お客様各位件名 A-210M-LD／220M-LD／ 221M-LD／230M-LD ヘリウムリ－クディテクタ更新のお願い文書番号 Ve1301_9205-00323 発行日２０１４年２月 4 日キヤノンアネルバ株式会社ＦＳ販売部コンポーネント販売課拝啓貴社益々ご隆昌の事とお慶び申し上げます。又平素は格別のご愛顧を賜り、厚く御礼申し上げます。さて、A-220M-LD ヘリウムリークディテクタにて、筐体内部の部品が焼損する不具合が発生しております。これは、長期間の使用に伴い電線接続端子のネジが緩み端子が焼損したものです。今後も引き続きご使用される場合、経年変化による部品劣化やねじの緩み等による不具合が発生する可能性が高まります。現行機種への買い替えによる更新をお勧め致します。なお、対象機種である｢A-210M-LD／220M-LD／221M-LD／A-230M-LD へリウムリ－クディテクタ」は２０１３年８月に保守終了と後継機種へ移行のご案内をさせて頂いております。（A-230M-LD は２０１６年保守終了予定）ヘリウムリ－クディテクタのご使用中に、異常な振動や異臭を感じたり、主ブレーカーがトリップする様な現象が発生した場合には、直ちにご使用を中止して頂き、弊社サービスにご連絡をお願いいたします。弊社では、今後とも製品の信頼性向上に努めていく所存で御座いますので、変わらぬ御愛顧のほどお願い申し上げます。敬具対応する項目を■印で選択対象製品処置内容 A-210M-LD／220M-LD／221M-LD／230M-LD ヘリウムリ－クディテクタ現行機種（M-212LD／222LD／222LD-D／232LD）への買い替えをお勧めします。価格・納期ヘリウムリ－クディテクタの買い替えについては、作業時間お近くの営業拠点またはサービス拠点へご連絡ください。ｽｹｼﾞｭ-ﾙ特になし □詳細別紙 □詳細別紙 □詳細別紙 □詳細別紙現行機種（M-212LD／222LD／222LD-D／232LD）との新旧機種の対照は、備考別紙をご参照ください。 ■詳細別紙レポート区分：□製品品質① / □製品品質② / ■製品品質③ ご不明な点は、以下のＵＲＬよりお近くの営業拠点またはサービス拠点へご連絡ください。 http://www.canon-anelva.co.jp/contacts/index.html CANON ANELVA CORPORATION PROPRIETARY & CONFIDENTIAL FOR CUSTOMER VACUUM COMPONENTS PRODUCT INFORMATION Ve１２０２９２０５－００９０９ A-210M-LD/220M-LD/221M-LD ヘリウムリ－クディテクタ保守対応のお知らせおよび後継機種のご案内ご愛顧いただいております｢ A-210M-LD／220M-LD／221M-LD へリウムリ－クディテクタ」の保守対応について、お知らせ致します。本シリ－ズはすでにモデルチェンジによる生産終了後、すでに保守期限の 7 年以上を経過しております。つきましては、本ご案内をもって保守終了とさせていただきます。今後も可能な内容は保守対応を継続させていただく所存でございます。また、現行機種として「M-212LD／222LD／222LD-D」を製造・販売しておりますので、是非ご検討いただけますよう宜しくお願い致します。 A-210M-LD A-220M-LD A-221M-LD 該当機種（旧製品）＜対象機種＞ A－２１０Ｍ－ＬＤ、Ａ－２２０Ｍ－ＬＤ､Ａ－２２１Ｍ－ＬＤ＊いずれも生産・販売を終了しております。＜今後の保守・修理対応について＞対象品の保守サービスにつきましては、個別にご相談ください。