山形県工業技術センター シーズ集（機械分野） 小径電着工具の 工具の高寿命化技術 CNT（カーボンナノチューブ）複合めっきを用いた砥粒保 持力の強化により、砥粒脱落を防止し、電着工具（小径ド リル等）の工具寿命の改善、加工精度の向上を図る。工 具寿命10倍。 CNT（カーボンナノチューブ）複合めっきにより、電着工具寿命が約１０倍となり ます。 図１ 工具寿命の比較 バイオチップや光学部品等に用いられる石英ガラス製部品の微細加工には、高 寿命な電着工具が求められています。ＣＮＴを均一に含有しためっき（図2）と、Ｃ ＮＴによるダイヤモンド砥粒周辺の被覆（図3）により、電着工具の砥粒保持力が 向上し、高寿命化が図られます。 図２ CNT複合めっき 図３ CNT被覆砥粒 ＣＮＴ複合めっき被膜は、電子顕微鏡写真（図4）の様に、ＣＮＴを均一に含有し た被膜です。CNTは熱伝導率が高いため、工具が摩擦熱により損耗することを 防止します。また、ＣＮＴ被覆砥粒は、膜への化学的なアンカー効果（付着力の 増大）をもたらします。ＣＮＴ複合めっき被膜とＣＮＴ被覆砥粒とを組み合わせた ダイヤモンド電着工具（図5）では、砥粒保持力が２倍、工具寿命が１０倍に向上 します。特許出願中です。 図４ CNT複合めっき 図５ ダイヤモンド電着工具 【担当部署】 超精密技術部 : Copyright(C) Yamagata Research Institute of Technology All Rights Reserved
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