DWR1722

Deionized Water Recycling Unit
DWR1722
省エネ・節水を極めた超小型純水リサイクル装置
多機能・超小型純水リサイクル装置
DWR1722は「純水製造」、「水温調整」、「ろ過」、「切削屑等の浮遊物質廃
棄」の機能を併せ持つダイシングソー用純水リサイクル装置です。独自開
発の小型・高性能なろ過フィルタ「CC Filter」の採用により、省フットプリント
を実現しました。
高い環境性能を実現
従来の純水リサイクル装置を大きく上回る高いリサイクル率(99.5% 切削
排水ゼロ)を実現し、市水使用量を大幅に削減できます。
室温変化の小さいクリーンルームに設置可能なため水温変動が抑えられ
ます。さらに、高リサイクル率で追加水量が少ないため、従来と較べて水温
調整に必要な電力を大幅に削減しました。
効率的な設備導入が可能
従来の大型純水リサイクル設備と異なり、ダイシングソーの保有台数に合
わせて効率的に導入できます。またダイシングソーの隣に設置するため、
従来必要だった純水供給・廃水回収用の配管工事が不要です。
DWR1722ではROユニット等をオプションとし標準仕様をシンプル化。必要な
機能を選択することで、お客様に最適な装置仕様をご提案できます。
DWR1722
DWR1722
※ 定温水供給にはチラーユニット冷却のための水が別途必要です。
※ DWR1722はデュアルスピンドルダイシングソー2台、シングルスピンドルダイシ
ングソー4台まで対応します。
※ 市水から純水製造する場合は、RO膜ユニット(オプション)が必要です。
Deionized Water Recycling Unit
DWR1722
簡易メンテナンス
CC Filterやイオン交換樹脂など消耗品の交換は、カプラーによるワンタッチ接続を
採用することでメンテナンス時間を短縮しました。
高性能・使い捨て型フィルタモジュールCC Filter
CC Filterは高いろ過性能とロングライフを両立した、ディスコオリジナルのフィルタで
す。CC Filterでろ過された浮遊物質はフィルタごと簡単に廃棄できます。
CC Filter
イージーオペレーション
DWR1722は、ダイシングソーと通信によって連動可能です。
オペレータ負担やヒューマンエラー等を低減します。(オプション)
仕様
仕様
処理後の比抵抗値
送水能力
供給水
切削水
TOC管理
処理後のパーティクル数
(0.2μm以上の粒子)
温度設定範囲
送水能力
スピンドル
冷却能力
冷却水
温度設定範囲
装置本体寸法(WxDxH)
諸元
装置質量
単位
MΩ・cm
L/min
‐
‐
DWR1722
12以上
25
市水または純水
UV酸化によるTOC
低減ユニット内蔵
個/mL
100以下
℃
L/min
W
℃
mm
kg
20~25
10
900
20~25
450×1600×1655
460
■ご使用条件
• 大気圧露点-15 ℃以下、残留油分0.1 ppm、ろ過度0.01 μm/99.5 %以上のクリーンな空気を使用してください。
• 機械設備位置の室温は設定値(20 ℃〜25 ℃)に対し、変動幅±1 ℃以内に管理してください。
• その他、衝撃及び有感振動などの外部振動を避けてください。また、ファン、換気口、高熱発生装置、オイルミスト発生部等の近くに設置しないでください。
• 本装置は、水を使用します。万一の漏水に備え、床面の防水処理および、排水処理がされた場所に設置してください。
※ 本仕様は、改良のためお断りなく変更させていただくことがありますので、ご確認の上、ご発注ください。
※ 圧力は全てゲージ圧で表記しています。
※ 本機に関するアプリケーション等は弊社営業までお問い合せください。
www.disco.co.jp
2014.11