テトラエトキシシラン Tetraethoxysilane 1．別 名 3．危険性・有害性 オルト珪酸エチル，シリコンエステル 可燃性・爆発性； 引火点が低く，蒸気は空気より非 常に重く，低所に滞留して爆発性 混合ガスをつくる。 人 体 へ の 影 響； 空蒸気は目および鼻を刺激する。 臭気限界 85ppm 珪酸テトラエチル 2．性 質 液体 無色 ● 分子量； ● 蒸気密度； ● 蒸気圧； ● 溶解性； ● 許容濃度； Si （OC2H5）4 ● 比重； 208.33 ● 沸点； 7.18 200Pa （蒸気濃度 0.18 ％） 徐々に加水分解する 日本 10ppm 0.933 168 ℃ 4．他の分析方法 5．用途及び発生場所 半導体絶縁膜材料，耐熱，耐化学物質塗料の溶媒 6．関係法令 7．検知管の適用 243U 1ppm 10ppm 100ppm 1000ppm 1% TLV 除湿剤 （白色） ppm 200ml 80 60 5 10 試料ガス 40 テトラエトキシシラン 20 243U 取付口 検知剤 （黄色） 仕 様 測定範囲 5 ∼ 200ppm 試料採取量 と測定範囲 （温度補正値× 2.5 ： 12.5 ∼ 200ppm） 100ml 200ml （印刷目盛： 5 ∼ 80ppm） 測定時間 1.5 分間/100ml 検知限度 1ppm （200ml） 色の変化 黄色→淡青色 反応原理 クロム酸が還元される。 他のガスの影響 単 独 妨害ガス Si （OC2H5）4 ＋ CrO3 ＋ H2SO4 → Cr3+ 有効期限 3年 経年変化 原色が薄くなり変色層の境界が不明瞭 になる。 使用温度範囲 0 ∼ 40 ℃（温度補正あり） 湿度の影響 なし 校正方法 ガスクロマトグラフ法 濃度 影 響 〔ppm〕 109 共 存 濃度 影 響 〔ppm〕 シラン ― 影響なし ― 影響なし トリクロロエチレン ― 〃 ― 〃 テトラクロロエチレン ― 〃 ― 〃 ホスフィン ― 類似の変色 を示す 5 指示が高く なる イソプロピルアルコール ― 〃 7 〃 エタノール ― 〃 10 〃
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