCW側エッジの検出行程を行います。
タイプ4
CW方向に検出を行い、ORG信号のCW側エッジの検出行程を行います。
タイプ5
CCW方向に検出を行い、CCWLS信号のCW側エッジの検出行程を行います。
タイプ6
CW方向に検出を行い、CWLS信号のCCW側エッジの検出行程を行います。
タイプ7
タイプ1実行後、TIMING信号のCCW側エッジの検出行程を行います。
タイプ8
タイプ2実行後、TIMING信号のCW側エッジの検出行程を行います。
タイプ9
タイプ3実行後、TIMING信号のCCW側エッジの検出行程を行います。
タイプ10
タイプ4実行後、TIMING信号のCW側エッジの検出行程を行います。
タイプ11
タイプ5実行後、TIMING信号のCCW側エッジの検出行程を行います。
タイプ12
タイプ6実行後、TIMING信号のCW側エッジの検出行程を行います。
LD
※実線は急停止設定時、
点線は減速停止設定時
の場合を表します。
F速度
L速度
SD
L速度
Z
水平面Z
開始位置4
開始位置5
XYZ
b点
<原点検出行程>
ゴニオ
ORG
SD
(a点検出時
センサOFF)
L速度
回転
L速度
ユニット
JD
JOG
b点
ORG
(a点検出時
センサON)
制御機器
SD
L速度
JD
JOG
原点復帰シーケンスは、下記のようになっています。
【タイプ0】原点復帰を行いません。
【タイプ3】CCW方向に検出を行い、ORG信号のCCW側エッジ
(a点)
の検出行程を行います。
【タイプ1】CCW方向に検出を行い、はじめにNORG信号のCW側エッジ
(a点)
の検出行程を行い、次にORG信号のCCW側
(b点)
の検出行程を行
います。
CCWLS
CWLS
a点
<近接原点検出行程>
NORG
<原点検出行程>
F速度
※
※
L速度
開始位置1
F速度
L速度
開始位置2
L速度
SD
L速度
開始位置1
開始位置2
SD
L速度
F速度
L速度
開始位置3
F速度
L速度
SD
L速度
※実線は急停止設定時、
点線は減速停止設定時
の場合を表します。
開始位置5
CWLS
a点
ORG
SD
LD
CCWLS
F速度
L速度
SD
L速度
開始位置4
JD
JOG
※
F速度
L速度
LD
b点
<原点検出行程>
ORG
(a点検出時
センサOFF)
SD
※
開始位置3
F速度
L速度
SD
L速度
※実線は急停止設定時、
点線は減速停止設定時
の場合を表します。
L速度
JD
JOG
L速度
JD
F速度
JOG
b点
ORG
(a点検出時
センサON)
193
SD
L速度
SD
L速度
JD
JD
1
L速度
開始位置4
JOG
JOG
1
194