657 - ヤマト科学

分析・計測・試験機器
13.試験機器
トランスデューサ型真空計
トランスデューサ型真空計シリーズ
■トランスデューサ型真空計シリーズ
大気圧から10-8Paまで広い範囲をカバー。省配線、省スペース、省
エネルギー。鉛フリーハンダ、CEマーキング、RoHSに対応。環境
配慮型
「トランスデューサ型真空計シリーズ」
は、あらゆる産業分
野でご利用いただけます。
●ピラニゲージ
耐食性向上タイプもラインアップ。低価格と高い再現性を追求
した真空計。低真空領域の測定に。
●キャパシタンスゲージ
高精度、絶対圧
（ガス種依存性なし）
タイプをラインアップ。マイ
クロマシン技術により、小型化・高性能・低価格を実現。
●クリスタルイオンゲージ
ミニチュアB-Aゲージ＋クリスタルゲージ。高再現性。
●イオンゲージ
再現性、リニアリティーが良く、広範囲な圧力測定が可能な熱陰
極電離真空計。
●コールドカソードピラニゲージ
コールドカソードゲージ＋ピラニゲージ。センサクリーニング可能。
●表示器
（1Ch、3Ch）
ゲージを自動認識。3Chタイプは同時表示可能。
圧力測定範囲
入力電圧
アナログ出力
セットポイント
インターフェイス
センサー材質
（主要部）
外形寸法
（mm）
ピラニゲージ
キャパシタンスゲージ
M-350PG M-351PG M-350PG 耐食型 M-341DG
M-342DG
-SD
-SP
-RS M-351PG-SP
スタンダセットポイン RS485タセットポイン -01
-11
-12
-13
ト付きタイプ
ード
ト付きタイプイプ
～133 ～1.33k ～13.3k ～133k
5×10-2～1×105（Pa）
（Pa）（Pa）（Pa）（Pa）
DC＋14～30V
DC＋13.5～26.4V
0～
0～10V
―
0～10V
10V
2接点出力（DC30V、
―
―
1A）
―
RS485 ―
―
フィラメン
フィラメント：W、
SUS304、SUS316、AI203、
ト：Ni、ケー
ケース：SUS304
Si、パイレックス
ス：SUS304
88×40×23（NW25）
NW16、NW25、φ34ICF、
フランジ形状 1/8NPT、φ15アダプタ、
φ18アダプタ
106×46×49（NW25）
クリスタルイオンゲージ
コールドカドードピラニゲージイオンゲージ
M-336MX-SP M-336MX-RS　M-360CP-SP M-360CP-RS　M-311HG-SP M-311HG-RS
セットポイント
セットポイント
セットポイント
RS485タイプ
RS485タイプ
RS485タイプ
付きタイプ
付きタイプ
付きタイプ
※1
4×10-8～1×105（Pa）
5×10-7～1×105（Pa）
1×10-7～10（Pa）
DC＋20～28V
DC＋15～30V
DC＋20～28V
0～10V
―
0～10V
―
0～10V
RS485
2pc., Relay Output
（DC
30V、1A）
―
RS485
2接点出力（DC30V、1A）
―
RS485
―
―
フィラメント：Y203/Ir、
ケース：SUS304
フィラメント：W、電極：
Mo、ケース：SUS304
149×70×50（KF25）
149×70×50（NW25）
116×70×70（NW25）
DN25/40 ISO KF、
F34CF、f 70CF
NW25、NW40、φ70ICF
IP40
NW16、NW25、φ70ICF、 NW16、NW25、NW40、
8-VCR（メス）、φ15アダプタ φ70ICF
表示器
●大型デジタルLCD表示で見やすい
●操作性の向上
●3Chは
同時表示可能
圧力トレンド表示
モードあり（最長18時間）
Controller
入力電圧
接続チャンネル数
接続ゲージ
セットポイント
アナログ出力
レコーダー出力
通信機能
ディスプレイ
表示器
M-601GC
（1Ch接続タイプ）
AC90～250V　50/60Hz
1Ch
ピラニ、キャパシタンス、クリスタルイオン、CCピラニ
2点
1
1
RS232C
バックライト付き LCD
M-603GC
（3Ch接続タイプ）
3Ch（同時表示可能）
2点/Ch
1/Ch
1/Ch
カラーTFT LCD
●仕様および外観は改良のため予告なく変更されることがありますのでご了承下さい。製品カラーは、撮影・印刷インキの関係で実際の色と異なって見えることがあります。
657
ヤマト科学
トランスデューサ型真空計シリーズ・表示器
www.yamato-net.co.jp
0120-405-525

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