オートフォーカス(分離方式) - OptoSigma Global Top

オートフォーカス(分離方式)
TAF-ES-DM-40
カタログ
コード
W2013
ワイドスポットで、対象物表面をセンシングします。
フォーカスポイントの表面状態(エッジ・段差)によるフォーカスブレを大幅に低減します。
アプリケーション
システム
【特徴】
◦観察光学系とオートフォーカス光学系が独立しているため、
低倍〜高倍観察まで高精度なオートフォーカスが可能です。
◦レーザ光を利用してフォーカスズレを確認しているため、
ガラス
やフィルムのような透明な対象物にもオートフォーカスが可能
です。
◦装置組込みを意識した小型・コンパクト設計。
◦同軸落射照明光学系を標準装備。
◦2/3インチ以下のCCDカメラ
(Cマウント)
に対応。
光学素子
ホルダー
ベース
手動ステージ
アクチュエータ
仕様
構成
自動ステージ
TAF-ES-DM-40
品番
価格
〔¥〕
要問合せ
光源
2×〜50×
(外径≦φ32mm、WD11mm≧の対物レンズ)
対物レンズ
カメラ
CマウントCCDカメラ
(素子サイズ2/3″以下)
合焦方式
半導体レーザ
(クラス3R相当、光出力4.5mW以下、
波長670nm)
によるOff-axis(レンズ外部)反射アク
ティブ方式
移動量
10mm
観察鏡筒
OUCI-2
ケーブル長2m
鏡面体:±3mm
透明体:要問合せ
参考)
厚さ0.7mm、
ガラス±0.3mm
トレース範囲
(追従可能範囲)
索引
AF Z軸
ステッピング
モータ
スレーブ
再現性
(フォーカス)
±0.5μm
応答周波数
約5Hz
(鏡面体段差±10μm)
照明光学系
同軸落射照明
(開口絞り付き)
I/O
質量
(ヘッド部)
2.2kg
RS-232C
フォーカスアクチュエータ
ステッピングモータ駆動ステージ
ケーブル長10m
Viewing
光通信
干渉計
ケーブル長5m
検査/観察
バイオフォトニクス
レーザ加工
ケーブル長5m
対物レンズ
オフセットZ軸
マスター
オートフォーカス コントローラ
オートフォーカス ヘッド
外形図
17.52
(単位:mm)
Cマウント
60
50
観察鏡筒
OUCI-2
(80)
50
50
29
対物レンズ
SPAHL-5
203.5
フォーカスステージ
TSDM40-15
21
95
(89.5)
50
センサーケーブル
(2m)
対物レンズアクチュエータ
SGSP-OBL-3
26.5
127.5
6-φ4.5 固定取付穴
本体
TAF-ES
58.5
(151.2)
LED光源
可動範囲
96
106
ステージケーブル
(10m)
DMINIS-CA-10
90
31
12
51
202
TOKYO TEL.03-5638-6551 FAX.03-5638-6550 OSAKA TEL.06-6307-4835 FAX.06-6307-4834 KYUSHU TEL.092-481-4300 FAX.092-481-4310
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