デジタルマスフローコントローラ マルチ ガス マルチ レンジ Digital Mass Flow Controller DF-200 SERIES DF-200 シリーズは､精度 ±1%R.D.、応答性 1 秒 以内 ( 全領域 ) を実現した、高性能のデジタルマスフ ローコントローラです。 The DF-200 series are high-performance digital mass flow controllers featuring an accuracy of ±1% R.D. and response within1 sec. NEW また、基準ガスを含めた 7 種類のガス種とその流量 レンジを簡単な操作で変更できる、マルチガス・マル チレンジに対応しており、優れた汎用性を持った製品 となっています。 This versatile product supports multi-gas and multi-range, allowing seven types of gas to be changed, including reference gas and their respective flow range, by a simple operation. □高精度 ( 1%R.D.), 高速応答 ( 全領域 1 秒以内 )※ High accuracy (±1%R.D.), high response (within 1sec.) □マルチガス・マルチレンジに対応 Multi-gas and multi-range supported □通信機能を標準装備（RS485） Equipped with communication function（RS485）as standard □RoHS・CE 規格対応 RoHS,CE Standard compliant. ※50SLM まで ■標準仕様 Standard Specifications 項目 Parameter DF-200（マルチレンジ・マルチガス） センサー方式 Sensor マルチガス：N（Air， H2,He,Ar,O2,CO2) 2 流量レンジ Flow range マルチレンジ :10/30/50/100/300/500SCCM 1/3/5SLM 応答性 Response 精度 Accuracy 再現性 Repeatability 動作差圧 Operating differential pressure N2，Air，H2，He，Ar，O2，CO2 等 （記載のないガスは、N2 換算校正） 10SCCM ∼10SLM 20 ∼ 50SLM （CO2:20 ∼ 30SLM） 全流量制御範囲 1 秒以内 Total flow rate control range:within 1sec 5 ∼ 100％（F.S.) 全流量制御範囲 1 秒以内 Total flow rate control range:within 1sec 1.0％R.D.（>35％F.S.） 0.35％F.S(≦35％F.S.) 1.5 秒以内（10％以下 3 秒） within 1.5sec Less than 10%: 3sec 1.0％F.S. 0.25％F.S. 50 ∼ 300kPa (Ar,CO2:100 ∼ 300kPa) 100 ∼300kPa (Ar，CO2:150 ∼300kPa) 500kPa 耐圧 Proof pressure 980kPa 1.0 10-8Pa・m3/sec（He) 以下 150 ∼ 350kPa 温度 精度保証温度 Accuracy-guaranteed Temperature temperature 15 ∼ 35℃ 許容保存温度 Allowable storage temperature -10 ∼ 60℃ 許容動作湿度 Allowable operating humidity 接ガス部材質 Wetted materials 10 ∼ 90％RH（ただし結露しないこと） (non condensing) SUS316，SUS316L，磁性ステンレス，Ni，PTFE，PCTFE，フッ素ゴム SUS316，SUS316L，magnetic stainless steel，Ni，PTFE，PCTFE，fluoro rubber 電気接続 Electric connection Dsub9 ピンオス KFC Standard（SEMI standard 準拠）、RJ-45 モジュラージャック 2 Dsub9-pin male,KFC Standard (compliant with SEMI standard) RJ-45Modular jack×2 流量設定信号 Flow rate setting signal 0 ∼ 5VDC（入力インピーダンス 1MΩ以上 ) 0 to 5VDC(input impedance:1MΩor more） 流量出力信号 Flow rate output signal 0 ∼ 5VDC（最小負荷抵抗 10kΩ以上 ) 0 to 5VDC(minimum load resistance:10kΩor more） デジタル通信 Digital communication 所要電源 (DC) Required power supply 1.0 10-7Pa・m3/sec（He) 以下 DF-250 5 ∼ 50℃ 100，150SLM 2 ∼ 100％（F.S.) 入口最大圧 Maximum inlet pressure 外部リークレート External leak rate N2，Air DF-200（マルチレンジ・マルチガス） 使用温度 Operating temperature 熱式巻線センサー Thermal mass flow sensor 対象ガス Applicable gases 制御範囲 Control range 項目 Parameter DF-250 継手形状 Joint RS485 ロータリースイッチによるアドレス設定：最大 99 台 RS485 Address setting via rotary switch:Up to 99 units +15V 5％:150mA -15V 5％:150mA 1/4F900（標準），1/4UJR，Rc1/4 等 1/2F900( 標準） 1/4F900(standard)，1/4UJR，Rc1/4，etc 1/2F900(standard) 取り付け姿勢 水平方向推奨 Mounting position 重量 Weight +15V 5％:150mA -15V 5％:250mA Horizontal recommended 約 900ｇ Approx.900g 約 1200ｇ Approx.1200g 約 2400ｇ Approx.2400g
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