手動ステージ
オプション対応/SSステージ・クロスローラガイドステージ共通
■送り方式
目的に応じて様々な仕様が選択可能です
目的に応じた様々な送り方式を選択可能
最小読取
0.5μm
取付スペース・取付姿勢・操作方法などの条件に対応
センター押し
左右勝手違い
粗微動マイクロメータ
・高分解能で微細な位置決めに
（最小読取0.5μm）
より微細な位置決めをしたい
標準マイクロメータ
標準ステージ
価格＋￥34,000/1軸
簡単読取
1μm
上下勝手違い
デジマチックマイクロメータ
・送り量デジタル表示により
正確な読取りを簡単に
（最小表示1μm）
価格＋￥25,000/1軸
■送り方式
コストダウン
ねじピッチ変更
BSS16-60C
誤操作の防止
省スペース化
より微細な位置決め
最小目盛0.5μm
デジタル表示で読取り簡単
最小表示1μm
送りねじつまみ操作
・ピッチ0.5ｍｍ
・最小読取10μm
送りねじ
六角レンチ操作
■クランプ方式
■グリース
粗微動マイクロメータ
ＳＳステージのみ対応
保持力の向上
ディスククランプ
対向クランプ
更に
誤操作防止
省スペース
■クランプ方式
目的に応じてクランプ方式を選択可能
※イラストはイメージです
真空環境用グリース
●ディスククランプ
●標準クランプ
ステージ面
樹脂リング
取付スペース・取付姿勢・操作方向などの条件に合わせて選択可能
A
AR
サイド押し
C
CR
左右勝手違い
左右勝手違い
上下勝手違い
AZ
上下勝手違い
AZR
上下勝手違い
上下勝手違い
CZ
センター押しAタイプ
左右勝手違い
左右勝手違い
●センター／サイド押し
マイクロメータや送りねじなどの送り方式ごとに
センター押し
（Aタイプ）
、
サイド押し
（Cタイプ）
が
あります。
●左右勝手違い（Rタイプ）
装置により送り位置を変更したり左右対称の
装置を構築する場合など線対称な構成が選択
できます。
マイクロメータで荷重
を受けられるため、
ステージ面が
下がります。
下がりません。
NG
送り位置
■グリース
●グリース交換コード表
末尾コード
対応機種
グリース名称
交換箇所
グリース型式/メーカー
使用可能温度範囲
価格
センター
サイド
取付姿勢
イメージ
価格/1軸
009
OK
縦使い可能な取付姿勢
コード
2
クランプノブを締め、樹脂リングにて
クランププレートをステージの側面に
押し当て固定します。
マイクロメータを上向きになるよう設置しても、
マイクロメータ側で荷重を
受けられるため、
ステージ面が下がりません。
（上記説明図参照）
上下勝手
●対向クランプ
センター押しAZタイプ
マイクロメータで
荷重を受けられず、
ステージ面が
CZR
上下通常
上下勝手違い
上下通常
上下勝手違い
A
B
AZ
BZ
C
D
CZ
DZ
AR
BR
AZR
BZR
CR
DR
CZR
DZR
＋¥0
＋¥34,000
＋¥0
＋¥34,000
＋¥0
＋¥34,000
＋¥0
＋¥34,000
はＳＳステージのみ対応
ディスク
クランププレート
標準との差額＋￥7,000/1軸
ステージ側面に固定されたディスクを
クランプノブで固定します。
固定時の
ズレを軽減
クランプノブ
●上下勝手違い（Zタイプ）
センター押し
P.2-177∼
SSステージのみ対応
ご使用環境に応じてご選択いただけます
※軸やオプションどうしの組合せにより、選択できない場合がございます。
送り位置と型式紹介
送りねじ六角レンチ操作
・誤操作の防止に
・つまみが無く省スペース
・装置組込に最適
・送りピッチ選択可能（0.25∼0.5mm）
価格ー￥3,000∼ー￥4,000
各送り部品の詳細は
ＳＳステージのみ対応
クリーン環境用グリース
■送り位置
・送りピッチ選択可能（0.25∼1.0mm）
・精密送りから頻繁な退避・近接まで
・読取り不要な用途に
価格ー￥3,000∼ー￥3,600
・コストダウンしたい
・送りピッチを変更したい
デジマチックマイクロメータ
固定時のズレ軽減
ガイダンス
ガイダンス
■送り位置／勝手違い
ステージ本体への負荷を軽減し、
固定時のズレを軽減します。
標準との差額＋￥3,000/1軸
マイクロメータの反対方向からボルトで
押さえます。
保持力向上
更にナットで緩み止めを行うため、
保持力が向上します。
ボルトナット
環境・目的に合わせてグリースを選択可能
−J
SSステージ
SSステージのみ対応
−L
クリーン環境用グリース
真空向けグリース
標準マイクロメータヘッド本体
（又は送りねじ）
のみ※ 標準マイクロメータヘッド本体（又は送りねじ）
・ガイド及び摺動部
AFF/THK
（株）
フォンブリン/ソルベイスペシャルティポリマーズジャパン
（株）
−40∼120℃
−20∼250℃
＋￥2,000/1軸
＋￥12,000/1軸
SSステージは、
マイクロメータ部以外、
クリーン環境用グリース
（AFF）
が塗布されております。
よって、
「−Ｊ」への仕様変更は、
マイクロメータ部のみの交換となります。
粗微動マイクロメータ、
デジマチックマイクロメータ選択時は対応不可です。
2
010

Download Report