Water-Sludge Separator DWS1820 研削廃水から高純度シリコンスラッジを分離・回収シリコンスラッジを低コストで回収半導体製造におけるウェーハ裏面研削（グラインディング）工程の廃水から水とシリコンスラッジ（水分を含んだシリコン粉）を分離・回収する独自のフィルターレス技術を開発。フィルターレスのため、大量のフィルターを要する既存システムと比較し低コストを実現します。大幅な小型化を実現 0.79 ㎡の省スペース設計により、フットプリントを既存システムの約1/8※に削減可能。既存システム（処理流量10 m³/hの場合）とDWS1820 6台（同一能力に相当）の比較時 ※ 純水リサイクル装置「DWRシリーズ」との組み合わせで、グラインダ廃水の純水リサイクルが可能従来、大量のシリコンスラッジがあるためにDWRシリーズだけでは困難であったグラインダ廃水の純水リサイクルが、DWS1820との組み合わせにより可能になりました。 DWS1820 グラインダ Grinder 純度： 99%以上含水率： 20%未満ウォータースラッジセパレータ Water-Sludge Separator シリコンスラッジ純水研削廃水分離ろ過水排水処理設備へ DWRシリーズ純水リサイクル DWRシリーズとの組み合わせによるグラインダ廃水の純水リサイクル仕様流量排水処理能力シリコン分離能力含水率装置寸法(W x D x H) 諸元装置質量 L/min ｗ% ｗ% mm kg ＜30 ≧99 ＜20 600 x 1,165 x 1,800 620(乾燥時) ■ご使用条件 • 大気圧露点-15 ℃以下、残留油分0.1 ppm、ろ過度0.01 μm/99.5 ％以上のクリーンな空気を使用してください。 • 機械設備位置の室温は設定値（20 ℃〜25 ℃）に対し、変動幅±1 ℃以内に管理してください。 • その他、衝撃及び有感振動などの外部振動を避けてください。また、ファン、換気口、高熱発生装置、オイルミスト発生部等の近くに設置しないでください。 • 本装置は、水を使用します。万一の漏水に備え、床面の防水処理および、排水処理がされた場所に設置してください。 ※ 本仕様は、改良のためお断りなく変更させていただくことがありますので、ご確認の上、ご発注ください。 ※ 本機に関するアプリケーション等は弊社営業までお問い合せください。 2014.11