＜後継機種＞Ｍ－２１２ＬＤ､Ｍ－２２２ＬＤ､Ｍ－２２２ＬＤ－Ｄ＜対照表＞タイプポ－タブルハイパワ－ハイパワ－ドライ粗引きポンプ別置タイプ該当機種（旧製品）Ａ－２１０Ｍ－ＬＤＡ－２２０Ｍ－ＬＤＡ－２２１Ｍ－ＬＤＡ－２００Ｍ－ＬＤ後継機種（現行品）Ｍ－２１２ＬＤＭ－２２２ＬＤＭ－２２２ＬＤ－Ｄ－備考 Ve１２０２９２０５－００９０９＜後継機種のご案内＞ M-212LD M222LD M-222LD-D ヘリウムリ－クディテクタ（現行機）仕様一覧Ｍ-２１２ＬＤ（-Ｈ） ※ １型　名バージョン定量測定範囲　（Ｐａ・ｍ３ /ｓ）インレットポート排気速度（He) Ｍ- ２２２ＬＤ（-Ｈ） ※ １Ｍ-２２２ＬＤ-Ｄ（ -Ｈ） ※ １ハイパワードライコンパクトハイパワー１０－１２～１０－３１０－１２～１０－３－１３－１３（-Ｈ：１０～１０－３）（-Ｈ：１０～１０－３１０－１２～１０－３（-Ｈ：１０－１３～１０－３））０.５（ Gross Mode）１.８（Gross Mode）２.０（Gross Mode）２.０（Middle Mode）２.０（Middle Mode）２.０（Middle Mo de）（５.０（ - H： Fin e Mo de ））（５.０（ - H： Fin e M ode ））（５.０（ - H： Fi n e M o de ））ＮＷ２５（ＩＳＯ）ＮＷ２５（ＩＳＯ）ＮＷ２５（ＩＳＯ）（L/s) インレットポート形状ターボ分子ポンプ　５０Ｌ/ｓメインポンプあら引きポンプ油回転ポンプ１４２Ｌ /min ※ ２油回転ポンプ３０Ｌ/ min ＲＳ２３２Ｃ外部インタフェースＡｎａｌｏｇ出力（２点）・標準Ｉ／Ｏカラー液晶表示器スニファプローブ　(オプション）所要電力スクロールドライポンプ２５０Ｌ /min ※３ 9 81-937 1型 981-93 70型ＡＣ１００Ｖ８Ａ外形寸法（Ｗ×Ｈ ×Ｄ）（ｍｍ）質　量　（ｋｇ）　AC 100Ｖ- 115Ｖ, 15Ａ AC 100Ｖ-115Ｖ, 10Ａ４３５×４８７×３６３４６２×８６７×７１５４２７５ ※１：（－Ｈ）は高感度仕様の機器です。　※２：オプションにて最大２７５Ｌ/min のＲＰに変更可能です。 ※３：ご注文時のご指定により、115V、200V、23 0Vの電圧対応をいたします。東日本エリア〒215-8550 神奈川県川崎市麻生区栗木2-5-1 ・エレクトロンデバイス製造装置・半導体製造装置および研究開発・小規模生産装置・パネルデバイス製造装置・真空コンポーネント西日本エリア〒564-0044 大阪府吹田市南金田 1-4-33 ・各種装置関係・真空コンポーネント TEL TEL TEL TEL TEL 06-6821-9701 TEL 06-6821-9708 044-980-5155 044-980-5132 044-980-5131 044-980-3503 FAX FAX FAX FAX 044-986-4236 044-986-4236 044-986-4236 044-986-4236 FAX 06-6821-9702 FAX 06-6821-9702 九州エリア〒862-0924 熊本県熊本市帯山3-3-10 キヤノンMJ ※ 輸出に関する注意事項：本カタログに掲載しています製品を日本国外に輸出する際は外国為替及び外国貿易法の規程に基づく判定が必要となりますので、弊社営業部門に必ずお問合せください。性能向上等のため予告なく仕様を変更することがあります。 ※ TEL 096-385-3111 FAX 096-385-3061 http://www.canon-anelva.co.jp/ FOR CUSTOMER VACUUM COMPONENTS PRODUCT INFORMATION Ve１２０２９２０５－００９１９ A-230M-LD ヘリウムリ－クディテクタ保守対応のお知らせおよび後継機種のご案内ご愛顧いただいております｢ A-230M-LD へリウムリ－クディテクタ」の保守対応について、お知らせ致します。本ヘリウムリークディテクタは、2009 年に生産終了いたしました。保守対応期限は 7 年間を予定しております。しかしながら、今般搭載しているターボ分子ポンプ「TG50 本体と TC61-02 パワーサプライ」（以下ターボポンプ）の保守対応が困難な状況となってきております。今後も可能な内容は保守対応を継続してまいりますが、ターボポンプに関連する修理につきましては、十分な対応が出来ない場合がございます事を予めご理解いただきたくお願い申し上げます。また、現行機種として「M-232LD」を製造・販売しておりますので、是非ご検討いただけますよう宜しくお願い致します。 A-230M-LD （旧製品）＜対象機種＞Ａ－２３０Ｍ－ＬＤ＊生産・販売を終了しております。＜今後の保守・修理対応について＞対象品の保守サービスにつきましては、２０１６年迄継続いたしますが、上記の通りターボポンプが修理出来ない場合もございますので、予めご了承いただき、個別にご相談ください。＜後継機種＞Ｍ－２３２ＬＤ＜対照表＞タイプスニファ－専用該当機種（旧製品）Ａ－２３０Ｍ－ＬＤ後継機種（現行品）Ｍ－２３２ＬＤ備考 Ve１２０２９２０５－００９１９＜後継機種のご案内＞ M-232M-LD ヘリウムリ－クディテクタ（現行機）仕様一覧型　名Ｍ-２３２ＬＤバージョンスニファ－８インレットポート排気速度（He) 3 ０.３Pa・ｍ /ｓ－インレットポート形状ターボ分子ポンプ　５０Ｌ/ｓメインポンプ油回転ポンプ３０Ｌ/min ＋ダイヤフラムポンプあら引きポンプＲＳ２３２ＣＡｎａｌｏｇ出力（２点）・標準Ｉ／Ｏ外部インタフェースカラー液晶表示器スニファプローブ　(オプション）所要電力－１１０～１０－２５（１０～１０ｐｐｍ）プローブ吸引速度３定量測定範囲　（Ｐａ・ｍ /ｓ）標準 ※１ＡＣ１００Ｖ８Ａ外形寸法（Ｗ ×Ｈ×Ｄ）（ｍｍ） 435×487× 363 質量　（ｋｇ）　４２ ※１：ご注文時のご指定により、115V、200V、230Vの電圧対応をいたします。東日本エリア〒215-8550 神奈川県川崎市麻生区栗木2-5-1 ・エレクトロンデバイス製造装置・半導体製造装置および研究開発・小規模生産装置・パネルデバイス製造装置・真空コンポーネント西日本エリア〒564-0044 大阪府吹田市南金田 1-4-33 ・各種装置関係・真空コンポーネント TEL TEL TEL TEL TEL 06-6821-9701 TEL 06-6821-9708 044-980-5155 044-980-5132 044-980-5131 044-980-3503 FAX FAX FAX FAX 044-986-4236 044-986-4236 044-986-4236 044-986-4236 FAX 06-6821-9702 FAX 06-6821-9702 九州エリア〒862-0924 熊本県熊本市帯山3-3-10 キヤノンMJ ※ 輸出に関する注意事項：本カタログに掲載しています製品を日本国外に輸出する際は外国為替及び外国貿易法の規程に基づく判定が必要となりますので、弊社営業部門に必ずお問合せください。性能向上等のため予告なく仕様を変更することがあります。 ※ TEL 096-385-3111 FAX 096-385-3061 http://www.canon-anelva.co.jp/